【#追忆杭州市检察院因公殉职检察官蒋春尧#】#杭州56岁检察官因公殉职#一个茶杯，一支笔。办公桌上，是他经常翻看、琢磨的刑法书、案卷材料；座位对面的一张A4纸上，密密麻麻写了大半页，是他正在梳理的一起网络犯罪案件……一切都仿佛是他还在的样子，但一切却都已经定格。
10月19日晚8点45分，浙江省杭州市检察院第七检察部主任、三级高级检察官蒋春尧因连续工作操劳过度，突发疾病医治无效，永远地离开了他挚爱的检察事业，离开了他挚爱的家人、同事、亲友，年仅56岁。
“他走得太突然”
“他走得太突然。”杭州市检察院检委会专职委员兼第一检察部主任桑涛有点接受不了，他的办公室就在蒋春尧的隔壁，19日晚8点多，他加完班回家的路上突然接到同事发来的消息，说“蒋处的爱人给值班室打来了电话”。他无法相信这是真的，赶紧打电话过去，但电话那头，已是哭声一片。
正在重庆出差的杭州市检察院检委会专职委员兼第二检察部主任张洪阁，得知消息后连夜赶回来，“20多年的相处，我们是好同事，更是一个战壕奋斗的好战友、好兄弟……”一路上，他接到很多人的电话，他们来自不同的部门，法院、公安、监察委……因为曾经一起办过案子、一起工作过，大家都不敢相信，谦逊随和、待人接物总是笑呵呵的蒋春尧，竟然就这样急匆匆地走了。大家都想问问，有没有事情需要帮忙，更怕错过和他做最后的告别。
杭州市检察院第七检察部副主任徐萍记得，就在意外发生的前一天下午，正准备下班的她看到蒋春尧还在办公室里，因为急着外出，她没有进去打招呼，“没想到就此错过了最后一面。如果蒋处及时去医院，就不会走……”
“我是从农村走出来的人”
蒋春尧出生于诸暨一个普通农民家庭，1989年从镇江船舶学院机械制造工艺与设备专业毕业，1991年调入杭州市检察院工作。
“一进市检察院，我们就在一个部门。”在张洪阁的记忆里，每年冬天，蒋春尧总会穿一件黑色的长款外套，“生活上，他简单朴素，从没有过高的要求。”
就像他的标志性外套一样，蒋春尧的工具箱也很出名。很多年前，检察院里没有专门的维修人员，工科出身的蒋春尧就热情地干起了兼职：不管是单位，还是同事家里，大到桌椅书柜、自行车，小到台灯、眼镜腿上的螺丝，只要跟他讲一声，他很快就会拎着工具箱找上门帮忙。
10多年前，杭州市检察院第一检察部副主任李鹏刚走上工作岗位，蒋春尧是他的第一任领导。他的印象里，蒋春尧总是笑眯眯的，像一位忠厚谦逊的兄长，从来没有官架子。
2013年8月，蒋春尧到余杭区检察院挂职副检察长。干警宿舍在车库的楼上，当时任余杭区检察院行装科科长的吴文迪想给他添置一些家电，但蒋春尧却连连摆手，“我只要能睡觉就行”。
繁忙的工作之余，蒋春尧会写写毛笔字。李鹏记得，他最常写的是两个字，是“初心”，“他常说，我是从农村走出来的人，总丢不下百姓情怀”。
干一行爱一行钻一行
2014年挂职结束回到杭州市检察院后，蒋春尧的岗位换到了侦查监督处。一次办案中，蒋春尧了解到，当时医保“骗保”“空刷”套现等情况严重。医保关系民生，医保金更是老百姓的“救命钱”。在他的建议下，杭州市检察院牵头联合公安、法院、人社局等建立打击骗取社保基金联动新机制，开展打击欺诈骗保专项整治行动，严打了一批骗取社保基金的犯罪分子。
“能宽则宽，当严则严。”蒋春尧经常这样跟同事们说。在那次专项行动中，办案人员重点对“内鬼”“黄牛”等深挖彻查，而对高龄、身患重病等特殊原因的骗保案件，则依法从轻、减轻处罚。
