坑试验怎么做?附详解!在半导体封装工艺中,弹坑试验是用来评估键合参数以及键合可靠性的。键合工艺使用的材料一般是金线,铜线或铝线,其中铝线一般是在大功率的产品中使用,铜线在解决了可靠性的问题之后应用也越来越多。弹坑试验数据能够指导工艺工程等部门进行工艺设计改进,优化。FA 在进行这种分析时,针对不同的产品类型,一般采用什么样的方法呢?本文介绍几种常见的方法。
1. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:分离金球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH溶液 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是利用铝的两性,通过碱性溶剂把金球和bond pad之间的铝层溶掉,最终把bond pad和金线分离出来,用于检查分析。在腐蚀铝层时,金线不会被腐蚀掉。溶液浓度可根据产品特点进行调整,也有用氢氧化钾的,但不宜用高浓度的碱进行腐蚀,需要控制好时间,否则会对芯片造成损伤。
2. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:检查bond pad,不关注bond ball 试剂:碘化钾,单质碘,纯水, KI : I2 : DI =115g : 65g : 100g 温度:室温 腐蚀时间:10分钟~15分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是直接把金溶掉,最终把bond pad暴露出来进行检查分析,在腐蚀金的同时,bond pad上面的铝层也会被腐蚀掉。 特点是对金的腐蚀速率较快,缺点是腐蚀不掉的残留物有时较难去除干净。当然去除金的方法还有多种,比如王水,汞等,但王水的氧化性太强,对很多材料都有腐蚀性或者负面影响,汞属于毒性很强的物质一般也不常用,在冶金上面会用于提取金。
3. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:分离铜球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用氢氧化钠溶解铝层,但氢氧化钠不会腐蚀铜线,最终可以把bond pad和铜线分离出来,可以检查bond pad和IMC,与金线IMC检查的方法一样。
4. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:溶解铜线,用于检查分析 bond pad,不需要保证铜线的完整性 试剂:发烟硝酸 温度:室温 腐蚀时间:30秒~ 1分钟 (取决于样品) 这时可以进行bond pad的检查,此时铝层还在pad上,如果需要进一步把铝层去除,可以接着做下面一步: 试剂:HCL (37% ) 温度:50 °C 腐蚀时间:1分钟~ 3分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用发烟硝酸直接溶解铜线,但由于铝具有钝化作用而得以保留,该方法分两步分别把铜线和铝层溶解掉,可以检查bond pad的铝层形貌以及去掉铝层后的芯片pad。
5. 铝 (Al bond pad)+ 铝线键合(Al wire bond) 目的:溶解铝线和铝层,用于检查分析 bond pad,不能保证铝线线的完整性 试剂:HCL (37% ) 温度:35 °C 腐蚀时间:1分钟~ 2分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用盐酸溶解铝质材料,最终可以把bond pad暴露出来,但无法选择性地只去除bond pad上的铝层,这种产品没有IMC的问题,如果要检查键合效果一般会通过其它方法来评估,比如断面分析,RIE等。微ictest1#半导体##芯片##测试#
1. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:分离金球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH溶液 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是利用铝的两性,通过碱性溶剂把金球和bond pad之间的铝层溶掉,最终把bond pad和金线分离出来,用于检查分析。在腐蚀铝层时,金线不会被腐蚀掉。溶液浓度可根据产品特点进行调整,也有用氢氧化钾的,但不宜用高浓度的碱进行腐蚀,需要控制好时间,否则会对芯片造成损伤。
2. 铝 (Al bond pad)+ 金线键合(Au wire bond) 目的:检查bond pad,不关注bond ball 试剂:碘化钾,单质碘,纯水, KI : I2 : DI =115g : 65g : 100g 温度:室温 腐蚀时间:10分钟~15分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是直接把金溶掉,最终把bond pad暴露出来进行检查分析,在腐蚀金的同时,bond pad上面的铝层也会被腐蚀掉。 特点是对金的腐蚀速率较快,缺点是腐蚀不掉的残留物有时较难去除干净。当然去除金的方法还有多种,比如王水,汞等,但王水的氧化性太强,对很多材料都有腐蚀性或者负面影响,汞属于毒性很强的物质一般也不常用,在冶金上面会用于提取金。
3. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:分离铜球(bond ball)与bond pad,用于检查分析 IMC 和bond pad 试剂:10% NaOH 温度:室温 腐蚀时间:约5分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用氢氧化钠溶解铝层,但氢氧化钠不会腐蚀铜线,最终可以把bond pad和铜线分离出来,可以检查bond pad和IMC,与金线IMC检查的方法一样。
4. 铝 (Al bond pad)+ 铜线键合(Cu wire bond) 目的:溶解铜线,用于检查分析 bond pad,不需要保证铜线的完整性 试剂:发烟硝酸 温度:室温 腐蚀时间:30秒~ 1分钟 (取决于样品) 这时可以进行bond pad的检查,此时铝层还在pad上,如果需要进一步把铝层去除,可以接着做下面一步: 试剂:HCL (37% ) 温度:50 °C 腐蚀时间:1分钟~ 3分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用发烟硝酸直接溶解铜线,但由于铝具有钝化作用而得以保留,该方法分两步分别把铜线和铝层溶解掉,可以检查bond pad的铝层形貌以及去掉铝层后的芯片pad。
5. 铝 (Al bond pad)+ 铝线键合(Al wire bond) 目的:溶解铝线和铝层,用于检查分析 bond pad,不能保证铝线线的完整性 试剂:HCL (37% ) 温度:35 °C 腐蚀时间:1分钟~ 2分钟 (取决于样品) 方法说明:该方法是用盐酸溶解铝质材料,最终可以把bond pad暴露出来,但无法选择性地只去除bond pad上的铝层,这种产品没有IMC的问题,如果要检查键合效果一般会通过其它方法来评估,比如断面分析,RIE等。微ictest1#半导体##芯片##测试#
6m+18d的崽崽[心]
刚才我在想到不到六个半呀,一看妈耶早超了呀,小妮妮的头发日益浓密,带上了可可爱爱的小头fa,哈哈哈哈哈哈
奶奶说在楼下玩,非要其他小朋友的扭扭车,六个半月的小毛孩就要坐扭扭车么[允悲]说坐的还挺好[允悲]一定是又要骗我给她买车车……
今天去二姨家第一次吃了米饼,非常没有见识,馋的不行不行的,一会功夫自己啃完了一块,成功的骗我下单了米饼[允悲][允悲]
体重身高就在60分上徘徊,只有头围绝不会输给别人吧[允悲]
60就很好,我也努力做一个60分的妈妈。
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我从来没有听说过这样的说法,
如果说你做完fa事以后,不叫你占卜,可以理解怕你受自己情绪的影响啥的,可是说占卜算命会使fa事无效,恕我学时浅薄,从未有听说过。
道可道,请各位亲友们无论是做啥,算圭卜,看八字啥啥的,请擦亮双眼鸭
还有哪些说免费给你算圭卜的,确实不收你大米,可是他给你来句你啥啥啥时候走啥啥啥灾,让你出更多的米…所以,这些可比解圭卜来的米多呀…sos请擦亮你们的双眼呀…
还有我挺喜欢的和你们聊天的,如果有啥不解的可以和我啦啦,但是看事的话请给大米,毕竟这是规矩………
欢迎来找我聊天,让我也看看你们的不一样的人生#道教 #
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