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在落日大道浪漫出逃，除了风没有人知道
有人爱晚风中绽放的花，小巷中乱窜的猫，独自一人看的日落，真诚而不失浪漫的热爱着自己锁热爱的
冬日储存浪漫，春天漫山遍野馈赠给你
你的秋日好运正在派件啦，请签收
要不然，来生做一颗馄饨也不错
洁白行世，怀着一颗肉心
在热水中洗一个澡撒花
闻着最紫菜与虾皮带来的遥远的海的味道
去温暖每一个夜色中匆忙的行人⁽⁽ଘ( ˙꒳˙ )ଓ⁾⁾⁽⁽ଘ( ˙꒳˙ )ଓ⁾⁾⁽⁽ଘ( ˙꒳˙ )ଓ⁾⁾
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中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
“羲和”追日这些高科技将让它的“首拍”超精超稳
作为中国卫星史上第一位太阳专属的“摄像师”，“羲和号”开创了多个“首次”。近期，“羲和号”将获得首批观测数据。研究团队将在对观测数据进行科学标定处理后，向国内外公布。
效法羲和驭天马，志在长空牧群星。“羲和”是上古神话中的太阳女神与制定时历的女神。10月14日，以“羲和”命名的我国首颗太阳探测科学技术试验卫星在太原卫星发射中心成功发射，这标志着我国正式步入“探日”时代。作为中国卫星史上第一位太阳专属的“摄像师”，“羲和号”开创了多个“首次”。
“羲和号”发射任务完成之后，南京大学研发团队即刻与卫星系统、测控系统和地面系统团队联合开展“羲和号”的在轨测试工作，近期将获得首批观测数据，在进行科学标定处理后，向国内外公布。
首次开展
太阳Hα波段光谱成像空间探测
自上世纪60年代以来，世界各国已经先后发射了70多颗太阳探测卫星。例如，1990年发射、首次实现太阳极轨探测的“尤利西斯”号探测器；2018年发射、首次对太阳进行最近距离（9个太阳半径）抵近探测的“帕克”探测器；2020年发射、计划首次获取太阳极区图像并近距离探测太阳风等离子体、高能粒子的“太阳轨道飞行器”等。
人类为何对太阳如此着迷？“羲和号”科学与应用系统总设计师、南京大学副教授李川告诉科技日报记者：“太阳是距离地球最近的恒星，是唯一可以实现高时空分辨率观测的恒星。它是我们了解宇宙的一个窗口，通过对它的观测和研究，可以了解一些基本的天体物理过程，比如磁场的产生和演化、粒子的加速和传播、天体爆发的物理机制等。其次，太阳爆发活动是灾害性空间天气的源头，观测和研究太阳，对灾害性空间天气的预警和预报有重大的应用价值。”
那么，探测太阳的卫星与探测月球、火星的卫星又有何不同呢？李川介绍：“由于太阳的辐射非常强，在地球轨道处的辐射强度为每平方米1.36千瓦，因此‘羲和号’上的太阳空间望远镜首先需要考虑的是温度控制，要通过滤光镜仅让所需要的波段进入望远镜系统，再通过相关热控技术将望远镜系统控制在工作温度范围内；另外，还需要重点考虑杂散光抑制，通过涂层、光阑等方式将系统内的散射光降到最低。”
Hα是研究太阳活动在光球和色球响应时最好的谱线之一，“羲和号”将在国际上首次实现对太阳Hα波段光谱成像的空间探测。“Hα线翼反映了太阳光球层信息，而线心则反映了色球层信息。一条谱线的光谱成像可获得光球和色球不同层次的信息，相当于给太阳做了一个纵切面的分析。”李川说。
首次采用
“动静隔离非接触”总体设计新方法
