CMP技术所采用的设备及消耗品包括：CMP设备、研浆、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、研浆分布系统、废物处理和测量设备等。其中研浆和抛光垫为消耗品，其余为抛光及辅助设备。CMP基本组成部分是一个转动着的圆盘和一个圆晶片固定装置，两者都可施力于圆晶片并使其旋转，在含有胶装二氧化硅悬浮颗粒的氢氧化钾溶液研浆的帮助下完成抛光，用一个自动研浆添加系统就可以保证抛光垫湿润程度均匀，适当的送入新研浆及保持其成分不变。
CMP工艺过程中的关键要素是研浆、抛光垫和抛光机。CMP研浆的基本形式是由一个SiO2抛光剂和一个碱性组成份水溶液组成的。SiO2颗粒要求范围为1100nm，碱性组成一般使用KOH、氨或有机胺，PH值为9.511.0。SiO2浓度为1.5%~50%。
抛光片的检测项目主要有：平整度、表面缺陷及损伤情况。
1、平整度:抛光片的平整度一般用平整度测试仪测试。影响平整度的因素主要有：抛光片变形、盆形凹坑等。使硅片变形的因素较多，除硅片切磨后的本身弯曲外，有的是由于硅片两面损伤层严重差异引起。解决这个问题的最好办法是在抛光前对硅片进行化学腐蚀。这样犹豫硅片两面的损伤层都去除，抛光后不致使晶片弯曲。
2、表面缺陷:抛光片的表面宏观缺陷较多，一般有划道、蚀坑、波纹、桔皮、麻点、雾状等。产生划道的原因主要是抛光液中混入了比二氧化硅颗粒大得多的颗粒物，因此抛光的环境以及抛光机、抛光液的清洁度尤为重要。蚀坑与波纹产生的原因主要是抛光时腐蚀速率大于磨削速率之故，如研浆pH值过高，解决这一问题只要稍降低研浆的pH值。产生桔皮的原因主要是抛光时磨削速率大于腐蚀速率之故，只要稍增加研浆中的pH值即可。抛光片表面的雾状可以用软的抛光垫抛光来解决。
3、表面损伤:二氧化硅技术本身能引入轻微的损伤，解决办法有两种，一是降低二氧化硅粒度，另一种是在抛光后用HNO：HF：HAC=50：1：20（体积比）的腐蚀液在冰点对抛光片进行剥离，剥离厚度1~2pm。#半导体 #芯片 #抛光 #抛光机 #芯片制造 #电子芯片 #半导体芯片 #半导体设备 #半导体行业 #集成电路 #IC #ic #制造 #设备 #技术 #工艺 #科技
CMP工艺过程中的关键要素是研浆、抛光垫和抛光机。CMP研浆的基本形式是由一个SiO2抛光剂和一个碱性组成份水溶液组成的。SiO2颗粒要求范围为1100nm，碱性组成一般使用KOH、氨或有机胺，PH值为9.511.0。SiO2浓度为1.5%~50%。
抛光片的检测项目主要有：平整度、表面缺陷及损伤情况。
1、平整度:抛光片的平整度一般用平整度测试仪测试。影响平整度的因素主要有：抛光片变形、盆形凹坑等。使硅片变形的因素较多，除硅片切磨后的本身弯曲外，有的是由于硅片两面损伤层严重差异引起。解决这个问题的最好办法是在抛光前对硅片进行化学腐蚀。这样犹豫硅片两面的损伤层都去除，抛光后不致使晶片弯曲。
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菌敌啶阴道洗液
阴道炎是妇科常见病，是世界卫生组织宣布的全球妇女健康问题。阴道炎主要症状为：阴道分泌物异常、阴道瘙痒或灼热感。若不及时治疗，轻则影响生活、健康质量，严重者可能影响生育。阴道炎发病率高，据北美统计，在北美阴道炎总发病率为27.4%，其中，黑人妇女最高33%，西班牙女性次之为31%，白人稍低为23%，亚洲人最低只有11%。
阴道菌群非常复杂，共存各种微生物超过250种。其中，90%是益生菌（乳酸杆菌），也有少量致病菌包括细菌、真菌、滴虫等，但通常并不发病。阴道炎发病机制非常复杂，与微生物感染、阴道菌群失调、激素水平失衡有关。
