中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究(第一部分)
本文来自《信息通信技术与政策》杂志,是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊,两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。

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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况,进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力,但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……

0 前言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器,对比于传统式传感器元器件,MEMS传感器凭着品质轻,体型小,敏感度高,稳定性强,便于融合等优质特点,变成 促进传感器持续向小型化,智能化系统发展趋势的首要驱动力,与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系,也是超过克分子时期的主要发展前景之一。

1 MEMS传感器产业发展规划整体状况

当今,全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段,技术性更新迭代持续加速,产业链市场竞争日益猛烈。2018年,全世界传感器市场容量做到2059 亿美金,年平均增长率超出12%,在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%,变成仅次图象传感器(CIS)的第二大传感器类别。

全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心,在其中美国,法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上,而在高档MEMS传感器领域,美国和法国的优点则更加显著。

美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平,特别是在在MEMS过滤器领域,市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长,博通的竞争优势将获得进一步推进。

BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀,其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力,但总体看来尚不具有核心工作能力。

伴随着MEMS生产技术的逐步完善,新式MEMS传感器产品五花八门,产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。

现阶段,MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升,产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少,20世际60时代,传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年,而成本费减少時间一样必须 15年,而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年,成本费减少時间也进一步减少至5年之内,因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的,并发生了很大的市場机遇。

2 MEMS传感器运用现况

MEMS传感器类型极多,可使用于物理学,有机化学,微生物等领域数据信号的检测,比较常用的类型有瞬时速度传感器,惯性力传感器,工作压力传感器,MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段,MEMS传感器在消费电子产品,诊疗,汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大,各自占有41.8%,28.1%,16.7%和9.1%。

在消费电子产品领域,出自于对容积,功能损耗及其费用等要素的考虑到,以手机上,平板电脑,可配戴,AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的,关键分成速度感测组成传感器,自然环境传感组成传感器,电子光学传感组成传感器等。

在其中,速度感测组成传感器关键包含加快计,陀螺仪和惯性力精确测量模块;自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒,工作压力传感器等;电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器,贴近传感器,RGB色调传感器,激光测距传感器,电子光学微生物传感器等。

在诊疗领域,微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件,关键分成微生物菌种传感器,酶传感器,体细胞传感器,机构传感器,蛋白传感器,免疫力传感器6类。

除此之外,MEMS传感器还使用于脑电精确测量,心电图检查检测,CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域,将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化,MEMS技术性还将在外骨骼,心血管支架,眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。

在汽车电子产品领域,MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势,近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%,预估到2022年,市场容量将做到32 亿美金,销售量将超出20 亿颗。

汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器,工作压力传感器,陀螺仪,总流量传感器,溫度传感器,液位仪传感器,部位传感器,汽体浓度值传感器等,关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统,汽车安全气囊,胎压监测装置,进排汽管肯定压力检测等领域。

在工业电子领域,MEMS传感器高可靠性,高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定,与此同时针对極限溫度,环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定,MEMS传感器可根据封装类型,加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪,其使用寿命可以达到1000 h,耐冲击性达10 000 G,应用温度范围达-40℃~175℃ 。

3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息

当今,MEMS传感器早已使用于每个领域当中,在其中技术性迭代更新更快,运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。

MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器,包括了陀螺仪,加速度传感器和惯性力精确测量模块等,现阶段早已在智能机,可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。

当今,MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变,为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。

为完成多传感器中间的数据预处理,飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块,解决了结合外界感测器信息的难题。

博世公司运用系统封装(SiP)等技术性,将三轴12位加速度传感器,三轴地磁场传感器,三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合,进一步对增强现实技术,定位导航,本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。

为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航,现阶段现已有集成化了加速度传感器,陀螺仪,地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导,该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下,与系统软件校正技术性完全融合,完成了在无GPS数据信号状况下,3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。

MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一,一般运用于智能机,航天航空,车辆,生物技术及其加工工艺操纵等领域,依照工作压力检测方法能够分成压阻式,电容传感器,串联谐振感测器等,而最常见的是压阻式和电容传感器,因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。

为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧,持续提升微压传感器测量精度,一种新式的FBBM构造应时而生,该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块,根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统,并提升了压阻敏感度,做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。

为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求,一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出,在施压时,传感器膈膜产生偏移,传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改,完成了将轻度压力转换为信号的目地,该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中,达到了极端条件下压力传感的要求。

4 在我国MEMS传感器高新产业现况

近些年,中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发,制造到后面封装,检测的完善全产业链条[4],瑞声科技,歌尔股份,耐威科技,中芯,长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。

