周末看了一部家庭剧《小舍得》，讲的是家长为了孩子教育内卷的一系列故事。其中爷爷奶奶外公外婆千百种，看完依旧感谢我的婆婆。为了帮我们带娃，几乎放弃了家里生意的打理，放弃了自己的爱好（在我们生孩子之前，旅游，麻将，健身和游泳），毫无怨言的帮我们带小朋友，生活上照顾得比我自己带还好，还不要我们给的钱。小朋友出生的时候就对我说“钱可以再赚，生意可以再做，但小孩3岁内的成长没办法重来，再好的保姆肯定没有我带的放心。我好多朋友的孙都是被保姆带废了。”所以，她选择替我们放弃了很多东西（金钱和自由）。我很感恩，每次跟我老公吵架到有想离婚的想法，看在他妈妈面上，我都想想算了[允悲]。 https://t.cn/RVJk9aF
没有一份工作不委屈，赚钱可以治愈一切
01
你的工资里，包含一部分委屈费
这个世界上，从来没有一份工作是容易的，也没有一份工作是不委屈的。
看过这样一个新闻：一大早，一个外卖小哥睡在街头。一问才知，他每天早上3点就得起来送餐了，一直干到七八点单少的时候，才能在公园的健身器材上眯一会。
那为什么不回家休息呢？
家里的床不是更舒服吗？
他说：因为十点还得上班。这么睡，能节省往返路上的时间。
日复一日，年复一年，我不知道外卖小哥还要再经历多少次三点起床的凌晨，又要在公园的长椅上睡多久。
但我知道，这样节省下来的时间，能帮他多送几个单，多挣几块钱。
更委屈的，还不是只能这样休息。
说到顾客差评时，小哥一时没忍住，呜呜地哭了出来。他说顾客每给一个差评，自己就要被罚100块。100块啊，相当于一天都白干了。他也被罚过两三次，有时候碰上商家出餐慢，路上堵车，小区不让进，明明不怨自己，可不管他怎么解释都没人听。
他无助地捂着眼睛，干这份工作，钱赚多赚少没保障，委屈实在是太多了。
可不受这份委屈能行吗？
想起前不久看过的一句话：委屈了就想回家，工作不顺就想辞职。
可是，家不是想回就能回，得有钱，工作也不是想辞就能辞，毕竟生活需要钱。
成年人的世界，从来不是随处倒下，背后都有支撑的力量。
大部分时候，谁不是一边受伤，一边自我疗愈。
没有一份工作不委屈，没有谁的生活能一帆风顺。
每一份工作带来的薪酬和成长，总会伴随委屈和辛苦。
每一份工作里，都有着难以对外人说出口的委屈，和旁人无法理解的辛苦。
你的工资里，就包含一部分委屈费。
02
赚钱可以弥补身心的不平衡
这两天，一个上海男子火了。
疑因癫痫发作，他没站稳，晕倒在地铁车厢内，满脸都是血。
地铁的乘务人员迅速将他救出车厢，本想送他去医院，没想到他醒来后的第一句话，是我要上班。
很多人看到视频忍不住落泪，想起自己作为打工人的那些过往。
有个段子是这样调侃的——
两个人骑车撞了，在那里吵架。
一个说：你骑那么快赶着去投胎啊！
另一个幽幽地说：赶着投胎我就能拖一分钟是一分钟了，我是赶着上班，迟到一分钟一天白干。
突然，两个人都不说话了。
是啊，别的事情尚可拖延，唯独上班这件事，得分秒必争。
成年人的世界，多得是你理解不了的心酸。
可能是迟到一分钟，扣一个月全勤奖的规定。
可能是起早贪黑，只为多赚两百块钱的补贴。
面对生活的重压，我们甚至连一句“保重身体”都说不出口。
想起山东淄博的一位刘大哥，他从事的是危险的高空施工工作。
每天需要吊着绳子，在高空工作9个小时。