阴道炎存在反复发作现象，医生上将细菌性阴道炎每年发作三次或三次以上，霉菌性阴道炎每年发作四次或四次以上，称为复发性阴道炎。造成阴道炎复发的因素有很多，归纳起来有四点：第一点，致病菌根除失败，有残余致病菌，引起复发。造成致病菌根除失败的原因可能包括以下几种：1、治疗不精准。或因用药不当，或因剂量不够，造成致病菌杀灭不彻底。2、患者依从性差，未按医嘱方法用药。3、阴道管腔持续有菌。4、致病菌形成生物膜，致使杀菌困难。5、细菌对药物耐药。造成阴道炎复发的第二个原因可能是再感染。第三个原因是乳酸菌定植失败。乳酸菌是益生菌，保护阴道免受细菌病害。阴道炎患者，往往乳酸菌受到破坏，如果恢复不好，有可能复发。第四个原因，存在两种或两种以上上述因素。
阴道炎的治疗针对不同的致病菌，各国指南推荐采用以下方式治疗。细菌性阴道炎，口服或局部应用甲硝唑、替硝唑、塞克硝唑、克林霉素、硝夫太尔等。霉菌性阴道炎，口服制霉菌素、氟康唑、伊曲康唑、伏立康唑或外用克霉唑、益康唑、咪康唑等。这些药，大部分比较老、耐药率高、治疗失败率也高（高达30%），因此复发率也高（50%）。造成上述药物治疗失败还有一个重要原因是阴道炎往往并不是由单一细菌或霉菌引起的，有相当一部分是由细菌和霉菌混合引起的。而上述药物作用方式比较单一，或者只抗细菌、或者只抗霉菌。近年，发展了一些复方制剂如硝夫太尔－制霉菌素复方片、双唑泰栓（甲硝唑－克霉唑－氯己定），提高了治愈率。
菌敌啶是一种广谱杀菌剂。主要用于伤口和皮肤消毒杀菌，是欧洲最新版《伤口消毒用药指南》推荐的五种杀菌剂之一，有20多年的应用历史。菌敌啶阴道洗液，是德国妇产科协会推荐使用的治疗阴道炎的产品，具有以下特点：
1、抗菌谱广。菌敌啶不论是对革兰氏阳性菌、革兰氏阴性菌还是真菌、支原体、衣原体以及部分病毒（带膜病毒）包括新冠病毒都有很好的抗菌效能。菌敌啶杀灭细菌的MIC为1-4.9ppm，杀灭真菌的MIC为1-3PPM，杀灭新冠病毒的IC50为1PPM。 （菌敌啶与常用杀菌剂杀菌效能的比较见图1）
2、启效快，触杀时间<30秒 。这一点，对于洗液特别重要。触杀时间长，不能保证疗效。
3、对生物膜有强抑制作用。细菌形成生物膜是阴道炎高复发的重要因素。菌敌啶对生物膜有强抑制作用，有利于提高杀菌效率，降低复发率。
4、杀菌时间长，有延时作用，延时时间大于48h。现有阴道炎局部用药一个通用缺点是在阴道内滞留时间短，需多次用药，影响患者的依从性和疗效。提高药物在阴道内的居留时间一直是阴道炎局部用药研发的难题。菌敌啶既使分泌液中检不出药物，也能维持杀菌时间长达48小时，是其独特优点。
5、菌敌啶化学性质稳定，在PH1.6-12.2范围内均表现出很好的抗菌活性。阴道PH值在3.8-4.4之间，在此范围内化学性质稳定，对于保证药物疗效非常重要。氯己定、PHMB等含有双胍结构，在PH小于5时会发生部分分解，降低抗菌效能。
6、菌敌啶抗菌能力不受污染物（如血液，渗液，分泌液）影响。
7、菌敌啶能降低阴道PH，促进阴道菌群恢复。阴道菌群失调是引起阴道炎的重要因素。菌敌啶能降低阴道PH，促进阴道菌群生态恢复，对于治疗阴道炎非常有益。
8、菌敌啶不经皮肤或粘膜吸收，不透过胎盘，孕妇、哺乳期妈妈适用。有资料报道，孕妇是阴道炎高发病人群，发病率高达20%。孕妇不能使用口服等系统用药进行治疗，也不能使用经粘膜吸收能通过胎盘的药物。菌敌啶不能被粘膜吸收，不通过胎盘，非常适合孕妇使用。
9、菌敌啶是杀菌药，不是抑菌药，不会产生耐药。菌敌啶阴道洗液是水溶液，无色、不痛、无刺激，很少发生过敏、毒性小，没有致畸致癌作用。
1000例临床试验证明，菌敌啶洗液，治疗细菌性阴道炎优于甲硝唑。治疗霉菌性阴道炎优于咪康唑。(菌敌啶洗液临床试验结果见图2）
菌敌啶现己完成原料药和制剂的研发，正在按药政报批要求进行药学资料研究。菌敌啶项目现己申报三个发明专利，其中一个己授权。
据米内网报道，2022年我国妇科用药市场己超过100亿，排在首位的是硝夫太尔和制霉菌素的复方制剂，年销售额超过6亿，另外，双唑泰销售额增长也较好，达到了2亿。反映了广谱杀菌药正成为阴道炎用药主流。
阴道炎是妇科常见病，是世界卫生组织宣布的全球妇女健康问题。阴道炎主要症状为：阴道分泌物异常、阴道瘙痒或灼热感。若不及时治疗，轻则影响生活、健康质量，严重者可能影响生育。阴道炎发病率高，据北美统计，在北美阴道炎总发病率为27.4%，其中，黑人妇女最高33%，西班牙女性次之为31%，白人稍低为23%，亚洲人最低只有11%。
