【齐心抗疫​志愿同行——记长春明珠居民志愿者团队】2022 年，长春的春天别样的不同。疫情发生以来，长春市南关区明珠街道明珠社区工作者们日夜奋战在抗疫一线，每天超负荷的工作，全力以赴守护家园。在社区工作者的感召下，小区里涌现了许许多多的志愿者，他们自发组建了居民志愿者团队，在社区党委的带领下，默默的贡献着自己的力量。
莫道桑榆晚,为霞尚满天
67 岁的李丽娟，是明珠小区的居民，当她看到社区工作者每天只能休息三四个小时，吃住都在社区办公室。她看在眼里，疼在心里。3 月 9日，她主动请缨招募志愿者，协助社区统计数据、 保障后勤、统筹管理防护用品、协助核酸检测，她忙碌的身影每天不停地穿梭在核酸检测点的各个岗位之间，哪里缺人她就第一个顶上去，使各项工作都有条不紊地进行。
最初的几天，物资不全，她就自己买。为了保证居民安全，她从队头跑到队尾，一遍遍喊着“请注意拉开距离”， “有事就找李大姐”，这已经是明珠小区里一句最常听到的话。
每当有核酸检测的任务时，李大姐都会第一时间通知志愿者做好准备，“拿出我们的战斗精神，只要有需要我们就在，我们在就一定顶得住。”她还关心居民买菜难的问题，照顾病残孕和生活有困难的居民。他就是这样的一个人，每天都充满干劲，每天都精神饱满，热情洋溢地对待着每一个人和每一件工作，她的热心肠得到了居民们的认可和肯定，她是明珠社区居民的“贴心人”。在她的带动下，一些民居陆续加入了志愿者队伍。
默默无闻，小区里的“小红帽”
在明珠社区的志愿者队伍中，经常出现一位戴着红色帽子的志愿者的身影，醒目的颜色使他成为了抗疫前线上一道靓丽的风景线。他不愿在防护服上写上自己的名字，大家不知道他叫什么，就都叫他“明珠小红帽”。每当有人问他叫什么名字，他都摆一摆手。他就是明珠社区的志愿者——李军，吉林大学一名教师。
李军在疫情暴发的第一时间就向社区报到了。他接到了敲门行动的任务，于是就成了“最认真的敲门人”，他把有电梯的楼栋分给了其他人，自己留下没有电梯的楼栋，每趟跑 下来衣服都让汗水浸透了，但是他从未有过一句怨言。接到 了消杀任务，那他就是“最认真的消杀员”，主动了解消毒 知识及操作程序，对社区的楼道、电梯、垃圾箱等公共设施 开展全方位的消杀工作。每当遇到社区内一些还未意识到疫情严重性，依旧拒戴口罩、 扎堆唠嗑的老年人，他都会耐心上前劝说，他又成了“最耐心的心理疏导员”，告知他们此次疫情的严重性及最新动态，向他们普及防疫措施。他还是大家的 “扫码小助手”，对不会使用智能机的老人，他都会主动上前协助，帮助登录、核验、扫码。
李军的老家在湖南，有一天就在他在现场维持核酸检测秩序的时候， 接到了来自老家的电话，电话的那边是病危的母亲，她想看她儿子最后一眼！电话的这边李军强忍泪水，与母亲诀别，转身继续投入到了疫情防控工作当中。疫情这个非常时期，没有一个人是旁观者，没有一个人可以独善其身。他心中默念，等战胜疫情，迎接春暖花开的时候一定回到家乡去看母亲。他用他的坚守和体贴细心的态度感动着社区的居民们，他们每当看到“明珠小红帽”在岗就特别安心。
抗疫有我，为大家舍小家
有一天，在核酸检测的队伍里出现了一家三口，爸爸妈妈带着一个很小的孩子，这位爸爸带孩子做完核酸后，跟孩子妈妈说： “你带孩子回去吧，我留下来。”于是志愿者的队伍里就又多了这样一个人——刑广臣。早春的长春连连下了几场大雪， 为艰难的抗疫之路又蒙上了一层阴霾。明珠小学的采集点排队的居民非常多，邢广臣作为明珠小区采集点的队长，每次都是他拿着铁锹把路面先清理出来了，他干得满头大汗却顾不上休息。由于排队的居民越聚越多，一圈绕着一圈，后来的人一时找不到队尾，就来回穿插，他就举着一个写着“队尾”的大牌子，一边举一边喊“我是队尾，我是队尾”，就这样他从早上一直举到了晚上。他说：“我有劲儿，累点不怕，别人干不了的活，我来。”
邢广臣身兼数职，除了负责核酸检测点的消杀工作，他还在居民参加核酸检测时负责核对、扫码、登记、放行、引导待检测居民排队等候、维持现场秩序等多项工作，为检测提供细致到位的服务保障。
携手作战，疫情来临你我同行
志愿者杨俊岭，每次接到命令都会第一个赶到名人广场的采集点清理卫生，“我能多干点，其他志愿者就能多休息一会。” “阿姨，没有特殊事情不要出门了，需要什么物资给社区打电话，我们会送过来；出门检测核酸要戴口罩，回到家要用洗手液洗手。”这就是作为一名普通志愿者杨俊岭日常话；志愿者董颐斌，主要负责联系居民和摸排情况，了解社区内高龄、 独居、失能、空巢老人等群体分布，以楼为单位为每家每户 分发抗原测试工具，指导使用检测工具并查看结果后及时汇总给社区；志愿者刘雨薇，虽然连轴转了这么多天，却全然看不到她疲惫的懈怠与忙乱中的急躁，她的语调依然温柔，但语气坚定异常， 工作调度井然有序，把志愿者的日常用手机记录下来。用她自己的话说：“这肩上扛着的是责任，容不得丝毫的松懈。20 多天里，明珠居民志愿者团队的成员不眠不休,连续作战, 聚涓滴之力,护春城无恙。一些年轻的志愿者在社区党委和党员志愿者的感召下，萌生了加入中国共产党的意愿，在抗疫一线，他们庄严地向党组织递交了入党申请书。我们坚信，在党的领导下、在社区工作者和志愿者的共同努力下，坚定信念，心怀期待，努力拼搏，一定能打赢这场疫情防控阻击战。