因为工作上的交集，杭州市公安局某部门负责人和蒋春尧相识20多年。“他为人很随和，办案中又是一个特别热心肠、正义感特别强的人。”大约10来天前，他们刚碰过面。当时蒋春尧说，他正和相关部门沟通，希望能让那些犯了罪但未到刑事责任年龄的外地孩子在杭州接受专门教育矫治，这样既有利于孩子的教育挽救，也能避免再危害社会，“他就是这样一个人，总是干一行，爱一行，钻一行。”
他是一直甘当绿叶的人
徐萍是蒋春尧的徒弟。在她眼里，蒋师父温和、宽厚，是一个特别有责任心、特别有担当的人。对年轻人，他一路培养、教导、引领，毫无保留。
徐萍记得，每当自己遇到疑难复杂案件举棋不定的时候，蒋春尧总是告诉她，“不用怕，我帮你看一看，我们一起来研究，一定有办法。”
蒋春尧是检委会委员，经常会接触检委会讨论的重要疑难案件。平日里，蒋春尧一有空就会和徐萍对实案中的相关办理经验进行探讨，他对她说：“以后万一你碰到类似的案件，就有应对的办法了。”
最近这几个月，蒋春尧在为杭州选手参加全省的未检业务竞赛忙碌。封闭式培训期间，检察院里很少看到他。偶尔，隔壁办公室的桑涛看到他回来，也是步履匆匆，“有时碰到我们也会聊一聊，能感觉到，他的心思都在办案和选手辅导上。”
在大家眼里，蒋春尧一直是甘当绿叶的人。这些年来，公诉、侦监、未检，不管在哪一个岗位，他都任劳任怨，取得了很多成绩，也有很多获得荣誉的机会，但他总想着身边的年轻人，从来没有留给过自己。
没来得及办结的最后一案
2019年，蒋春尧受命进入杭州某专项处置工作专班，参与全市一系列重大案件的指导协调。当时，很多案件都属于新型案件，如何处置没有先例可循，相关法律规定也尚存空白。面对工作开展初期步履维艰的状况，蒋春尧推动检察机关和法院、公安机关出台类案处理规范，为此后全市办理该类案件提供了坚强支撑。
在拱墅区公安分局，有一间专门的办公室。去年4月到10月间，蒋春尧牵头处置一起重大专项案件，半年无休，一周里有一半的时间都在这里。在他的指导下，该案实现了精准打击，“大约半个月前，案子开庭了，我们都很高兴，还开了一个讨论会总结经验。本以为等案件宣判还能再聚，没想到，蒋处却走了……”
最近，蒋春尧在办理一起民事抗诉监督案。该案中，因为婆媳矛盾，将近百万的抚恤金长达7年一直无法拨付。7年过去，死者的女儿已从襁褓中的婴儿长到了入学的年纪。没有钱，孩子怎么生活，她的未来怎么办？从保护孩子的利益出发，蒋春尧提出，要努力促成婆媳之间和解，以争议的实质性化解来解决孩子的抚养难题。
“前天，案件有了很大进展，我正想等蒋处回来告诉他。”杭州市检察院第七检察部的周扬说，想不到，这竟成了蒋春尧还没来得及办结的最后一案，“事情未了，后面即使困难重重，我也会一直做下去。”
这两天，桑涛一直在为蒋春尧的告别仪式忙碌。一个人静下来的时候，坐在办公室，他才意识到，以后再也听不到蒋春尧急匆匆走来的脚步声。“着意闻时不肯香，香在无心处。”他觉得，这就是大家所认识的蒋春尧。（浙江法制报 记者 许梅 通讯员 赵云）
10月19日晚8点45分，浙江省杭州市检察院第七检察部主任、三级高级检察官蒋春尧因连续工作操劳过度，突发疾病医治无效，永远地离开了他挚爱的检察事业，离开了他挚爱的家人、同事、亲友，年仅56岁。
“他走得太突然”
“他走得太突然。”杭州市检察院检委会专职委员兼第一检察部主任桑涛有点接受不了，他的办公室就在蒋春尧的隔壁，19日晚8点多，他加完班回家的路上突然接到同事发来的消息，说“蒋处的爱人给值班室打来了电话”。他无法相信这是真的，赶紧打电话过去，但电话那头，已是哭声一片。