一年下来，能赚个六七万块。
很多人不理解，多危险啊，为什么这么拼。
刘大哥讲起了儿子的故事，他说儿子正读初中，每天在食堂吃饭，吃得很少。
有天他忍不住问儿子：怎么没吃饭啊。
儿子回答说：你在外边挣钱不易，我就少吃。
说着说着，这位35岁的壮汉忍不住红了眼眶。
是啊，为了孩子能吃饱一顿饭，为了他能好好读书，他直面酷暑和危险。
工作带给他疲惫、委屈、危险的同时，也给了他撑起全家人生活的力量。
很多时候我们都说，那些能赚大钱，能养家的人好厉害啊，却忽视了，每份光鲜亮丽的背后，都有着无人知晓的努力和坚持。
钱，是成年人的底气，也是成年人面对风险时的抵抗力。
03
真正厉害的人，会将委屈转变为执行力
看过一份调查报告，询问60岁以上的老年人：此生你最后悔的一件事是什么？
其中，75%的人答案是：年轻时努力不够，导致自己一事无成。
努力，说起来并不是那么简单。它不仅需要你克服惰性，有长期和短期目标，更重要的，是不受负面情绪的干扰。而委屈这种情绪，最容易消磨一个人的斗志。
我见过刚入职没几个月，就因为被上司批评离职的人。也见过吞下了委屈，将其转化为执行力，超前迎头迈进的人。
说白了，委屈这种情绪，是人都无法避免。
若想人生有奔头，若要老了不后悔，我们唯一能做的，就是将这类坏情绪，转换为执行力。
曾经听一位创业者说起自己的经历。
最初开始创业时，身边很多人都瞧不起他，他去酒店的大堂给路过的客人擦过鞋，是跪着的那种。
还因为出入各类写字楼推销产品，不止一次被赶出门。
昔日同学看着他跪着擦鞋，背地里都嘲笑他没脸面。
他想过放弃，可放弃意味着一事无成，朝前拼一把，或许还有一线生机。
带着周围人的鄙夷，战胜内心深处的自卑，克服时不时蔓延出来的委屈，成了那阵子必做的事。
后来，事业小有所成时他跟我说：那阵子，就算别人都瞧不起我，我也尽力控制自己，不要顾影自怜。
靠着这股子冲劲，他捞到了第一桶金，开了第一家店，承诺给妻子的好生活，他也做到了。
每次工作受到委屈时，我总会想起那时的他。
任由情绪蔓延，最终消耗的只能是自己的心气儿。暂时摒弃掉情绪，将其转化为前行的动力，也许，就真的能得到自己想要的成就。
逻辑思维CEO说过：人生总有很多左右为难的事，如果你在做与不做之间纠结，那么，不要反复推演，立即去做。
生活从来没有什么会永远糟糕下去，开心点，过去不足挂齿，乐观积极，未来必定风生水起。
04
网上有段话，说得很真实：辛苦地赚钱，不是因为多爱钱。而是这辈子，不想因为钱和谁低三下四，也不想因为钱而为难谁。只希望在父母年老时，我可以有能力分担；在孩子需要时，我不会囊中羞涩。
趁着年轻时候好好工作，多赚点钱，不仅能填补内心不安，也能带给家人安全感。
人生路还长，愿你在余下的日子里，调整心态，好好工作，为喜欢的事努力，为守护的人尽心，让自己的人生不虚此行。
别忘了，工作也许会带来委屈。
但它所带来的回报，可以治愈不安。
01
你的工资里，包含一部分委屈费
这个世界上，从来没有一份工作是容易的，也没有一份工作是不委屈的。
看过这样一个新闻：一大早，一个外卖小哥睡在街头。一问才知，他每天早上3点就得起来送餐了，一直干到七八点单少的时候，才能在公园的健身器材上眯一会。
那为什么不回家休息呢？
家里的床不是更舒服吗？
