6英寸SiC高温外延装备在季华实验室研制成功

近日，季华实验室大功率半导体研究团队自主研发的 SiC高温外延装备 ，取得突破性进展。团队克服了国外技术封锁、疫情所导致的零部件交期过长，水、电、气配套条件不足等重重困难，充分发挥主观能动性，没条件，创造条件也要上，加班加点，用了不到一年时间，完成了从模拟仿真、结构设计、温气场设计，加工采购，到系统软件的自主开发、安装调试及一系列软硬件联调工作，突破了多项交叉学科难题，并 申请发明专利共计30余件，其中4件已获得专利授权，装备的主要功能和性能指标已达到设计要求。目前，研究人员正在进行紧张的工艺调试 。

SiC高温外延装备升温中

SiC外延是SiC器件生产过程中的核心工艺，生产成本占器件生产过程的22%，其生产装备被欧美等发达国家垄断。该装备的成功研制将解决我国第三代半导体SiC器件生产用关键工艺装备全部依赖进口的“卡脖子”问题 。 该项目采用高稳定气体流场、压力场控制、感应加热、单片反应腔整机系统设计方案，结合自主开发的原位监控技术、在线清洗技术以及涂层材料和工艺，从而实现SiC外延的快速、高质量生长，同时提高设备运行的可靠性和稳定性。

该设备核心部件全部采用国产，整机国产化率超过85%。设备实现了首次近30小时的稳定运行，本底真空度、漏率、控温精度等相关指标达到国际先进水平，升温速率、最高工艺温度等部分指标领先国际先进水平。大功率半导体团队同时展开SiC外延工艺及产品研发、SiC长晶工艺及装备开发，SiC离子注入工艺及装备开发，以科研为基础，工程化及应用化为目标，打造覆盖核心技术的全流程链研发中心，引领粤港澳大湾区的第三代半导体装备产业美好愿景。

2022年3月27日，“十四五”国家重点研发计划“全天候多模式森林火险监测预报与火灾早期精准探测研究”项目启动会在合肥顺利召开。该项目由中国科学技术大学牵头，共分5个课题，有十家单位参与，目标是建立“天、临、空、地一体化“的森林火灾监测预警系统和协同监测体系并开展示范应用。季华实验室（先进遥感技术研究室）参与“临近空间森林火灾浮空检测与态势分析”课题，负责“多平台适用的时空遥感信息同步监测载荷”专题研究，目标是研制可工作于20公里高度浮空平台的“时空遥感信息同步检测载荷”。

在南海企业家大会活动现场，季华实验室等6家科研平台与产业链重点企业签订产学研合作协议，将通过产学研合作共同促进技术攻关，实现协同创新发展。
季华实验室与佛山市顺康达医疗科技有限公司将合作“复杂环境下多感知交互智能护理机器人研究”；
仙湖实验室与广东康士柏科技股份有限公司将合作“新能源汽车整车和零部件测试项目研究”；
佛山（华南）新材料研究院与佛山市南海利达印刷包装有限公司将合作“多层高阻隔聚合物复合材料研发”；
广东中科半导体微纳制造技术研究院与佛山市国星半导体技术有限公司将合作“晶圆级GaN纳米阵列生长与紫外探测器芯片研制、紫外光科技产业化应用关键共性技术的研发”；
佛山智能装备技术研究院与佛山市啟盛卫生用品有限公司将合作“包装物流智能产线开发”；
佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院与广东天波信息技术股份有限公司将合作“基于人工智能的生产数字化系统开发”。

目前，南海区拥有重点科创平台近30家，为区内传统产业转型升级和新兴产业发展提供研发技术服务，创新资源集聚成势，有力引领经济高质量发展。与入驻到“南海区科技成果转化平台”的南海科创平台合作研发项目，符合条件还可获得政策支持，购买研发服务方最高可获100万元扶持。（来源：南海发布、珠江时报、企业家大会）