真的很不喜欢和仅能算得上熟人的朋友去分享我爱的人和那份感情，因为爱他们是我唯一的软肋，和我在这个世界仅有的绿洲。我很讨厌那些旁人因为我的钟爱而去对我爱的人评头论足。
他们的美好不足为外人道以，我也不需要谁的认同。况且你算老几，凭着这一点交情就自认为了解我了？然后可以尽情揣测我的感情。不好意思，我给外人看到的自己不过万分之一，少以为我真把谁都当回事了。
退一步说，你尽管去讨厌轻蔑我，因为我也从不会把其他东西放在眼里。但是我的感情还轮不到谁来点评。
千言万语总结为一句，少管我的事情，除我所爱，世上其他都只是沙砾，看不惯就自己滚出去。
他们的美好不足为外人道以，我也不需要谁的认同。况且你算老几，凭着这一点交情就自认为了解我了？然后可以尽情揣测我的感情。不好意思，我给外人看到的自己不过万分之一，少以为我真把谁都当回事了。
退一步说，你尽管去讨厌轻蔑我，因为我也从不会把其他东西放在眼里。但是我的感情还轮不到谁来点评。
千言万语总结为一句，少管我的事情，除我所爱，世上其他都只是沙砾，看不惯就自己滚出去。
大乘离文字普光明藏经
如是我闻。一时佛在王舍城耆(qi)阇(she)崛山中，与大菩萨无量百千亿那由他数，皆是大智精进善巧，证无言法获妙辩才，是处非处不相违反，善调身心具诸解脱，常游三昧不舍大悲，惭愧为身智慧为首，多所饶益如大宝洲，了知诸法善不善相，不著文字而有言说，于真俗门洞达无碍，深明实际不住其中，善能分别而无所受，虽厌生死常护世间，周遍十方有大名称，于真妙藏寂然宴息，虽现受身永出三界，而行诸有勉济众生，平等教诲志常贤善，平等怜愍心无染著（zhuo），能令自他莫不清净，成就如是无量功德。其名曰胜思惟菩萨、法震音菩萨、妙身菩萨、法辋(wǎng)菩萨、辩积菩萨、持地菩萨、持世菩萨、大名称菩萨、具诸辩菩萨、千容相菩萨、功德山菩萨、莲华眼菩萨、莲华面菩萨、珠髻(jì)菩萨、妙音菩萨，如是等菩萨摩诃萨，皆如童子色相端严，于此众中而为上首。
尔时观自在菩萨与恒河沙等绍尊位者诸菩萨俱。殊胜见菩萨与无央数天帝释俱。虚空藏菩萨与无量菩萨及无量四天王众俱。大势至菩萨与无量亿梵天众俱。遍吉祥菩萨与无量婇(cǎi)女俱。普贤菩萨、不空见菩萨、星宿王菩萨、离疑菩萨、息诸盖菩萨、药王菩萨、药上菩萨，各与无量菩萨众俱。其中亦有无量诸佛，自变其身作菩萨像。尊者舍利弗、摩诃目揵(qian)连、摩诃迦叶，如是等大阿罗汉，各与无量声闻众俱。那罗延等无量天众，乃至恒沙国土日月诸天，威光照耀悉来佛所。至佛所已。彼天威光不能复现，犹如聚墨对阎浮金。婆楼那龙王、德叉迦龙王、阿那婆达多龙王、美音乾闼(tà)婆王、无扰浊迦楼罗王、各与无量诸眷属俱，来入此会。十方世界如恒河沙所有菩萨，咸于本土启请如来，与诸四众同时到此，各持种种出过世间殊好供事，奉上于佛诸菩萨已。即于会中坐莲华座。
尔时胜思惟菩萨摩诃萨从座而起，偏袒右肩右膝著地，合掌向佛，而作是言：“世尊，我今欲请二字之义，惟愿如来垂哀见许。”
佛告胜思惟菩萨言：“善男子，欲有问者随汝意问，如来不为一众生故出现世间。为欲利益无量众生而出现耳。
于是胜思惟菩萨即白佛言：“世尊，何者一法，是诸菩萨所应永离?何者一法，是诸菩萨应常护持?何者一法，是诸如来现所觉了?”佛言：“善哉善哉!善男子，汝以如来威神之力，乃能问我如是深义。谛听谛听!善思念之，当为汝说。
“善男子，有一种法菩萨应离，所谓欲贪。善男子，如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓瞋(chēn)怒。如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓愚痴。如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓我取。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓疑惑。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓憍(jiāo)慢。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓懈怠。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓惛(hūn)眠。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓爱著。
善男子，如是一法，是诸菩萨所应永离。