半导体的检验方法

缺陷扫描检查

在开始生产之前，裸晶圆在晶圆制造商处要检验合格合格，并在半导体工厂接收后再次要检验合格。只有最无缺陷的晶圆才用于生产，它们的生产前缺陷图允许制造商跟踪可能导致芯片功能不佳的区域。裸晶片或非图案化晶片也在经受被动或主动处理环境之前和之后被测量，以确定来自给定处理工具的粒子贡献的基线。

100纳米以下的检测工具目前被用于制造环境中，以保证进入晶圆的质量，并用于大批量制造的工艺工具监控和鉴定。这些工具采用与设计用于大规模缺陷检测的工具相同的基本操作原理，但使用DUV照明增强光学系统。一些制造商声称复杂的图像分析算法可以达到20纳米以下的灵敏度。正如所料，在这些应用中使用的系统中，晶片台和光学部件的运动控制需要高度的精度和准确度。

由于需要检测工具来检测和量化越来越小的颗粒，由于散射光信号的信噪比降低，表面微粗糙度(雾度)等因素的影响开始影响小颗粒的可检测性。非图案化晶片的亚100纳米检测由于尺度问题而变得复杂，信噪比是确定检测系统对晶片表面颗粒和其他缺陷的检测极限的关键参数。来自环境湿度等来源的表面化学污染也会导致信噪比下降。为了帮助抵消这种影响，用于亚100纳米缺陷检测的检测工具采用高度复杂的光学空间滤波、散射信号的偏振分析和专门的信号处理算法来检测存在表面雾度的缺陷。

形貌检查

测量裸晶片形貌有许多原因。例如，晶片可能弯曲，或者支撑晶片的卡盘(静电或气动)可能在晶片的接触点产生凹痕。这种变形会影响纳米尺度的图案成像。已经开发出非常精确的干涉测量工具来测量加工前晶片形状的这种变化。

用于测量裸晶圆表面形貌的基本设计类似于图3所示的斐索干涉仪。这种干涉测量技术将晶片与非常高质量和平整度的参考楔(或参考平面)进行比较。楔角确保来自平面的第一表面的反射不会对干涉信号产生影响。从第二表面反射的光用作参考，同时一部分光穿过平板以询问晶片(测试平板)。从晶片和测试平台反射的光被分束器导向成像系统。分析干涉图案，并使用软件将测量结果拼接在一起，以形成具有纳米尺度分辨率的完整晶片图。实际上，测量裸晶片形貌的干涉测量工具极其复杂，并且利用运动解决方案、大型光学器件和照明源来帮助扩展可制造性设计的边界。

