[玫瑰]新设备[玫瑰]：晶圆搬运设备 PWT2008；制造商：PHT菲科半导体
简介:采用了清洁机器人的系统。
12英寸（300mm）的晶圆，
以1枚为单位，从容器A移动至容器B。
Inspire
规格 the World
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移，但也可
以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据
客户规格制定 https://t.cn/RU1yYYv
简介:采用了清洁机器人的系统。
12英寸（300mm）的晶圆，
以1枚为单位，从容器A移动至容器B。
Inspire
规格 the World
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移，但也可
以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据
客户规格制定 https://t.cn/RU1yYYv
18英寸 晶圆搬运设备 PWT2014 制造商：菲科（PHT）简介
硅片储存容器转移到储存容器。
18英寸自动搬运，可以将晶圆安全、洁净地移动。
驱动单元的门是互锁的，以防止因疏忽而造成事故。
可以使用触摸面板设置各种条件。
可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件 Create
the Future
规格
安装环境 200V/Φ3+E/40A
驱动部分 伺服电机
设备材料 PVC盖+SUS钣金盖 https://t.cn/RU1yYYv
硅片储存容器转移到储存容器。
18英寸自动搬运，可以将晶圆安全、洁净地移动。
驱动单元的门是互锁的，以防止因疏忽而造成事故。
可以使用触摸面板设置各种条件。
可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件 Create
the Future
规格
安装环境 200V/Φ3+E/40A
驱动部分 伺服电机
设备材料 PVC盖+SUS钣金盖 https://t.cn/RU1yYYv
12英寸 晶圆搬运设备 PWT2008 ；制造商：菲科（PHT）； 简介
采用了清洁机器人的系统。
12英寸（300mm）的晶圆，
以1枚为单位，从容器A移动至容器B。
Inspire
规格 the World
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移，但也可
以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据
客户规格制定 https://t.cn/RJw8Dkn
采用了清洁机器人的系统。
12英寸（300mm）的晶圆，
以1枚为单位，从容器A移动至容器B。
Inspire
规格 the World
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。
一般标准为以1枚为单位进行转移，但也可
以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据
客户规格制定 https://t.cn/RJw8Dkn
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