“善男子，汝复问我，何者一法，是诸菩萨应常护持?善男子，谓诸菩萨非己所安不加于物。若诸菩萨守护此法，即是能持诸佛如来一切禁戒。何以故?自爱身命不应杀生。自重资财不应偷盗。自护妻室不应侵他。如是等行皆名一法。善男子。若有敬顺如来语者，于此一法常当忆念。何以故?无有众生爱乐于苦，凡有所作悉求安乐。乃至菩萨求阿耨多罗三藐三菩提，亦为自他皆得乐故。善男子，以如是义我说此言。非己所安不加于物，如是一法是诸菩萨应常护持。
“善男子，如汝所问何者一法是诸如来现所觉了。善男子，无有少法是如来觉。何以故?如来觉者无所觉故。善男子，一切法无生是如来觉。一切法无灭是如来觉。一切法离二边是如来觉。一切法不实是如来觉。善男子，诸业自性是如来觉。一切法从因缘生，是如来觉。因缘之法犹如电光，是如来觉。以因缘故而有诸业，是如来觉。
善男子，一切法性普光明藏，是如来觉。善男子，何故法性名普光明藏?善男子，世出世智依之以生，如母怀子故名为藏。若智生时反照其本，如是法性为般若波罗蜜之所摄藏，是故名为普光明藏。
善男子，一切法如幻如焰，是如来觉。善男子，诸法实性一味解脱，是如来觉。一味解脱是即名为普光明藏。
善男子，一相法是如来觉。云何一相?所谓诸法不来不去、非因非缘、不生不灭、无取无舍、不增不减。
善男子，诸法自性本无所有不可为喻，非是文辞之所辩说。如是一法，是诸如来现所觉了。”
当佛说此庄严王离文字普光明藏法门之时，有十地菩萨所见微尘数众生，悉发阿耨多罗三藐三菩提心。复有如是微尘数众生，皆发声闻辟支佛心。复有如是微尘数众生，在地狱者皆得离苦生人天中。无量菩萨得入初地。无量菩萨得百千三昧。无量众生悉蒙利益无空过者。
尔时佛告罗睺(hóu)罗言：“善男子，我此法要汝当受持。”说是语时，会中有九十亿菩萨摩诃萨，承佛威神即皆避座，白佛言：“世尊，我等誓当受持如来所说法要，于此娑(suō)婆国土最后时中，见有其人流通为说。”
尔时四天王白佛言：“世尊，若有能持此经典者我当拥护，令其志愿皆得满足。所以者何?能持此经是法器故。”
尔时世尊，普观众会而作是言：“诸仁者，我此所说甚深方广希有法门，非诸众生有少善根而能听受。能听受者即为承事供养于我，亦为荷担无上菩提。是人当得辩才无碍。决定生于清净佛土。是人临终定得亲见阿弥陀佛菩萨大众而现在前。我今在此耆(qi)阇(she)崛山诸菩萨众所共围绕。彼临终时亦如是见。当知是人即为已得无尽法藏。当知是人得宿命智。当知是人不堕恶道。善男子，我今说此一切世间难信之法，设有众生作五逆罪，闻是经已书持读诵为人解说，所有业障咸得消除，终不受于恶趣之苦。斯人即为诸佛菩萨之所护念，在在所生诸根具足，蒙佛灌顶五眼清净。善男子，取要言之，我见是人已成佛道。”
佛说此经已，胜思惟等一切菩萨，及诸声闻天龙八部，皆大欢喜信受奉行。
回向：“仅以此功德，一者回向，普光明藏，现量实证; 二者回向，佛果菩提，速疾圆满 ; 三者回向，法界众生，同生净土。”
如是我闻。一时佛在王舍城耆(qi)阇(she)崛山中，与大菩萨无量百千亿那由他数，皆是大智精进善巧，证无言法获妙辩才，是处非处不相违反，善调身心具诸解脱，常游三昧不舍大悲，惭愧为身智慧为首，多所饶益如大宝洲，了知诸法善不善相，不著文字而有言说，于真俗门洞达无碍，深明实际不住其中，善能分别而无所受，虽厌生死常护世间，周遍十方有大名称，于真妙藏寂然宴息，虽现受身永出三界，而行诸有勉济众生，平等教诲志常贤善，平等怜愍心无染著（zhuo），能令自他莫不清净，成就如是无量功德。其名曰胜思惟菩萨、法震音菩萨、妙身菩萨、法辋(wǎng)菩萨、辩积菩萨、持地菩萨、持世菩萨、大名称菩萨、具诸辩菩萨、千容相菩萨、功德山菩萨、莲华眼菩萨、莲华面菩萨、珠髻(jì)菩萨、妙音菩萨，如是等菩萨摩诃萨，皆如童子色相端严，于此众中而为上首。
尔时观自在菩萨与恒河沙等绍尊位者诸菩萨俱。殊胜见菩萨与无央数天帝释俱。虚空藏菩萨与无量菩萨及无量四天王众俱。大势至菩萨与无量亿梵天众俱。遍吉祥菩萨与无量婇(cǎi)女俱。普贤菩萨、不空见菩萨、星宿王菩萨、离疑菩萨、息诸盖菩萨、药王菩萨、药上菩萨，各与无量菩萨众俱。其中亦有无量诸佛，自变其身作菩萨像。尊者舍利弗、摩诃目揵(qian)连、摩诃迦叶，如是等大阿罗汉，各与无量声闻众俱。那罗延等无量天众，乃至恒沙国土日月诸天，威光照耀悉来佛所。至佛所已。彼天威光不能复现，犹如聚墨对阎浮金。婆楼那龙王、德叉迦龙王、阿那婆达多龙王、美音乾闼(tà)婆王、无扰浊迦楼罗王、各与无量诸眷属俱，来入此会。十方世界如恒河沙所有菩萨，咸于本土启请如来，与诸四众同时到此，各持种种出过世间殊好供事，奉上于佛诸菩萨已。即于会中坐莲华座。
尔时胜思惟菩萨摩诃萨从座而起，偏袒右肩右膝著地，合掌向佛，而作是言：“世尊，我今欲请二字之义，惟愿如来垂哀见许。”
