【#西安各开发区教科研助推“双减”落地见效#】“双减”政策实施以来,西安市教科院在全市范围内开展义务教育“双减”工作教研指导活动,深度服务西安教育内涵、高质量发展。在市教科院协同安排下,各区县教研室(教师进修学校)、各开发区教研部门、教科院创新实验学校及各研究中心积极响应,聚焦提高作业管理水平、提高课后服务水平、提高教育教学质量等主要任务,广泛开展教研活动,驱动“双减”工作落实落地。
高新区——
高新区教研引领新样态,“双减”落地好局开。为全面贯彻落实“双减”政策,充分发挥教育科研的引领指导作用,高新区教育科研工作通过“抓落实、辟路径”,助力“双减”。一是“基于教学,向‘课堂’要质量;基于课后,向‘服务’要质量;基于作业,向‘布置’要质量”的“三个基于”,紧密围绕“双减”主题,坚持以课堂革命和教研革新为引擎,精准教研;二是依据培训学习-实践反思-成果推进的思路,按照总体部署、多点实施的路径,统领全区教育科研工作,全面提升教育质量。
经开区——
经开区强化宣传教育引导,在全市率先公开校外培训机构“白名单”,创新开通扫码方式扩大“双减”政策宣传,强化政策解读,同时提醒家长参加校外培训的注意事项,准确识别无证非法办学机构,引导其合理缴纳培训费用。积极推动家校示范引领,设立试点,通过线上线下立体推进家庭教育,密切家校联系,拓宽家庭教育渠道,形成协同育人合力。
曲江新区——曲江新区以“减量提质”为目标,以教学教研为抓手,制定“123”模式,“1”是一个核心赓续立德树人初心;“2”是两类特色即推广特色作业和特色课程;“3”是三项活动即定期开展主题教研、特色作业展示和特色课程评比活动。强调作业设计的SMART原则:Science科学性、Measurable可评价、Achievable获得性、Researchable探究性和Time-bound时限性。将LOVE 理念引入作业管理:Lighten启迪性、Object目标性、Variety多样性、Experience体验性,通过增值性评价激发学习动机,帮助学生强优势补短板。
浐灞生态区——
浐灞生态区坚持以课堂为抓手,以作业为载体,教育局教科研中心先后开展了六期“聚焦‘双减’,减负增效”系列教学研讨活动。通过兼职教研员的展示课、名师专家问诊等系列主题活动,为教师的专业成长赋能、蓄力,为“有效课堂”把脉导航。围绕“作业如何承载学生思维发展”等问题进行创新研究与实践,鼓励学生在体验活动中发现和解决问题,提倡师生共同设计第一、第二、第三课堂的作业,激发学生进行作业实践,确保减负不减质。
国际港务区——
国际港务区“双减”工作领导小组办公室于2021年11月召开全区“双减”工作全体会议,安排全区“双减”工作。12月,港务区“双减”工作领导小组办公室组建专家团队,通过两天督查视导活动,专家团队通过听取学校校长“双减”工作介绍、现场提问、实地查看、课堂观察等形式,了解辖区学校作业管理、课后服务、教学教研、手机管理、考试管理等工作开展情况。
其中,西安市第六十四中学以教促研落实“双减”工作,在课堂教学改革、先进理念学习和积极参加各级各类课题研究方面做出扎实的探究和努力,2021年该校有41名教师荣获各级各类奖项,培养教学名师2人。陆港二小深刻把握“双减”政策内涵,积极探索“减负增效”新举措,聚焦“三个课堂”,一是夯实基础,助力学生核心素养发展;二是拓展课程,满足学生多元化发展需要;三是探索实践,丰富学生课余生活体验。学校全面实施课程改革,形成构建课堂、课后、课外一体化育人体系,有效提高课堂教学质量,让每一个孩子在有温度的教育中绽放生命光彩。
航天基地——
航天基地以落实“双减”工作为契机,以打持久战、攻坚战、系统战的态势,通过“四同”“四提升”精准发力,高效落实“提质减负”工作。一是同研促落实,持续提升作业管理和设计水平。举办航天基地作业管理经验交流会,谋划航天基地一盘棋,以齐步走方式落实作业管理,推进课堂教学高效化,西安航天城第三小学作业管理案例获省级特等奖。