此外,近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准,这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚,销售市场数量较小,因而销售市场增长率较快;另一方面,近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头,加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移,促使MEMS要求持续释放出来,中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势,占全世界的市场占有率也不断地提升。

殊不知因为发展比较晚,在我国公司仍存有生产能力不够,关键技术缺乏等薄弱点。总而言之,当今中国仍需在关键技术科技攻关,全产业链配套设施水准提高等领域做工作中,从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。

4.1 设计方案

MEMS传感器设计方案是一项集基础知识,应用技术及其例如通讯,有机化学,微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中,包含覆盖面广,综合型强,因而相较于传统式传感器,MEMS传感器产品线开发设计难度系数大,时间长,且成本费一直持续上升。

整体而言,在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。

在制定实力层面,在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势,现阶段早已不断涌现歌尔股份,瑞声科技,敏芯高新科技等行业龙头,在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone,三星等国际性一流生产商的供应链管理,销售量位列全世界第二,且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。

但与霍尼韦尔,BOSCH等全球领头生产商对比,在我国公司仍存有产品线单一,总体经营规模偏小等难题,现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外,别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。

在基础研究层面,现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况,一般选用Coventorware,IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真,而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务(如IP库等),进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导,欠缺助推行业市场的自主创新产品,不能满足日新月异的市场的需求。

4.2 制造

MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支,但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。

传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管,如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管,与之对比,MEMS传感器件集成化元器件数目少,单独元器件容积比较大,因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度,只是更为重视原料的构造机械设备特点,材料有机化学特点及其离子注入深度1,精密度,地应力操纵等每一步工艺的精确完成。

除此之外,因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造,因而相较于传统式的IC制造工艺,MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性,如形槽离子注入,放弃层释放出来技术性,LIGA工艺,引线键合技术性等。

中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导,伴随着近些年罕王高新科技,耐威科技等优秀生产线依次落地式,在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高,且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。

但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器,MEMS话筒,加速度传感器等为核心的中低端产品,制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著,例如压电材料(AlN,PZT等)等高档制造工艺线并未创建,没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器,压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。

虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性,表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性,但因为产品销售量都相对比较小,因而在批量生产合格率,稳定性和可靠性等领域存在的问题。

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[话筒]【专家观点】“十四五”期间 智慧城市如何发展?

国家在“十四五”规划和2035年远景目标中明确指出,“分级分类推进新型智慧城市建设”“建设智慧城市和数字乡村”。

纵观智慧城市的发展,2008年底,智慧城市概念诞生。2009年开始,中国的智慧城市建设和发展正式拉开了帷幕。智慧城市的服务对象、服务内容非常广泛,但核心主线是“利用信息通信技术”提升城市服务品质。客观地看,中国这些年来智慧城市发展历程的探索,仍然只是一个起步阶段。

三大核心问题有待解决缺乏对智慧城市理念、内涵的科学统一认识;缺乏有效的智慧城市顶层设计理论和方法;缺乏可持续性的动力机制和长效的运营发展模式。

智慧城市的理念和内涵极其宽泛,实际上其中很多的核心问题,例如互联互通、信息共享、业务协同,真正破题的依然很少。总体来看,智慧城市在深化发展中面临三大核心问题。

第一,缺乏对智慧城市理念、内涵的科学统一认识。很多人仍然站在不同的视角看智慧城市。就像盲人摸象一样,有人看到的是数字政府,有人看到的是城市治理,有人看到的是新基建,有人看到的是惠民服务,有人看到的是产业经济,有人看到的是5G、区块链……那么,智慧城市的理念和内涵到底是什么?

2014年国家新型城镇化规划提到了推进智慧城市建设的内容,在智慧城市重点方向的表述上,采用并完善了笔者提出的“五化”表述,扩展为“六化”,即信息网络宽带化、基础设施智能化、规划设计数字化、公共服务便捷化、社会治理精准化、产业发展现代化。2016年之后,国家提出新型智慧城市概念,强调以数据为驱动,以人为本、统筹集约、注重实效,信息共享方式从运动式向依职能共享转变,推进方式逐步形成政府指导、市场主导的格局。

未来10年,智慧城市的内涵将从信息通信技术为主融合跨界到政治、法律、管理制度、流程规范中,并从这些方面得到支撑和保障。由此可见,随着智慧城市建设的深化和发展,对于智慧城市的理念和内涵的认识也将随之逐步深化。