亚100纳米特征的DUV晶圆检测

亚100纳米图案化晶片的缺陷检测比非图案化晶片检测面临更大的挑战。用于图案化晶片应用的基于DUV的光学检测使用与旧的可见光和紫外光检测系统相同的图像比较原理。然而，基于DUV的方法在光学、运动控制和图像分析算法方面需要更高的复杂程度。

DUV检测工具已成为图案化晶圆检测的行业标准，其特征尺寸可达65纳米；高达每小时几个晶片的检查速率使得这些系统适合于生产应用。DUV检测工具显示出对缺陷检测的高灵敏度，例如浅沟槽隔离空隙、接触蚀刻缺陷和亚100纳米几何形状的光刻胶微桥接。使用宽带DUV/紫外/可见照明，现代明场图案化晶圆检测系统目前可实现对动态随机存取存储器和闪存器件上所有层缺陷检测所需的灵敏度，最低可达55纳米特征尺寸。

虽然众所周知的特性加上相对较低的成本和较高的吞吐量使得DUV光学检测系统的持续使用具有吸引力，但一些制造商报告称，DUV检测系统不具备65纳米以下几何形状所需的精度和灵敏度。一项研究声称，DUV暗场光学图案检测系统的极限缺陷灵敏度在存储技术(例如静态随机存取存储器)中约为75纳米，在逻辑区域中更大。DUV明场系统的极限灵敏度稍高，静态随机存取存储器约为50纳米，暗场系统的极限灵敏度则更高。此外，使用DUV激光照射图案化晶片上非常小且因此易碎的结构产生了一些不寻常的问题，例如表面材料的激光烧蚀。这些问题的解决方案可能在于将宽带等离子体照明用于光学检查系统(现有的DUV系统采用266纳米波长，并且正在转向193纳米照明)或者使用能够生产的电子束检查工具。最近推出的基于等离子体产生的宽带照明的检测工具可用于生产环境。声称这些系统的分辨率低于10纳米，因为在这种较小的尺度下，较短的波长提供了更精确的检查。

电子束晶圆检测

电子束成像也用于缺陷检查，尤其是在光学成像效率较低的较小几何形状上。电子束检查可以提供比光学检查系统分辨率动态范围大得多的材料对比度。然而，电子束应用受到测量速度慢的限制，这使得它主要用于R&D环境和新技术鉴定的工艺开发。新的电子束工具可用于10纳米及以下节点的缺陷检测应用，多电子束工具正在开发中，具有多达100个柱或测量通道。

标线检查

掩模版是用精细特征图案化的透射或反射投影掩模，通常比晶片上期望的图案尺寸大4-5倍。它们与光学照明系统一起使用，作为晶片图案化过程的一部分，光学照明系统对图案化的光进行成像和去放大，以选择性地显影光致抗蚀剂。

可以说，掩模版检查远比无图案或有图案的晶片检查更重要。这是因为，虽然裸晶片或图案化晶片上的单个缺陷有可能“杀死”一个器件，但是掩模版上的单个未检测到的缺陷会破坏成千上万个器件，因为缺陷会在使用该掩模版处理的每个晶片上复制。对于EUV来说，这个问题由于图案的更精细的分辨率、薄保护膜的存在以及分划板的反射设计而变得更加复杂。

除了通常使用透射光而不是反射光来检查掩模版之外，掩模版检查系统的工作原理与晶片检查工具相同，并且具有相似的物理要求。透射光用于定位紫外线不透明污渍和其他透射缺陷。掩模版检查工具根据缺陷容差和/或特征尺寸，采用高分辨率成像光学器件和可见光或紫外光照明，以发现掩模版坯料或图案化掩模版上的缺陷。在掩模版制造过程中和整个掩模版使用过程中，例行检查。标线检查工具采用了类似于晶片检查工具中使用的复杂图像分析软件和运动控制系统。通过使用紫外线照明，传统光学器件在标线检查系统中的使用已经扩展到90纳米的特征尺寸。使用电子束可以在较小的特征尺寸下进行掩模版检查，因为与图案化晶片检查相比，可以容许较低的生产量。与晶片检测一样，亚100纳米应用中使用的掩模版检测工具(空白和图案化掩模版检测)采用DUV照明，通常使用266纳米或193纳米的单一波长。#哪些事是你跳槽后才知道的#