二是同赛促改革,加快提升教育教学和教研水平。开展航天基地首届班主任及体音美教师基本功大赛、微课大赛、论文评比、三个课堂教学设计评比、思政课推优、学科课程推优等活动提升教师业务能力,西安市航天城第一中学等6所学校9个学科被评为《陕西省中小学学科优质教学基地》,同时辖区各学校通过“思晓云课堂”“承新课堂”“e课程”等方式进一步深化课堂改革。三是同评促发展,大力提升学生评价和宣传水平。建立航天特色评价体系,创新德智体美劳过程性评价办法,着力破除教育评价中存在的“五唯”问题,探索“学生、教师、家庭、社会、媒体”多方联动,立足终身学习,促进学生全面发展。
四是同频促均衡,全力提升优质均衡和高质量发展水平。以航天基地“名师共享”为主线,推动“三名”工程建设,着力打造航天“好课堂”,力求缩小校际差距,提高教师对课程实施的理解和建设能力,将义务教育优质均衡向纵深推进。
航空基地——
航空基地创新特色管理,助力“双减”落实。一是“课堂革命”提质增效:通过信息化创新教学手段,丰富课堂资源,提高课堂效率,切实提高教学实效;实行分项体育走班制,根据学生兴趣选项走班上分项课。二是“作业革命”减轻负担:丰富作业形式,落实分层布置;落实作业批改,创新作业评价;落实督导反馈,提升管理品质。另外,“课后托管”拓展丰富,积极鼓励学生参与社团活动,倡导学生不参加校外机构培训。“家校协同”携手护航,解决家长疑虑,帮助家长培养科学教育理念,共同促进学生成长。
西咸新区——
西咸新区高度重视“双减”工作,印发相关通知,征集新区“双减”工作的典型做法,成立西咸新区义务教育“双减”工作教研指导领导小组,结合新区实际,组建以各新城教育卫体局领导为组长,兼职教研员为成员的西咸新区义务教育“双减”工作教研指导组。
其中典型做法有:一是作业管理方面,各级教育部门均能结合各自实际,成立了作业管理领导机构,印发了义务教育学校作业管理十条措施,制定了作业公示制度,加强作业设计指导,强化作业管理,成立了以校长为组长,教学副校长和教务主任为副组长,年级组长和教研组长为组员的作业管理领导小组,制定了具体作业管理办法,确保分工明确,责任到人,推行“小学生作业不离校、初中生在校完成大部分书面作业”。二是教学质量方面,发挥好学校主阵地作用,严格遵循教育部有关课时的限制、根据国家课程计划和课程管理要求,开齐开足开好国家规定的课程。同时,开发校园各类环境、设施、硬件资源,为学生提供丰富的校内学习课程与学习资源。
另外,创新性做法有:沣东新城阿房路一校的“661”思维型课堂教学模式,西咸新区秦汉中学的“思行”课堂新模式,西咸沣西第一小学的“一核心三优化两拓展一应用”的全链条减负模式,泾河新城第一小学的“136”工作模式等。(西安报业全媒体记者 康乔娜 实习生 鲁姣妍)
高新区——
高新区教研引领新样态,“双减”落地好局开。为全面贯彻落实“双减”政策,充分发挥教育科研的引领指导作用,高新区教育科研工作通过“抓落实、辟路径”,助力“双减”。一是“基于教学,向‘课堂’要质量;基于课后,向‘服务’要质量;基于作业,向‘布置’要质量”的“三个基于”,紧密围绕“双减”主题,坚持以课堂革命和教研革新为引擎,精准教研;二是依据培训学习-实践反思-成果推进的思路,按照总体部署、多点实施的路径,统领全区教育科研工作,全面提升教育质量。
经开区——
经开区强化宣传教育引导,在全市率先公开校外培训机构“白名单”,创新开通扫码方式扩大“双减”政策宣传,强化政策解读,同时提醒家长参加校外培训的注意事项,准确识别无证非法办学机构,引导其合理缴纳培训费用。积极推动家校示范引领,设立试点,通过线上线下立体推进家庭教育,密切家校联系,拓宽家庭教育渠道,形成协同育人合力。