中国航天科技集团八院相关负责人介绍，传统卫星采用平台舱和载荷舱固连的设计方法，因此平台舱活动部件的振动不可避免地会传递至载荷舱，造成载荷舱内望远镜观测质量的下降。
此次“羲和号”卫星研制团队在国际上首次采用了“动静隔离非接触”总体设计新方法，将飞轮、太阳帆板等微振动源集中于平台舱，将太阳Hα光谱仪放置于载荷舱，并首次在轨应用磁浮控制技术和执行机构将平台舱与载荷舱进行物理隔离。
“磁浮作动器”是磁浮控制重要的一环，也成为了“羲和号”载荷舱的“维稳担当”。中国航天科技集团八院相关负责人介绍，为了让磁浮作动器拥有高精度、大带宽、自身无干扰等能力，团队采用闭合磁路优化设计，成功实现了磁场高均匀性，达到了大带宽隔离平台舱挠性与微振动干扰的效果；通过低噪声、低纹波、高精度功放驱动电流精密控制，实现了超高精度驱动电流输出，控制精度较传统方式高出两个数量级，确保了太阳空间望远镜等载荷可获得超静、超稳的工作环境，极大拓展了望远镜等载荷的探测能力和适用范围。
首次提出
“载荷舱主动控制、平台舱从动控制”
作为中国卫星史上第一位太阳专属“摄像师”，研究人员为“羲和号”的太阳Hα光谱仪设计了很多观测方式，有时需要对太阳进行平场定标，即需要控制卫星姿态依次指向太阳圆盘的9个不同区域；有时需要控制卫星姿态对太阳进行连续的摆扫观测；有时需要对卫星进行暗场定标，即控制卫星姿态指向空间特定区域。
“平台舱好比是飞机，控制分系统就是驾驶员，需要保证飞机稳定运行在航线上，载荷则是乘客。”中国航天科技集团八院控制所“羲和号”卫星平台舱控制分系统行政指挥林荣峰打了个比方，尽管“乘客”很挑剔，但研发团队通过5种不同的指向模式设计，及时响应和切换，使平台舱可以轻松应对载荷的多种工作需求，保证对太阳的稳定连续观测。
此外，“羲和号”的载荷舱和平台舱具备锁定和解锁两种状态。“当两舱锁定时，对平台舱的控制实际上就是对整星的控制。但一旦两舱解锁，情况就大不相同了。”中国航天科技集团八院控制所“羲和号”卫星平台舱控制分系统技术负责人聂章海说，“载荷舱与平台舱存在相对运动，平台舱必须实时跟踪载荷舱，但两舱间隙只有5毫米，平台舱在跟踪载荷舱运动时还要注意绝对不能让两舱之间发生碰撞。”
如何实现两舱协同控制？无数次的攻关、测试后，“羲和号”在国际上首次提出了“载荷舱主动控制、平台舱从动控制”的新方法，解决了两舱姿态和位置动力学耦合问题，实时、动态地将姿态控制力和位置控制力分配至对应的大带宽超高精度磁浮作动器，实现了两舱的稳定控制。
首次实现
卫星大功率、高可靠、高效无线能源传输
载荷舱和平台舱处于非接触状态，传统的供电方式无法满足能源传输需求。如何解决载荷舱的能源获取问题？又该怎样实现整星的能源分配？
中国航天科技集团八院811所（以下简称811所）研制团队经过多番论证与比对，提出了磁感应耦合式无线能量传输技术，首次在卫星上实现大功率、高可靠、高效无线能源传输技术的应用。
“从能量输入到能量输出，整个链路的综合转换效率达到80%以上，在磁场耦合部分，磁传输效率达95%以上，实现了高效低热耗的能量传输。该技术的应用，让星上无线能源传输技术得到了充分的验证，并为其他型号无线能源传输技术的应用奠定了基础。”811所“羲和号”无线传输子系统主任设计师张俊亭说。
根据卫星在轨对能源不间断的需求、卫星工作状态及轨道光照等特点，811所研制人员对卫星电源系统的“大脑”电源控制器也进行了升级。