#小云蜂播报#

春节前夕，工信部对15家跨行业跨领域工业互联网平台开展的发展成效评估结果通报显示，海尔卡奥斯物联生态科技有限公司的卡奥斯COSMOPlat工业互联网平台位居首位。这是“双跨”平台评选以来，卡奥斯连续第三年位居榜首。　　新年开工第一天，山东省2022年工作动员大会提出“加力突破工业互联网”。在工业互联网“从0到1”上，山东已经取得了先发优势，但如何实现“从1到100”，大范围复制推广，是当前面临的急迫问题。连日来，记者赴青岛、潍坊、淄博等地，聚焦“头部平台”海尔卡奥斯，探寻问题答案。中小企业为何“爱上”工业互联网？　　2月11日，在青州德威动力有限公司机加工车间，工作人员通过海云智造的终端扫描发动机缸体上的二维码，生产信息、异常信息、过程质检……信息一览无余。　　“现在这个海云智造的质量追溯模块特别厉害，以前一天的活儿，现在一个小时就完成了。”德威动力工作人员说，“这个追溯系统可以显示有几件产品在哪一道工序上，还有质量的控制，都能在海云智造软件上完成。”　　德威动力是潍柴动力、卡特彼勒等国内外头部企业的主力供应商，不仅引进了多种世界先进的机加工设备，其自主研发的机加工装备也达到行业领先水平。　　该公司总经理顾志政说，以往发现质量问题，企业的溯源方式就是拍缸体照片，再回来人工查找纸质工单，但纸质工单文件传输效率低、容易损坏，很难立即拿到溯源信息并解决问题。　　“在解决溯源问题上，海尔有经验，这也是德威动力选择卡奥斯的原因之一。”卡奥斯海云智造产品经理巩建港说，从解决产品溯源问题开始，卡奥斯逐步帮助德威动力规划了智能制造改造方案，助力德威动力实现智能制造升级。　　以发动机缸体加工车间的刀具配送、产品送检两个生产环节为例。“产品送检需要行吊，而生产过程也需要行吊，有时候就要‘排队’，一次送检就要半个小时。”巩建港说。最终，卡奥斯在德威动力部署了自动化生产及天眼集群调度整体解决方案，对生产过程可能涉及的8个场景进行数据建模，形成天眼系统的生产指令，后由系统指挥AGV（自动导引运输车）和机械臂协同生产。　　该解决方案部署后，这两大环节的人工投入降低了45%，刀具配送换刀效率提升50%，产品送检效率提升45%，实现了从生产、送检到仓储的全流程自动配送。　　德威动力生产总经理潘洪军说，目前，公司80%的高精尖机床已通过卡奥斯物联集成技术实现互联，每个工序的实时作业参数均可从物联设备中抓取。每名操作工可同时操控4-6台机床，发动机缸体产品的良品率整体提升了20%。　　与此同时，德威动力与卡奥斯发现，现在AGV生产厂家很多，但标准车型无法满足客户对产品的差异化需求。于是，两家合作设计、研发了自己的AGV。“经过一年使用、迭代，我们研发的AGV不仅德威动力自己使用，也在为青州其他企业提供服务。”顾志政说。　　近日，巩建港将再赴青州。“在德威动力之后，又有六七家企业表达了合作需求，我们将一家一家地去调研、商谈。”他说。　　青州市工信局党组成员刘军说，他们计划依托德威动力等企业，按照智能产线、智能车间、智能工厂路径，积极培育智能制造试点示范项目，带动上下游企业智能化改造。　　从合作模式上来看，海云智造与卡奥斯其他板块不同，其目标客户群侧重中小企业。“怎么让工业互联网赋能中小企业？海云智造就是突破的一个‘点’。”巩建港说，从去年6月到现在，海云智造已经服务70多家企业，集中在青岛、潍坊、淄博、东营以及省外的芜湖、德阳等地。　　巩建港说，他们会根据企业实际情况，逐步进行数字化改造，伴随中小企业一步步成长，而不是“一锤子买卖”。如何应对物联网的时代挑战？　　物联网时代，产品会被场景替代，行业会被生态覆盖。　　去年3月，卡奥斯分公司海智造物联科技有限公司在淄博落地。这座老工业城市，41个工业门类占了39个，特别在工业装备领域，元器件厂家众多。　　