曲江新区——曲江新区以“减量提质”为目标,以教学教研为抓手,制定“123”模式,“1”是一个核心赓续立德树人初心;“2”是两类特色即推广特色作业和特色课程;“3”是三项活动即定期开展主题教研、特色作业展示和特色课程评比活动。强调作业设计的SMART原则:Science科学性、Measurable可评价、Achievable获得性、Researchable探究性和Time-bound时限性。将LOVE 理念引入作业管理:Lighten启迪性、Object目标性、Variety多样性、Experience体验性,通过增值性评价激发学习动机,帮助学生强优势补短板。
浐灞生态区——
浐灞生态区坚持以课堂为抓手,以作业为载体,教育局教科研中心先后开展了六期“聚焦‘双减’,减负增效”系列教学研讨活动。通过兼职教研员的展示课、名师专家问诊等系列主题活动,为教师的专业成长赋能、蓄力,为“有效课堂”把脉导航。围绕“作业如何承载学生思维发展”等问题进行创新研究与实践,鼓励学生在体验活动中发现和解决问题,提倡师生共同设计第一、第二、第三课堂的作业,激发学生进行作业实践,确保减负不减质。
国际港务区——
国际港务区“双减”工作领导小组办公室于2021年11月召开全区“双减”工作全体会议,安排全区“双减”工作。12月,港务区“双减”工作领导小组办公室组建专家团队,通过两天督查视导活动,专家团队通过听取学校校长“双减”工作介绍、现场提问、实地查看、课堂观察等形式,了解辖区学校作业管理、课后服务、教学教研、手机管理、考试管理等工作开展情况。
其中,西安市第六十四中学以教促研落实“双减”工作,在课堂教学改革、先进理念学习和积极参加各级各类课题研究方面做出扎实的探究和努力,2021年该校有41名教师荣获各级各类奖项,培养教学名师2人。陆港二小深刻把握“双减”政策内涵,积极探索“减负增效”新举措,聚焦“三个课堂”,一是夯实基础,助力学生核心素养发展;二是拓展课程,满足学生多元化发展需要;三是探索实践,丰富学生课余生活体验。学校全面实施课程改革,形成构建课堂、课后、课外一体化育人体系,有效提高课堂教学质量,让每一个孩子在有温度的教育中绽放生命光彩。
航天基地——
航天基地以落实“双减”工作为契机,以打持久战、攻坚战、系统战的态势,通过“四同”“四提升”精准发力,高效落实“提质减负”工作。一是同研促落实,持续提升作业管理和设计水平。举办航天基地作业管理经验交流会,谋划航天基地一盘棋,以齐步走方式落实作业管理,推进课堂教学高效化,西安航天城第三小学作业管理案例获省级特等奖。
二是同赛促改革,加快提升教育教学和教研水平。开展航天基地首届班主任及体音美教师基本功大赛、微课大赛、论文评比、三个课堂教学设计评比、思政课推优、学科课程推优等活动提升教师业务能力,西安市航天城第一中学等6所学校9个学科被评为《陕西省中小学学科优质教学基地》,同时辖区各学校通过“思晓云课堂”“承新课堂”“e课程”等方式进一步深化课堂改革。三是同评促发展,大力提升学生评价和宣传水平。建立航天特色评价体系,创新德智体美劳过程性评价办法,着力破除教育评价中存在的“五唯”问题,探索“学生、教师、家庭、社会、媒体”多方联动,立足终身学习,促进学生全面发展。
四是同频促均衡,全力提升优质均衡和高质量发展水平。以航天基地“名师共享”为主线,推动“三名”工程建设,着力打造航天“好课堂”,力求缩小校际差距,提高教师对课程实施的理解和建设能力,将义务教育优质均衡向纵深推进。
航空基地——
航空基地创新特色管理,助力“双减”落实。一是“课堂革命”提质增效:通过信息化创新教学手段,丰富课堂资源,提高课堂效率,切实提高教学实效;实行分项体育走班制,根据学生兴趣选项走班上分项课。二是“作业革命”减轻负担:丰富作业形式,落实分层布置;落实作业批改,创新作业评价;落实督导反馈,提升管理品质。另外,“课后托管”拓展丰富,积极鼓励学生参与社团活动,倡导学生不参加校外机构培训。“家校协同”携手护航,解决家长疑虑,帮助家长培养科学教育理念,共同促进学生成长。