正在重庆出差的杭州市检察院检委会专职委员兼第二检察部主任张洪阁，得知消息后连夜赶回来，“20多年的相处，我们是好同事，更是一个战壕奋斗的好战友、好兄弟……”一路上，他接到很多人的电话，他们来自不同的部门，法院、公安、监察委……因为曾经一起办过案子、一起工作过，大家都不敢相信，谦逊随和、待人接物总是笑呵呵的蒋春尧，竟然就这样急匆匆地走了。大家都想问问，有没有事情需要帮忙，更怕错过和他做最后的告别。
杭州市检察院第七检察部副主任徐萍记得，就在意外发生的前一天下午，正准备下班的她看到蒋春尧还在办公室里，因为急着外出，她没有进去打招呼，“没想到就此错过了最后一面。如果蒋处及时去医院，就不会走……”
“我是从农村走出来的人”
蒋春尧出生于诸暨一个普通农民家庭，1989年从镇江船舶学院机械制造工艺与设备专业毕业，1991年调入杭州市检察院工作。
“一进市检察院，我们就在一个部门。”在张洪阁的记忆里，每年冬天，蒋春尧总会穿一件黑色的长款外套，“生活上，他简单朴素，从没有过高的要求。”
就像他的标志性外套一样，蒋春尧的工具箱也很出名。很多年前，检察院里没有专门的维修人员，工科出身的蒋春尧就热情地干起了兼职：不管是单位，还是同事家里，大到桌椅书柜、自行车，小到台灯、眼镜腿上的螺丝，只要跟他讲一声，他很快就会拎着工具箱找上门帮忙。
10多年前，杭州市检察院第一检察部副主任李鹏刚走上工作岗位，蒋春尧是他的第一任领导。他的印象里，蒋春尧总是笑眯眯的，像一位忠厚谦逊的兄长，从来没有官架子。
2013年8月，蒋春尧到余杭区检察院挂职副检察长。干警宿舍在车库的楼上，当时任余杭区检察院行装科科长的吴文迪想给他添置一些家电，但蒋春尧却连连摆手，“我只要能睡觉就行”。
繁忙的工作之余，蒋春尧会写写毛笔字。李鹏记得，他最常写的是两个字，是“初心”，“他常说，我是从农村走出来的人，总丢不下百姓情怀”。
干一行爱一行钻一行
2014年挂职结束回到杭州市检察院后，蒋春尧的岗位换到了侦查监督处。一次办案中，蒋春尧了解到，当时医保“骗保”“空刷”套现等情况严重。医保关系民生，医保金更是老百姓的“救命钱”。在他的建议下，杭州市检察院牵头联合公安、法院、人社局等建立打击骗取社保基金联动新机制，开展打击欺诈骗保专项整治行动，严打了一批骗取社保基金的犯罪分子。
“能宽则宽，当严则严。”蒋春尧经常这样跟同事们说。在那次专项行动中，办案人员重点对“内鬼”“黄牛”等深挖彻查，而对高龄、身患重病等特殊原因的骗保案件，则依法从轻、减轻处罚。
因为工作上的交集，杭州市公安局某部门负责人和蒋春尧相识20多年。“他为人很随和，办案中又是一个特别热心肠、正义感特别强的人。”大约10来天前，他们刚碰过面。当时蒋春尧说，他正和相关部门沟通，希望能让那些犯了罪但未到刑事责任年龄的外地孩子在杭州接受专门教育矫治，这样既有利于孩子的教育挽救，也能避免再危害社会，“他就是这样一个人，总是干一行，爱一行，钻一行。”
他是一直甘当绿叶的人
徐萍是蒋春尧的徒弟。在她眼里，蒋师父温和、宽厚，是一个特别有责任心、特别有担当的人。对年轻人，他一路培养、教导、引领，毫无保留。
徐萍记得，每当自己遇到疑难复杂案件举棋不定的时候，蒋春尧总是告诉她，“不用怕，我帮你看一看，我们一起来研究，一定有办法。”