佛告胜思惟菩萨言：“善男子，欲有问者随汝意问，如来不为一众生故出现世间。为欲利益无量众生而出现耳。
于是胜思惟菩萨即白佛言：“世尊，何者一法，是诸菩萨所应永离?何者一法，是诸菩萨应常护持?何者一法，是诸如来现所觉了?”佛言：“善哉善哉!善男子，汝以如来威神之力，乃能问我如是深义。谛听谛听!善思念之，当为汝说。
“善男子，有一种法菩萨应离，所谓欲贪。善男子，如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓瞋(chēn)怒。如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓愚痴。如是一法是诸菩萨所应永离。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓我取。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓疑惑。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓憍(jiāo)慢。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓懈怠。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓惛(hūn)眠。
善男子，复有一法菩萨应离，所谓爱著。
善男子，如是一法，是诸菩萨所应永离。
“善男子，汝复问我，何者一法，是诸菩萨应常护持?善男子，谓诸菩萨非己所安不加于物。若诸菩萨守护此法，即是能持诸佛如来一切禁戒。何以故?自爱身命不应杀生。自重资财不应偷盗。自护妻室不应侵他。如是等行皆名一法。善男子。若有敬顺如来语者，于此一法常当忆念。何以故?无有众生爱乐于苦，凡有所作悉求安乐。乃至菩萨求阿耨多罗三藐三菩提，亦为自他皆得乐故。善男子，以如是义我说此言。非己所安不加于物，如是一法是诸菩萨应常护持。
“善男子，如汝所问何者一法是诸如来现所觉了。善男子，无有少法是如来觉。何以故?如来觉者无所觉故。善男子，一切法无生是如来觉。一切法无灭是如来觉。一切法离二边是如来觉。一切法不实是如来觉。善男子，诸业自性是如来觉。一切法从因缘生，是如来觉。因缘之法犹如电光，是如来觉。以因缘故而有诸业，是如来觉。
善男子，一切法性普光明藏，是如来觉。善男子，何故法性名普光明藏?善男子，世出世智依之以生，如母怀子故名为藏。若智生时反照其本，如是法性为般若波罗蜜之所摄藏，是故名为普光明藏。
善男子，一切法如幻如焰，是如来觉。善男子，诸法实性一味解脱，是如来觉。一味解脱是即名为普光明藏。
善男子，一相法是如来觉。云何一相?所谓诸法不来不去、非因非缘、不生不灭、无取无舍、不增不减。
善男子，诸法自性本无所有不可为喻，非是文辞之所辩说。如是一法，是诸如来现所觉了。”
当佛说此庄严王离文字普光明藏法门之时，有十地菩萨所见微尘数众生，悉发阿耨多罗三藐三菩提心。复有如是微尘数众生，皆发声闻辟支佛心。复有如是微尘数众生，在地狱者皆得离苦生人天中。无量菩萨得入初地。无量菩萨得百千三昧。无量众生悉蒙利益无空过者。
尔时佛告罗睺(hóu)罗言：“善男子，我此法要汝当受持。”说是语时，会中有九十亿菩萨摩诃萨，承佛威神即皆避座，白佛言：“世尊，我等誓当受持如来所说法要，于此娑(suō)婆国土最后时中，见有其人流通为说。”
尔时四天王白佛言：“世尊，若有能持此经典者我当拥护，令其志愿皆得满足。所以者何?能持此经是法器故。”
尔时世尊，普观众会而作是言：“诸仁者，我此所说甚深方广希有法门，非诸众生有少善根而能听受。能听受者即为承事供养于我，亦为荷担无上菩提。是人当得辩才无碍。决定生于清净佛土。是人临终定得亲见阿弥陀佛菩萨大众而现在前。我今在此耆(qi)阇(she)崛山诸菩萨众所共围绕。彼临终时亦如是见。当知是人即为已得无尽法藏。当知是人得宿命智。当知是人不堕恶道。善男子，我今说此一切世间难信之法，设有众生作五逆罪，闻是经已书持读诵为人解说，所有业障咸得消除，终不受于恶趣之苦。斯人即为诸佛菩萨之所护念，在在所生诸根具足，蒙佛灌顶五眼清净。善男子，取要言之，我见是人已成佛道。”
佛说此经已，胜思惟等一切菩萨，及诸声闻天龙八部，皆大欢喜信受奉行。
回向：“仅以此功德，一者回向，普光明藏，现量实证; 二者回向，佛果菩提，速疾圆满 ; 三者回向，法界众生，同生净土。”
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
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