西咸新区——
西咸新区高度重视“双减”工作,印发相关通知,征集新区“双减”工作的典型做法,成立西咸新区义务教育“双减”工作教研指导领导小组,结合新区实际,组建以各新城教育卫体局领导为组长,兼职教研员为成员的西咸新区义务教育“双减”工作教研指导组。
其中典型做法有:一是作业管理方面,各级教育部门均能结合各自实际,成立了作业管理领导机构,印发了义务教育学校作业管理十条措施,制定了作业公示制度,加强作业设计指导,强化作业管理,成立了以校长为组长,教学副校长和教务主任为副组长,年级组长和教研组长为组员的作业管理领导小组,制定了具体作业管理办法,确保分工明确,责任到人,推行“小学生作业不离校、初中生在校完成大部分书面作业”。二是教学质量方面,发挥好学校主阵地作用,严格遵循教育部有关课时的限制、根据国家课程计划和课程管理要求,开齐开足开好国家规定的课程。同时,开发校园各类环境、设施、硬件资源,为学生提供丰富的校内学习课程与学习资源。
另外,创新性做法有:沣东新城阿房路一校的“661”思维型课堂教学模式,西咸新区秦汉中学的“思行”课堂新模式,西咸沣西第一小学的“一核心三优化两拓展一应用”的全链条减负模式,泾河新城第一小学的“136”工作模式等。(西安报业全媒体记者 康乔娜 实习生 鲁姣妍)
#明星虚假宣传应承担哪些法律责任#
从潘子对话嘎之后的一系列表现来看,不难得到一个结论。
现在潘子就是已经把脸揣兜里了,并将自己春晚现场练出来的毫不怯场灵活应用到了直播间里面。你说我要不要脸无所谓,骂我之后,你只要买我一瓶酒,那你就是我潘子一辈子的兄弟!
你说潘子现在是什么状态?就是赚钱嘛,不寒碜,笑哭由人,只要卖出这张老脸,其他人看到自己以往的名声上面,明知自己在蹭热度,也不好跟自己计较。
可你说潘子为什么好好的潘长江不去当,成为了现在的潘子?是不是和自己的家庭有关?
以前潘子上C站的时候,没少提自己家女儿简直是完美,后来找个老公也是高富帅,家里也是有头有脸,配潘长江的女儿也是般配。
但如今潘子完全不提了,反而拿着自己前几十年积攒的名声,当起主播来卖酒这是为啥呢?。
其实明星带货一点毛病没有。浮夸的也不在少数,但也情有可愿,你就说嘎子吧,嘎子明显是由于自己各方面的储备已经在演戏圈混不下去了,外形一般,演技一般,就靠个童星光环吃老本都吃不了,这才跑来直播圈混。
可潘子呢?潘子不一样,以前在电视采访的时候,他就说送女儿出国留学学金融管理,等回来给女儿开个超市,结果女儿学了个乡村音乐,这倒也没让潘子有多气,说了反正在自己翅膀下面有自己保护也没关系。而且潘阳啥也不干,那钱花一辈子都花不完。这说明潘子的财力还是很雄厚的。
所以现在潘子为啥跑出来当主播?当主播不是啥见不得人的事,优秀的带货主播多的是,可是一个明星当主播,还在直播当中打各种欺骗话术,多少有少拿自己的名声砸人家的锅了。之前不是有带货主播说吗,还是潘叔狠呀,我们这些主播要敢说这些话,早被封直播间了!
所以到现在为止也弄不清楚潘子到底是图个啥,本来就已经名利双收了,当一个大家眼中的人民艺术家不好吗?说不得还能像巩汉林一样出来锐评一下海参。当然现在的潘子是不行了,现在潘子锐评哪一位怕不是都要被喷得不要不要的。
为什么现在非搞得一副挣钱不要脸的饿死鬼投胎相。总不会是不足向外人启齿的家庭原因吧?不解,是真不解……
从潘子对话嘎之后的一系列表现来看,不难得到一个结论。
现在潘子就是已经把脸揣兜里了,并将自己春晚现场练出来的毫不怯场灵活应用到了直播间里面。你说我要不要脸无所谓,骂我之后,你只要买我一瓶酒,那你就是我潘子一辈子的兄弟!
