23亿!又一碳化硅企业要建厂

前段时间,英飞凌、博世等外资碳化硅企业纷纷扩产(.点这里.);近日,又有一家欧洲公司宣布扩产。

Soitec将投资约23亿人民币,新建一个新的碳化硅晶圆厂,以量产多晶碳化硅衬底(3C-SiC)技术,而且目标市场是电动汽车。

据悉,3C-SiC有望将碳化硅器件成本降低50%。除了Soitec,日本住友金属的子公司也在扩充3C-SiC产能,计划年产12万片。

投资23亿

量产3C-SiC衬底技术

降低碳化硅半导体成本有多重方式,其中,有些企业在探索3C-SiC技术。
简单来说,3C-SiC就是将SiC单晶切得更薄,然后键合在SiC多晶衬底上,这样既可以减少SiC单晶的使用量,又可以获得与单晶衬底相同的器件特性。
Soitec就是其中其中的代表,他们还专门开发了2项技术——SmartCut 和SmartSiC衬底。
该公司表示,他们的3C-SiC技术有两个好处:
一方面,产量可增加10倍。采用传统技术,一块SiC单晶可切割成40-50片晶圆,而使用SmartCut技术可以生产500个晶圆;另一方面,降低电阻率。Smart Cut可将碳化硅衬底的电阻率降低至少4倍,使SiC MOSFET尺寸缩小5-15%。

去年,Soitec曾表示:未来5年将新建2家工厂,其中一家工厂将生产6英寸和8英寸SiC晶圆,预计将在2022年3月前开始建设,以便在2023/2024财年投入使用。
而近日,该计划得到了落实。
3月11日,Soitec官网宣布,他们将在法国伯宁总部建设一个新的SiC 晶圆制造工厂,投资总金额或达3.3亿欧元(约23亿人民币)。

Soitec还表示,他们计划在五年内投资11亿欧元(约87.57亿人民币)用于扩产和碳化硅布局;在碳化硅生产方面的资本支出将占总投资的20%左右(推算达17.5亿人民币)。
据Soitec的合作伙伴Mersen表示,Soite会将SmartSiC衬底提供给Wolfspeed、意法半导体和博世等客户,汽车行业可能会在 2024年开始采用该技术。
不过,Soitec官网称,Soitec已经在跟主要的 SiC 器件制造商合作,目标是在 2023 年下半年创造第一笔收入。
Soitec 首席执行官 Paul Boudre表示,“这项投资对我们来说是重要的一步,因为 SmartSiC将成为 Soitec 的另一个增长引擎,并成为汽车和工业市场转型的推动力。”
Sicoxs也在扩产

计划年产能12万片

致力于3C-SiC技术研发的还包括Sicoxs——日本住友金属的子公司。
Sicoxs将这项技术命名为“SiCkrest”。2013年时,Sicoxs表示这种技术可以降低50%的SiC单晶衬底成本。
自2017年以来,Sicoxs就在建设粘合SiC衬底的量产示范线;2021年11月,该公司宣布计划将这项技术进行商业化,计划在2025年将6英寸SiC衬底产能增加到1万片/月。
同时,他们也计划推进这项技术在电源控制单元(PCU)等车载产品应用。

原创 行家产研-许若冰 第三代半导体风向 2022-03-14 18:06

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