第二,缺乏有效的智慧城市顶层设计理论和方法。通过13年的发展,大家越来越认知到智慧城市是一个开放复杂巨系统。

过去电子政务是以中央部委和各个地方的部门为单位来开展建设。2002年定义的“两网一站四库十二金”系统,就是以中央政府的十二个纵向条线的垂直系统来建设电子政务。今天,智慧城市是以城市为载体,横向进行的一种建设。过去纵强横弱,今天智慧城市要做到横也强,要横向畅通,涵盖城市所有角落、每个部门、每个区县。不能简单说税务做好了、城管做好了,就是智慧城市。智慧城市是一个全局优化工程,要站在城市全局维度上实现全局最优、经济最优、治理最优、民生最优、产业最优,但每个部门和局部可能不一定是最优的,因为全局最优不等于局部最优的组合。要实现整体最优,需要在各个部门之间进行利益重组,特别是以数据和信息为代表的利益、权利、资源配置重组,需要复杂的、系统的理论和方法。

第三,缺乏可持续性的动力机制和长效的运营发展模式。目前,我国新型智慧城市建设进步迅速,“云战疫”“健康码”“云监工”等成为疫情防控的“利器”,但实践中也暴露出不少短板。特别是疫情之后,大家深有感触,如果只管花钱建设智慧城市,但却不管它是否能运营,是否能用智慧城市的杠杆去带动数字经济,这样的智慧城市是行不通的。

因此,智慧城市需要探索如何长效发展,优化新型智慧城市的生态,通过政府引导,鼓励政企合作、多方参与,创新智慧城市建设和运营模式,实现智慧城市建设项目的可持续健康运营,着力提高民众体验的满意度。

同时,要通过体制机制创新,形成数据治理、数据开发的数据安全利用机制,释放城市数据要素活力。面向数据跨地域协同的实际需求,结合我国城市群(带)发展和城乡一体化发展的战略规划,将若干中心城市的先进治理能力扩展到整个区域,实现邻近区域的数据打通和业务协同,促进城乡数据公共服务的均等普惠。

“十四五”期间智慧城市的发展需求上,智慧城市要解决真问题;使命上,以人为本,开放惠民;价值上,要追求效果导向、效益导向;品质上,平战结合,聪慧敏捷;形态上,以终为始、长效运营。

过去的20年是中国互联网产业、应用、技术不断惊艳世界的20年。未来20年,抓住发展机遇,与时代同频共振,城市智慧化将持续惊艳世界。互联网将从信息互联网、消费互联网转向产业互联网和价值互联网,从“互联网+”转向“智慧+”,这是一个必然的发展趋势。特别是疫情就像是一场洗礼,是数字化快速推进的重要机遇,而且完成了全中国数字化的概念普及。后疫情时代如何来推动智慧城市发展?我认为要从这五个方面发力。

第一,需求上,智慧城市要解决真问题、真痛点、真需求。过去,在电子政务和行业信息化方面,有很多的弱需求、伪需求。所以过去有很多的项目,往往在验收之日、竣工之日就是这个系统“开始尴尬”之时。所以智慧城市一定要变成城市生命体的一部分,然后持续地来发挥它这种对需求的适配的作用。

第二,使命上,以人为本,开放惠民。智慧城市建设要以民众的需求作为第一出发点。没有市民和企业的参与,没有来自市民和企业的需求,就没有智慧城市。智慧城市未来的深度设计、深入开发、深度运营,要进一步挖掘人和企业的需求,惠及大家。

第三,价值上,要追求效果导向、效益导向。过去,太多的智慧城市项目没有直接的项目效果,没有显著的经济和社会效益,这个需要重点转变。

第四,品质上,平战结合,聪慧敏捷。智慧城市的数据,应该是实时鲜活的数据,不只是平时可以做一些可视化的展示,更重要的是要做一些实时的决策指挥、应急管理,真正实现牵一发动全身的敏态管理。

第五,形态上,以终为始、长效运营。智慧城市如果仅靠每个部门向财政局要固定的甚至每年被削减的运营经费,这种模式一定是不可持续的。要通过智慧城市运营、数据的运营,形成产业收费、效果收费,持续拉动经济自我造血,构成内循环。

数字决定命运,智慧引领未来。智慧城市将通过更多的数据汇聚,包括经验汇聚、方法汇聚,来实现更好的感知、协同、洞察和创新,实现城市治理模式突破,产业模式突破,服务模式突破和发展理念突破,发挥智慧的真正价值。只要科学施策,循序渐进,久久为功,城市一定会更加美好。

作者:国家信息中心信息化和产业发展部主任单志广

来源:中国审计报


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