你说潘子现在是什么状态?就是赚钱嘛,不寒碜,笑哭由人,只要卖出这张老脸,其他人看到自己以往的名声上面,明知自己在蹭热度,也不好跟自己计较。
可你说潘子为什么好好的潘长江不去当,成为了现在的潘子?是不是和自己的家庭有关?
以前潘子上C站的时候,没少提自己家女儿简直是完美,后来找个老公也是高富帅,家里也是有头有脸,配潘长江的女儿也是般配。
但如今潘子完全不提了,反而拿着自己前几十年积攒的名声,当起主播来卖酒这是为啥呢?。
其实明星带货一点毛病没有。浮夸的也不在少数,但也情有可愿,你就说嘎子吧,嘎子明显是由于自己各方面的储备已经在演戏圈混不下去了,外形一般,演技一般,就靠个童星光环吃老本都吃不了,这才跑来直播圈混。
可潘子呢?潘子不一样,以前在电视采访的时候,他就说送女儿出国留学学金融管理,等回来给女儿开个超市,结果女儿学了个乡村音乐,这倒也没让潘子有多气,说了反正在自己翅膀下面有自己保护也没关系。而且潘阳啥也不干,那钱花一辈子都花不完。这说明潘子的财力还是很雄厚的。
所以现在潘子为啥跑出来当主播?当主播不是啥见不得人的事,优秀的带货主播多的是,可是一个明星当主播,还在直播当中打各种欺骗话术,多少有少拿自己的名声砸人家的锅了。之前不是有带货主播说吗,还是潘叔狠呀,我们这些主播要敢说这些话,早被封直播间了!
所以到现在为止也弄不清楚潘子到底是图个啥,本来就已经名利双收了,当一个大家眼中的人民艺术家不好吗?说不得还能像巩汉林一样出来锐评一下海参。当然现在的潘子是不行了,现在潘子锐评哪一位怕不是都要被喷得不要不要的。
为什么现在非搞得一副挣钱不要脸的饿死鬼投胎相。总不会是不足向外人启齿的家庭原因吧?不解,是真不解……
刻蚀的重要参数报告
1.刻蚀速率
刻蚀速率是指在刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度通常用Å/min表示, 刻蚀窗口的深度称为台阶高度。 为了高的产量, 希望有高的刻蚀速率。 在采用单片工艺的设备中, 这是一个很重要的参数。 刻蚀速率由工艺和设备变量决定, 如被刻蚀材料类型、 蚀机的结构配置、 使用的刻蚀气体和工艺参数设置。
2.刻蚀剖面
刻蚀剖面指的是被刻蚀图形的侧壁形状。 有两种基本的刻蚀剖面: 各向同性和各向异性刻蚀剖面。各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和垂直方向) 以相同的刻蚀速率进行刻蚀, 导致被刻蚀材料在掩膜下面产生钻蚀面形成的,这带来不希望的线宽损失。 湿法化学腐蚀本质上是各向同性的,因而湿法腐蚀不用于亚微米器件制作中的选择性图形刻蚀。一些干法等离子体系统也能进行各向同性刻蚀。 由于后续上艺步骤或者被刻蚀材料的特殊需要, 也自一些要用到
各向同性腐蚀的地方。
3.刻蚀偏差
刻蚀偏差是指刻蚀以后线宽或关键尺寸间距的变化(见图16. 6) 。它通常是由于横向钻蚀引起的(见图16. 7) , 但也能由刻蚀剖面引起。 当刻蚀中要去除掩膜下过量的材料时, 会引起被刻蚀材料的上表面向光刻胶边缘凹进去, 这样就会产生横向钻蚀。
4.选择比
选择比指的是在同一刻蚀条件下一种材料与另一种材料相比刻蚀速率快多少。 它定义为被刻蚀材料的刻蚀速率与另一种材料的刻蚀速率的比。高选择比意味着只刻除想要刻去的那一层材料。一个高选择比的刻蚀工艺不刻蚀下面一层材料(刻蚀到恰当的深度时停止) 并且保护的光刻胶也未被刻蚀。图形几何尺寸的缩小要求减薄光刻胶厚度,特别是关键尺寸越小,选择比要求越高。