811所“羲和号”电源子系统主任设计师周成召说：“团队将原来分散的能量收集、储存、控制与分配管理模式，升级为一体化的智能管理模式，解决了平台舱和载荷舱联合供电、分舱供电及太空中能源传输技术难题，在为载荷舱提供源源不断能量的同时，大大提升了在轨故障的处置及应变能力，为卫星在轨寿命提供了保证。”
此外，卫星采用激光通信和微波通信两种“互为备份”的无线通信方式，在两舱之间架起5G高速通信通道，进一步提升了舱间通信的效率和可靠性。
来源：科技日报
作为中国卫星史上第一位太阳专属的“摄像师”，“羲和号”开创了多个“首次”。近期，“羲和号”将获得首批观测数据。研究团队将在对观测数据进行科学标定处理后，向国内外公布。
效法羲和驭天马，志在长空牧群星。“羲和”是上古神话中的太阳女神与制定时历的女神。10月14日，以“羲和”命名的我国首颗太阳探测科学技术试验卫星在太原卫星发射中心成功发射，这标志着我国正式步入“探日”时代。作为中国卫星史上第一位太阳专属的“摄像师”，“羲和号”开创了多个“首次”。
“羲和号”发射任务完成之后，南京大学研发团队即刻与卫星系统、测控系统和地面系统团队联合开展“羲和号”的在轨测试工作，近期将获得首批观测数据，在进行科学标定处理后，向国内外公布。
首次开展
太阳Hα波段光谱成像空间探测
自上世纪60年代以来，世界各国已经先后发射了70多颗太阳探测卫星。例如，1990年发射、首次实现太阳极轨探测的“尤利西斯”号探测器；2018年发射、首次对太阳进行最近距离（9个太阳半径）抵近探测的“帕克”探测器；2020年发射、计划首次获取太阳极区图像并近距离探测太阳风等离子体、高能粒子的“太阳轨道飞行器”等。
人类为何对太阳如此着迷？“羲和号”科学与应用系统总设计师、南京大学副教授李川告诉科技日报记者：“太阳是距离地球最近的恒星，是唯一可以实现高时空分辨率观测的恒星。它是我们了解宇宙的一个窗口，通过对它的观测和研究，可以了解一些基本的天体物理过程，比如磁场的产生和演化、粒子的加速和传播、天体爆发的物理机制等。其次，太阳爆发活动是灾害性空间天气的源头，观测和研究太阳，对灾害性空间天气的预警和预报有重大的应用价值。”
那么，探测太阳的卫星与探测月球、火星的卫星又有何不同呢？李川介绍：“由于太阳的辐射非常强，在地球轨道处的辐射强度为每平方米1.36千瓦，因此‘羲和号’上的太阳空间望远镜首先需要考虑的是温度控制，要通过滤光镜仅让所需要的波段进入望远镜系统，再通过相关热控技术将望远镜系统控制在工作温度范围内；另外，还需要重点考虑杂散光抑制，通过涂层、光阑等方式将系统内的散射光降到最低。”
Hα是研究太阳活动在光球和色球响应时最好的谱线之一，“羲和号”将在国际上首次实现对太阳Hα波段光谱成像的空间探测。“Hα线翼反映了太阳光球层信息，而线心则反映了色球层信息。一条谱线的光谱成像可获得光球和色球不同层次的信息，相当于给太阳做了一个纵切面的分析。”李川说。
首次采用
“动静隔离非接触”总体设计新方法
中国航天科技集团八院相关负责人介绍，传统卫星采用平台舱和载荷舱固连的设计方法，因此平台舱活动部件的振动不可避免地会传递至载荷舱，造成载荷舱内望远镜观测质量的下降。
此次“羲和号”卫星研制团队在国际上首次采用了“动静隔离非接触”总体设计新方法，将飞轮、太阳帆板等微振动源集中于平台舱，将太阳Hα光谱仪放置于载荷舱，并首次在轨应用磁浮控制技术和执行机构将平台舱与载荷舱进行物理隔离。
