EFEM（设备前端模块）

模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。

EFEM主要安装在工艺设备的前面。

EFEMs (Equipment Front End Modules)

Module equipment with an atmospheric transfer wafer robot installed in a frame equipped with an FFU (Fan Filter Unit) and a load port attached to the front. Installed in front of the process equipment.

以上内容参考日本半导体设备协会对EFEM的定义。

在外资企业国产化方面，比如日本PHT旗下PHOENIX在苏州成立的菲科半导体张家港制造基地，以及RORZE在上海临港区2022年10月份建成的组装基地等。

在产品方面，EFEM半导体设备前置模块是最大的细分，市场份额超过75%。在应用方面，应用最多的是300mm的晶圆，市场占有率超过95%，其次是200mm的晶圆。

今天是"春分"，英文是 Spring Equinox
Equinox（/ˈiːkwɪnɒks/）这个词语看着挺复杂，其实有章可循。
该词由 Equi 和 Nox 两个拉丁词根构成，分别指“均等”和“夜晚”，这一天地球昼夜均等。
equi-表示“均等”，想想 equal（adj.相等的、平等的）；nox 表示"夜晚 ​​​​...//weibo.com/1737588567/MykWJxW8e
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#二十四节气是中国人的时间哲学#
今天是"春分"，英文是 Spring Equinox
Equinox（/ˈiːkwɪnɒks/）这个词语看着挺复杂，其实有章可循。
该词由 Equi 和 Nox 两个拉丁词根构成，分别指“均等”和“夜晚”，这一天地球昼夜均等。
equi-表示“均等”，想想 equal（adj.相等的、平等的）；nox 表示"夜晚"，比如《哈利波特》里魔杖熄灭咒的咒语就叫"nox"（夜晚），同时 nox 也是罗马神话中的黑夜女神。
"秋分"的原理同春分，英文是 Autumn Equinox。