5.均匀性
刻蚀均匀性是一种衡量刻蚀工艺在整个硅片上, 或整个一批, 或批与批之间刻蚀能力的参数。 均匀性与选择比有密切的关系, 因为非均匀性刻蚀会产生额外的过刻蚀。 保持硅片的均匀性是保证制造性能一致的关键。 难点在于刻蚀工艺必须在刻蚀具有不同图形密度的硅片上保证均匀性, 例如图形密的硅片区域,大的图形间隔和高深宽比图形。均匀性的一些问题是因为刻蚀速率和刻蚀剖面与图形尺寸和密度有关而产生的。 刻蚀速率在小窗口图形中较慢, 甚至在具有高深宽比的小尺寸图形上刻蚀居然停止。
6.残留物
刻蚀残留物是刻蚀以后留在硅片表面不想要的材料。它常常覆盖在腔体内壁或被刻蚀图形的底部。 它的产生有多种原因, 例如被刻蚀膜层中的污染物、 选择了不合适的化学刻蚀剂(如刻蚀太快) 、 腔体中的污染物、 膜层中不均匀的杂质分布。 刻蚀以后的残留物有不同的名称,包括长细线条、遮蔽物、冠状物和栅条。
7.聚合物
聚合物的形成有时是有意的, 是为了在刻蚀图形的侧壁上形成抗腐蚀膜从而防止横向刻蚀 ,这样做能形成高的各向异性图形,因为聚合物能阻挡对侧壁的刻蚀, 增强刻蚀的方向性, 从而实现对图形关键尺寸的良好控制。 这些聚合物是在刻蚀过程中由光刻胶中的碳转化而来并与刻蚀气体(如C2F4) 和刻蚀生成物结合在一起而形成的。 能否形成侧壁聚合物取决于所使用的刻蚀气体类型。
8.等离子体诱导损伤
包含带能离子、电子和激发分子的等离子体可引起对硅片上的敏感器件引起等离子体诱导损伤。 一种主要的损伤是非均匀等离子体在晶体管栅电极产生陷阱电荷, 引起薄栅氧化硅的击穿。 差的设备或在优化的工艺窗口之外进行刻蚀工艺会使等离子体变得不均匀。 另一种器件损伤是能量离子对曝露的栅氧化层的轰击。 在刻蚀过程中, 这种损伤在刻蚀的时候能在栅电极的边缘发生。 等离子体损伤有时可以通过退火或湿法化学腐蚀消除。
9.颗粒沾污
子体带来的硅片损伤有时也由硅片表面附近的等离子体产生的颗粒沾污而引起。 研究表明, 由于电势的差异, 颗粒产生在等离子体和壳层的界面处。 当没有了等离子体时, 这些颗粒就会掉到硅片表面。 氟基化学气体等离子体比氯基或溴基等离子体产生较少的颗粒, 因为氟产生的刻蚀生成物具有较高的蒸气压。颗粒沾污的控制可通过优化刻蚀设备, 合适的操作和关机, 对被刻蚀的膜层选用合适的化学气体。
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1.刻蚀速率
刻蚀速率是指在刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度通常用Å/min表示, 刻蚀窗口的深度称为台阶高度。 为了高的产量, 希望有高的刻蚀速率。 在采用单片工艺的设备中, 这是一个很重要的参数。 刻蚀速率由工艺和设备变量决定, 如被刻蚀材料类型、 蚀机的结构配置、 使用的刻蚀气体和工艺参数设置。
2.刻蚀剖面
刻蚀剖面指的是被刻蚀图形的侧壁形状。 有两种基本的刻蚀剖面: 各向同性和各向异性刻蚀剖面。各向同性的刻蚀剖面是在所有方向上(横向和垂直方向) 以相同的刻蚀速率进行刻蚀, 导致被刻蚀材料在掩膜下面产生钻蚀面形成的,这带来不希望的线宽损失。 湿法化学腐蚀本质上是各向同性的,因而湿法腐蚀不用于亚微米器件制作中的选择性图形刻蚀。一些干法等离子体系统也能进行各向同性刻蚀。 由于后续上艺步骤或者被刻蚀材料的特殊需要, 也自一些要用到