2月12日，在淄博纽氏达特机器人系统技术有限公司，一条10多米长的行动轴上，一名工人正在测试机器人性能，还有两名工人在调试软件，组成了一条焊接工序的集成系统。　　“这是我们研发的新品，为其他企业提供焊接工序的集成产品。”该公司执行总经理李汝科说，“过去，我们聚焦于一款产品的研发和生产，这种系统集成能力是不足的。”　　这家以生产工业机器人行动轴著称的企业展现的场景创新能力，离不开与卡奥斯合作。在调研中，纽氏达特发现市场存在“智慧打包、装车”的需求。与此同时，卡奥斯在深入众多企业车间的数字化改造中，也同样关注到了这一需求。双方共建机器人新场景，并共同开发了智慧装车装备云平台场景解决方案。　　泰安一家化肥企业成为“智慧装车”的第一家客户。海智造物联科技有限公司相关负责人蔡卓宇说，一条化肥装卸线原来需要13名工人，现在只需要2个人，一年节省人工成本六七十万元，还不用担心粉尘污染的工作环境。　　庞大的内需市场，能让这种场景创新迅速市场化。纽氏达特与卡奥斯合作研发，从卖行动轴这样的中间件，到卖场景解决方案，整体利润率也从20%提高到40%。　　在2016年，纽氏达特年产值只有几百万元，到2021年已经接近1亿元，已经将行动轴做到国内行业领先的地位。随着应用集成系统的研发，企业2022年年产值目标定在了“保1.2亿元争1.5亿元”，2023年预计突破2亿元。　　“卡奥斯可以为我们分享很多行业头部客户的信息资源，助推我们项目集成产品的新品转化率的提升，加快集成产品的落地，进而为企业带来新的业务增长点；同时，我们还可以利用卡奥斯的供应链平台，实现与上游供应链资源的有机结合，从而降低BOM成本。”李汝科说。　　从这个意义上来说，纽氏达特跟卡奥斯形成了一种产业“生态”。　　李汝科说，公司最近几年快速发展，而信息化建设的速度相对偏慢。企业购买了自动化设备，上了ERP、MES等软件系统，但是各个系统“各自为政”，制约着公司管理职能的发挥。目前，纽氏达特正与卡奥斯洽谈“软服务”业务。李汝科认为，卡奥斯提供的工业互联网解决方案，可以有效解决他们面临的信息化能力不足的问题。如何让更多企业加入进来？　　一位业内专家认为，卡奥斯的优势在于整合包括用户在内的上下游产业链资源，这更适合中小企业的需求，大企业在这方面已然完备。　　对此，海尔卡奥斯物联生态科技有限公司副总经理林忠毅并不认同。他表示，卡奥斯的目标是成为“与大企业共建、小企业共享”的赋能者，“头部企业”可以上平台共建行业子平台，中小企业可以上平台、用平台。　　去年8月，由卡奥斯与相关部门共同打造的“山东省智慧化工综合管理平台”上线，服务全省化工产业高质量发展需求。这也是全国首个工业互联网+化工园区综合服务平台。　　在跟客户交流时，林忠毅往往会被问一个问题：“你们为什么会从家电做到化工？这是跨距非常大的一个行业。”　　他回答说，一方面，山东是化工大省，国家重点统计的化工产品均有分布，化工经济总量连续28年位居全国榜首；另一方面，化工又是“基础工业”，化工行业高质量发展，对整个经济社会意义重大，这是时代给予的机遇。　　为此，他们还吸引了一批化工行业的人才加入，这个团队已经有将近100人。林忠毅说：“除了这些专家外，行业知识也很重要，我们怎么解决这些问题？主要是通过化工行业的‘链主’级企业，探索了一条‘共建’的路径。”　　天原集团是我国西南最大的氯碱化工企业，在智能制造、工业集成方面起步较早，但缺乏一个统一的技术平台，项目辐射范围和影响力有限。　　去年4月，卡奥斯联手天原共建了中国第一个氯碱化工行业工业互联网平台，把机器和人在平台上链接起来，赋予一些关键的设备以控制、判断、交互的能力。目前，氯碱化工领域越来越多的中小企业希望加入进来，带动了整个行业转型升级。　　从天原试点的子公司海丰和锐工厂的数据看，工厂检修率降低了40%，排产效率提升了13%，数据分析效率提升了83%。