“磁浮作动器”是磁浮控制重要的一环，也成为了“羲和号”载荷舱的“维稳担当”。中国航天科技集团八院相关负责人介绍，为了让磁浮作动器拥有高精度、大带宽、自身无干扰等能力，团队采用闭合磁路优化设计，成功实现了磁场高均匀性，达到了大带宽隔离平台舱挠性与微振动干扰的效果；通过低噪声、低纹波、高精度功放驱动电流精密控制，实现了超高精度驱动电流输出，控制精度较传统方式高出两个数量级，确保了太阳空间望远镜等载荷可获得超静、超稳的工作环境，极大拓展了望远镜等载荷的探测能力和适用范围。
首次提出
“载荷舱主动控制、平台舱从动控制”
作为中国卫星史上第一位太阳专属“摄像师”，研究人员为“羲和号”的太阳Hα光谱仪设计了很多观测方式，有时需要对太阳进行平场定标，即需要控制卫星姿态依次指向太阳圆盘的9个不同区域；有时需要控制卫星姿态对太阳进行连续的摆扫观测；有时需要对卫星进行暗场定标，即控制卫星姿态指向空间特定区域。
“平台舱好比是飞机，控制分系统就是驾驶员，需要保证飞机稳定运行在航线上，载荷则是乘客。”中国航天科技集团八院控制所“羲和号”卫星平台舱控制分系统行政指挥林荣峰打了个比方，尽管“乘客”很挑剔，但研发团队通过5种不同的指向模式设计，及时响应和切换，使平台舱可以轻松应对载荷的多种工作需求，保证对太阳的稳定连续观测。
此外，“羲和号”的载荷舱和平台舱具备锁定和解锁两种状态。“当两舱锁定时，对平台舱的控制实际上就是对整星的控制。但一旦两舱解锁，情况就大不相同了。”中国航天科技集团八院控制所“羲和号”卫星平台舱控制分系统技术负责人聂章海说，“载荷舱与平台舱存在相对运动，平台舱必须实时跟踪载荷舱，但两舱间隙只有5毫米，平台舱在跟踪载荷舱运动时还要注意绝对不能让两舱之间发生碰撞。”
如何实现两舱协同控制？无数次的攻关、测试后，“羲和号”在国际上首次提出了“载荷舱主动控制、平台舱从动控制”的新方法，解决了两舱姿态和位置动力学耦合问题，实时、动态地将姿态控制力和位置控制力分配至对应的大带宽超高精度磁浮作动器，实现了两舱的稳定控制。
首次实现
卫星大功率、高可靠、高效无线能源传输
载荷舱和平台舱处于非接触状态，传统的供电方式无法满足能源传输需求。如何解决载荷舱的能源获取问题？又该怎样实现整星的能源分配？
中国航天科技集团八院811所（以下简称811所）研制团队经过多番论证与比对，提出了磁感应耦合式无线能量传输技术，首次在卫星上实现大功率、高可靠、高效无线能源传输技术的应用。
“从能量输入到能量输出，整个链路的综合转换效率达到80%以上，在磁场耦合部分，磁传输效率达95%以上，实现了高效低热耗的能量传输。该技术的应用，让星上无线能源传输技术得到了充分的验证，并为其他型号无线能源传输技术的应用奠定了基础。”811所“羲和号”无线传输子系统主任设计师张俊亭说。
根据卫星在轨对能源不间断的需求、卫星工作状态及轨道光照等特点，811所研制人员对卫星电源系统的“大脑”电源控制器也进行了升级。
811所“羲和号”电源子系统主任设计师周成召说：“团队将原来分散的能量收集、储存、控制与分配管理模式，升级为一体化的智能管理模式，解决了平台舱和载荷舱联合供电、分舱供电及太空中能源传输技术难题，在为载荷舱提供源源不断能量的同时，大大提升了在轨故障的处置及应变能力，为卫星在轨寿命提供了保证。”
此外，卫星采用激光通信和微波通信两种“互为备份”的无线通信方式，在两舱之间架起5G高速通信通道，进一步提升了舱间通信的效率和可靠性。
来源：科技日报
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