各向同性腐蚀的地方。
3.刻蚀偏差
刻蚀偏差是指刻蚀以后线宽或关键尺寸间距的变化(见图16. 6) 。它通常是由于横向钻蚀引起的(见图16. 7) , 但也能由刻蚀剖面引起。 当刻蚀中要去除掩膜下过量的材料时, 会引起被刻蚀材料的上表面向光刻胶边缘凹进去, 这样就会产生横向钻蚀。
4.选择比
选择比指的是在同一刻蚀条件下一种材料与另一种材料相比刻蚀速率快多少。 它定义为被刻蚀材料的刻蚀速率与另一种材料的刻蚀速率的比。高选择比意味着只刻除想要刻去的那一层材料。一个高选择比的刻蚀工艺不刻蚀下面一层材料(刻蚀到恰当的深度时停止) 并且保护的光刻胶也未被刻蚀。图形几何尺寸的缩小要求减薄光刻胶厚度,特别是关键尺寸越小,选择比要求越高。
5.均匀性
刻蚀均匀性是一种衡量刻蚀工艺在整个硅片上, 或整个一批, 或批与批之间刻蚀能力的参数。 均匀性与选择比有密切的关系, 因为非均匀性刻蚀会产生额外的过刻蚀。 保持硅片的均匀性是保证制造性能一致的关键。 难点在于刻蚀工艺必须在刻蚀具有不同图形密度的硅片上保证均匀性, 例如图形密的硅片区域,大的图形间隔和高深宽比图形。均匀性的一些问题是因为刻蚀速率和刻蚀剖面与图形尺寸和密度有关而产生的。 刻蚀速率在小窗口图形中较慢, 甚至在具有高深宽比的小尺寸图形上刻蚀居然停止。
6.残留物
刻蚀残留物是刻蚀以后留在硅片表面不想要的材料。它常常覆盖在腔体内壁或被刻蚀图形的底部。 它的产生有多种原因, 例如被刻蚀膜层中的污染物、 选择了不合适的化学刻蚀剂(如刻蚀太快) 、 腔体中的污染物、 膜层中不均匀的杂质分布。 刻蚀以后的残留物有不同的名称,包括长细线条、遮蔽物、冠状物和栅条。
7.聚合物
聚合物的形成有时是有意的, 是为了在刻蚀图形的侧壁上形成抗腐蚀膜从而防止横向刻蚀 ,这样做能形成高的各向异性图形,因为聚合物能阻挡对侧壁的刻蚀, 增强刻蚀的方向性, 从而实现对图形关键尺寸的良好控制。 这些聚合物是在刻蚀过程中由光刻胶中的碳转化而来并与刻蚀气体(如C2F4) 和刻蚀生成物结合在一起而形成的。 能否形成侧壁聚合物取决于所使用的刻蚀气体类型。
8.等离子体诱导损伤
包含带能离子、电子和激发分子的等离子体可引起对硅片上的敏感器件引起等离子体诱导损伤。 一种主要的损伤是非均匀等离子体在晶体管栅电极产生陷阱电荷, 引起薄栅氧化硅的击穿。 差的设备或在优化的工艺窗口之外进行刻蚀工艺会使等离子体变得不均匀。 另一种器件损伤是能量离子对曝露的栅氧化层的轰击。 在刻蚀过程中, 这种损伤在刻蚀的时候能在栅电极的边缘发生。 等离子体损伤有时可以通过退火或湿法化学腐蚀消除。
9.颗粒沾污
子体带来的硅片损伤有时也由硅片表面附近的等离子体产生的颗粒沾污而引起。 研究表明, 由于电势的差异, 颗粒产生在等离子体和壳层的界面处。 当没有了等离子体时, 这些颗粒就会掉到硅片表面。 氟基化学气体等离子体比氯基或溴基等离子体产生较少的颗粒, 因为氟产生的刻蚀生成物具有较高的蒸气压。颗粒沾污的控制可通过优化刻蚀设备, 合适的操作和关机, 对被刻蚀的膜层选用合适的化学气体。
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