（3）薄膜沉积设备： AMAT、Lam 和 TEL 在薄膜沉积设备领域具有垄断地位。

薄膜沉积设备主要分为 CVD、PVD 和 ALD。根据 Gartner 的数据，全球 CVD 设备 被 AMAT、Lam 和 TEL 垄断，三者合计占有 70%左右的市场份额。

国内薄膜沉积设备公司主要为北方华创和沈阳拓荆，竞争力较小。

根据中国国际招标网的数据，AMAT、Lam 和 TEL 在内资产线中占比达到 69%，国内设备公司仅占 10.52%，竞争力非常小，其中北方华创占 3%，沈阳拓荆占 4%

（2）退火设备： AMAT 在全球 RTP（快速热处理设备）领域占有绝对领先地位。

退火设备主要分为氧化/扩散炉、RTP 设备和 Gate Stack 三个部分。其中在 RTP 设备方面，AMAT 占有近 70%的市场份额，有绝对话语权。

北京屹唐作为国内公司，在 RTP 领域有深厚积累，占据 10.22%的市场份额，排名第二。

内资产线中北方华创、国际电气等国内公司占比明显提升。

根据中国国际招标网的数据，市场份额占比最大的为 TEL，占 46%。中国公司总计 占有 23.17%的市场份额，其中北方华创占 17%，北京屹唐占 2%。

图 24：2019 年全球 RTP 设备市场被 AMAT 垄断

图 25：内资产线中北方华创、北京屹唐等国内公司占比较大

细分设备市场格局方面，大部分设备的市场份额均由国外企业垄断。

根据长江存储、中芯绍兴、积塔、华虹无锡、华力微和株洲中车这五条产线进行计算，以刻蚀设备、退火设备和薄膜沉积设备市场格局为例：

（1）刻蚀设备: 由于刻蚀工艺复杂，技术壁垒高，市场格局高度集中。

根据 Gartner 的 数据，2019 年，Lam、TEL 和 AMAT 在刻蚀设备市场分别占据前三，总计占有 90.88%的市场份额，寡头垄断明显。

国内有部分新兴公司正逐渐打破刻蚀设备市场垄断，包括中微公司、北方华创、北京屹唐等，三者分别占据 1.08%、0.78%和 0.15%的市场份额，目前市场份额占比相对较小。

内资产线对于国内刻蚀设备公司有明显的发展推动作用，产线中的国内设备占比相对较高。

根据中国国际招标网的数据，Lam、TEL 和 AMAT 总共占据 67%的产线份额。

虽然国外公司寡头现象依然严重，但是国内设备公司的产线份额得到了明显提升，其中北方华创、中微公司和北京屹唐三家公司分别占有内资产线 8%、9%和 2%的市场份额，内资产线对于国内刻蚀设备的发展具有推动作用。