蒋春尧是检委会委员，经常会接触检委会讨论的重要疑难案件。平日里，蒋春尧一有空就会和徐萍对实案中的相关办理经验进行探讨，他对她说：“以后万一你碰到类似的案件，就有应对的办法了。”
最近这几个月，蒋春尧在为杭州选手参加全省的未检业务竞赛忙碌。封闭式培训期间，检察院里很少看到他。偶尔，隔壁办公室的桑涛看到他回来，也是步履匆匆，“有时碰到我们也会聊一聊，能感觉到，他的心思都在办案和选手辅导上。”
在大家眼里，蒋春尧一直是甘当绿叶的人。这些年来，公诉、侦监、未检，不管在哪一个岗位，他都任劳任怨，取得了很多成绩，也有很多获得荣誉的机会，但他总想着身边的年轻人，从来没有留给过自己。
没来得及办结的最后一案
2019年，蒋春尧受命进入杭州某专项处置工作专班，参与全市一系列重大案件的指导协调。当时，很多案件都属于新型案件，如何处置没有先例可循，相关法律规定也尚存空白。面对工作开展初期步履维艰的状况，蒋春尧推动检察机关和法院、公安机关出台类案处理规范，为此后全市办理该类案件提供了坚强支撑。
在拱墅区公安分局，有一间专门的办公室。去年4月到10月间，蒋春尧牵头处置一起重大专项案件，半年无休，一周里有一半的时间都在这里。在他的指导下，该案实现了精准打击，“大约半个月前，案子开庭了，我们都很高兴，还开了一个讨论会总结经验。本以为等案件宣判还能再聚，没想到，蒋处却走了……”
最近，蒋春尧在办理一起民事抗诉监督案。该案中，因为婆媳矛盾，将近百万的抚恤金长达7年一直无法拨付。7年过去，死者的女儿已从襁褓中的婴儿长到了入学的年纪。没有钱，孩子怎么生活，她的未来怎么办？从保护孩子的利益出发，蒋春尧提出，要努力促成婆媳之间和解，以争议的实质性化解来解决孩子的抚养难题。
“前天，案件有了很大进展，我正想等蒋处回来告诉他。”杭州市检察院第七检察部的周扬说，想不到，这竟成了蒋春尧还没来得及办结的最后一案，“事情未了，后面即使困难重重，我也会一直做下去。”
这两天，桑涛一直在为蒋春尧的告别仪式忙碌。一个人静下来的时候，坐在办公室，他才意识到，以后再也听不到蒋春尧急匆匆走来的脚步声。“着意闻时不肯香，香在无心处。”他觉得，这就是大家所认识的蒋春尧。（浙江法制报 记者 许梅 通讯员 赵云）
牙齿涂氟的好处？
当牙齿萌出到口腔环境时，容易受到细菌影响而发生龋齿，这和本身的牙齿结构有关系。涂氟化物是公认的能预防龋病的最好措施。涂氟就是将含氟材料涂在牙齿光滑面的表面，让牙齿穿上保护衣，促进牙齿矿化，也就是增强牙齿硬度，而减少牙齿破坏。 增强牙齿硬度，增强牙对酸的抵抗力，就不容易受到破坏而发生龋病。所以在口腔医疗机构里，涂氟是很好的预防龋病的方法。#西安圣贝牙科# #龋齿# #口腔科普#
当牙齿萌出到口腔环境时，容易受到细菌影响而发生龋齿，这和本身的牙齿结构有关系。涂氟化物是公认的能预防龋病的最好措施。涂氟就是将含氟材料涂在牙齿光滑面的表面，让牙齿穿上保护衣，促进牙齿矿化，也就是增强牙齿硬度，而减少牙齿破坏。 增强牙齿硬度，增强牙对酸的抵抗力，就不容易受到破坏而发生龋病。所以在口腔医疗机构里，涂氟是很好的预防龋病的方法。#西安圣贝牙科# #龋齿# #口腔科普#
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
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