这家有着78年历史的氯碱化工“头部企业”，也为卡奥斯贡献了众多应用场景。“基于这些经验，我们去年打造了山东省智慧化工综合管理平台。”林忠毅说。　　目前，这个平台已经在全省实现全覆盖，链接了84个化工园区和125个重点监控点，打通了多个部门的信息数据。　　面对企业对信息安全方面的顾虑，林忠毅说，“在跟链主企业共建时，我们会给对方做本地化部署，数据主要是储存在本地。”　　目前，通过对山东省化工产业链的梳理，卡奥斯已输出全省84个化工园区的产业图谱，下一步将逐步赋能园区内的化工企业。“过去可能更多是通过经验来判断，现在有数据的支持。”林忠毅举例说，他们与青岛当地一家化工企业合作，分析企业发展缺少乙烯这种高端精细化工，正在帮他们招商引资。　　在汽车行业，卡奥斯与奇瑞联合打造大规模定制工业互联网平台“海行云”，上线仅3个月就成功链接行业上下游企业375家，探索出覆盖汽车产品研发设计等领域的13个典型解决方案，并助力奇瑞实现整车定制比例翻倍增长。　　此外，卡奥斯的合作伙伴中还有诸多行业龙头，比如青岛啤酒、双星……而与一个行业龙头合作，就意味着开拓一片新领域。千企千面如何“千企千策”？　　作为工业互联网领域首个“独角兽”企业，卡奥斯现已链接企业80万家，服务企业7万余家，孕育出化工、模具等15个行业生态。　　目前，除了卡奥斯这个“双跨”平台之外，一批专注细分领域的工业互联网平台也不断涌现。“跟西门子MindSphere等资产优化平台不同，卡奥斯要解决的是产业链之间资源配置跟重组问题，实现制造企业与外部用户需求、创新资源以及生产能力的对接。”林忠毅说。　　工业有着千行千面的特点，甚至同一行业的不同企业在生产线、业务流程上都是五花八门，每个企业的数字化转型都需要“量身定制”方案，实现“千企千策”。　　“做工业互联网需要去深挖，而不是‘蜻蜓点水’。”林忠毅说：“目前，我们已经开始聚焦智能装备、化工、汽车等7个重点行业。”　　海尔集团董事局主席、首席执行官周云杰认为，工业互联网不等于“工业版电商”，如果说消费互联网是“一百米宽度，一米深度”就够，对于工业互联网来讲，哪怕是一米的宽度，也需要一百米的深度来支持它。　　“目前，工业互联网缺乏复合型人才，尤其是既懂硬件、软件，也懂行业知识的人少。”青岛市工业和信息化局工业互联网处周林说，为此，2020年底，青岛市出台了打造工业互联网人才聚集高地的“行动方案”，除了人才培养、扩容等计划外，其中一条是“紧缺人才猎聘计划”，支持社会力量引进工业互联网高层次人才（团队），对符合条件的给予最高50万元（团队100万元）奖励。　　“不会转、不敢转、不能转，这是当前企业数字化转型的难点、痛点。”青岛工业互联网研究院副院长乔熹说，“不会转”，即转型基础薄弱、人才欠缺；“不敢转”，即企业信心不足，投资意愿下降；“不能转”，即企业转型成本高，短期看不到效果，难以持续投入。　　2021年，为了让工业互联网“走深走实”，青岛在定期发布“工业赋能”场景清单的基础上，启动工业互联网服务专员培训班，并开展了首轮工业互联网“入企诊断深度行”，为企业进行更好的“触网”指导，让场景对接和开放更有成效。　　发展已至“深水区”，工业互联网需要找到大规模推广应用的最佳范式。　　“‘工赋青岛’专项行动有成效。”周林说，挖掘卡奥斯平台产业资源汇聚能力，政府和企业联合打造、具有市场化运作能力的工业互联网企业综合服务平台，已开发推出1428项线上服务和15665个赋能应用；打造了橡胶轮胎、智慧港口及智慧城轨等26个产业链垂直平台，为企业提供产业链与数字化融合、工业互联网解决方案动态本体库、产业链全景图谱等服务。　　目前，我省即将深入实施“云行齐鲁 工赋山东”专项行动，聚焦高端化工、高端装备、新材料等优势产业领域，深挖工业企业工业互联网应用赋能潜力，新打造一批“工赋山东”典型应用场景。　　（□记者 肖芳 参与采写）