阴道菌群非常复杂，共存各种微生物超过250种。其中，90%是益生菌（乳酸杆菌），也有少量致病菌包括细菌、真菌、滴虫等，但通常并不发病。阴道炎发病机制非常复杂，与微生物感染、阴道菌群失调、激素水平失衡有关。
阴道炎存在反复发作现象，医生上将细菌性阴道炎每年发作三次或三次以上，霉菌性阴道炎每年发作四次或四次以上，称为复发性阴道炎。造成阴道炎复发的因素有很多，归纳起来有四点：第一点，致病菌根除失败，有残余致病菌，引起复发。造成致病菌根除失败的原因可能包括以下几种：1、治疗不精准。或因用药不当，或因剂量不够，造成致病菌杀灭不彻底。2、患者依从性差，未按医嘱方法用药。3、阴道管腔持续有菌。4、致病菌形成生物膜，致使杀菌困难。5、细菌对药物耐药。造成阴道炎复发的第二个原因可能是再感染。第三个原因是乳酸菌定植失败。乳酸菌是益生菌，保护阴道免受细菌病害。阴道炎患者，往往乳酸菌受到破坏，如果恢复不好，有可能复发。第四个原因，存在两种或两种以上上述因素。
阴道炎的治疗针对不同的致病菌，各国指南推荐采用以下方式治疗。细菌性阴道炎，口服或局部应用甲硝唑、替硝唑、塞克硝唑、克林霉素、硝夫太尔等。霉菌性阴道炎，口服制霉菌素、氟康唑、伊曲康唑、伏立康唑或外用克霉唑、益康唑、咪康唑等。这些药，大部分比较老、耐药率高、治疗失败率也高（高达30%），因此复发率也高（50%）。造成上述药物治疗失败还有一个重要原因是阴道炎往往并不是由单一细菌或霉菌引起的，有相当一部分是由细菌和霉菌混合引起的。而上述药物作用方式比较单一，或者只抗细菌、或者只抗霉菌。近年，发展了一些复方制剂如硝夫太尔－制霉菌素复方片、双唑泰栓（甲硝唑－克霉唑－氯己定），提高了治愈率。
菌敌啶是一种广谱杀菌剂。主要用于伤口和皮肤消毒杀菌，是欧洲最新版《伤口消毒用药指南》推荐的五种杀菌剂之一，有20多年的应用历史。菌敌啶阴道洗液，是德国妇产科协会推荐使用的治疗阴道炎的产品，具有以下特点：
1、抗菌谱广。菌敌啶不论是对革兰氏阳性菌、革兰氏阴性菌还是真菌、支原体、衣原体以及部分病毒（带膜病毒）包括新冠病毒都有很好的抗菌效能。菌敌啶杀灭细菌的MIC为1-4.9ppm，杀灭真菌的MIC为1-3PPM，杀灭新冠病毒的IC50为1PPM。 （菌敌啶与常用杀菌剂杀菌效能的比较见图1）
2、启效快，触杀时间<30秒 。这一点，对于洗液特别重要。触杀时间长，不能保证疗效。
3、对生物膜有强抑制作用。细菌形成生物膜是阴道炎高复发的重要因素。菌敌啶对生物膜有强抑制作用，有利于提高杀菌效率，降低复发率。
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5、菌敌啶化学性质稳定，在PH1.6-12.2范围内均表现出很好的抗菌活性。阴道PH值在3.8-4.4之间，在此范围内化学性质稳定，对于保证药物疗效非常重要。氯己定、PHMB等含有双胍结构，在PH小于5时会发生部分分解，降低抗菌效能。
6、菌敌啶抗菌能力不受污染物（如血液，渗液，分泌液）影响。
7、菌敌啶能降低阴道PH，促进阴道菌群恢复。阴道菌群失调是引起阴道炎的重要因素。菌敌啶能降低阴道PH，促进阴道菌群生态恢复，对于治疗阴道炎非常有益。
8、菌敌啶不经皮肤或粘膜吸收，不透过胎盘，孕妇、哺乳期妈妈适用。有资料报道，孕妇是阴道炎高发病人群，发病率高达20%。孕妇不能使用口服等系统用药进行治疗，也不能使用经粘膜吸收能通过胎盘的药物。菌敌啶不能被粘膜吸收，不通过胎盘，非常适合孕妇使用。
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据米内网报道，2022年我国妇科用药市场己超过100亿，排在首位的是硝夫太尔和制霉菌素的复方制剂，年销售额超过6亿，另外，双唑泰销售额增长也较好，达到了2亿。反映了广谱杀菌药正成为阴道炎用药主流。
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