他说：因为十点还得上班。这么睡，能节省往返路上的时间。
日复一日，年复一年，我不知道外卖小哥还要再经历多少次三点起床的凌晨，又要在公园的长椅上睡多久。
但我知道，这样节省下来的时间，能帮他多送几个单，多挣几块钱。
更委屈的，还不是只能这样休息。
说到顾客差评时，小哥一时没忍住，呜呜地哭了出来。他说顾客每给一个差评，自己就要被罚100块。100块啊，相当于一天都白干了。他也被罚过两三次，有时候碰上商家出餐慢，路上堵车，小区不让进，明明不怨自己，可不管他怎么解释都没人听。
他无助地捂着眼睛，干这份工作，钱赚多赚少没保障，委屈实在是太多了。
可不受这份委屈能行吗？
想起前不久看过的一句话：委屈了就想回家，工作不顺就想辞职。
可是，家不是想回就能回，得有钱，工作也不是想辞就能辞，毕竟生活需要钱。
成年人的世界，从来不是随处倒下，背后都有支撑的力量。
大部分时候，谁不是一边受伤，一边自我疗愈。
没有一份工作不委屈，没有谁的生活能一帆风顺。
每一份工作带来的薪酬和成长，总会伴随委屈和辛苦。
每一份工作里，都有着难以对外人说出口的委屈，和旁人无法理解的辛苦。
你的工资里，就包含一部分委屈费。
02
赚钱可以弥补身心的不平衡
这两天，一个上海男子火了。
疑因癫痫发作，他没站稳，晕倒在地铁车厢内，满脸都是血。
地铁的乘务人员迅速将他救出车厢，本想送他去医院，没想到他醒来后的第一句话，是我要上班。
很多人看到视频忍不住落泪，想起自己作为打工人的那些过往。
有个段子是这样调侃的——
两个人骑车撞了，在那里吵架。
一个说：你骑那么快赶着去投胎啊！
另一个幽幽地说：赶着投胎我就能拖一分钟是一分钟了，我是赶着上班，迟到一分钟一天白干。
突然，两个人都不说话了。
是啊，别的事情尚可拖延，唯独上班这件事，得分秒必争。
成年人的世界，多得是你理解不了的心酸。
可能是迟到一分钟，扣一个月全勤奖的规定。
可能是起早贪黑，只为多赚两百块钱的补贴。
面对生活的重压，我们甚至连一句“保重身体”都说不出口。
想起山东淄博的一位刘大哥，他从事的是危险的高空施工工作。
每天需要吊着绳子，在高空工作9个小时。
一年下来，能赚个六七万块。
很多人不理解，多危险啊，为什么这么拼。
刘大哥讲起了儿子的故事，他说儿子正读初中，每天在食堂吃饭，吃得很少。
有天他忍不住问儿子：怎么没吃饭啊。
儿子回答说：你在外边挣钱不易，我就少吃。
说着说着，这位35岁的壮汉忍不住红了眼眶。
是啊，为了孩子能吃饱一顿饭，为了他能好好读书，他直面酷暑和危险。
工作带给他疲惫、委屈、危险的同时，也给了他撑起全家人生活的力量。
很多时候我们都说，那些能赚大钱，能养家的人好厉害啊，却忽视了，每份光鲜亮丽的背后，都有着无人知晓的努力和坚持。
钱，是成年人的底气，也是成年人面对风险时的抵抗力。
03
真正厉害的人，会将委屈转变为执行力
看过一份调查报告，询问60岁以上的老年人：此生你最后悔的一件事是什么？
其中，75%的人答案是：年轻时努力不够，导致自己一事无成。
努力，说起来并不是那么简单。它不仅需要你克服惰性，有长期和短期目标，更重要的，是不受负面情绪的干扰。而委屈这种情绪，最容易消磨一个人的斗志。
我见过刚入职没几个月，就因为被上司批评离职的人。也见过吞下了委屈，将其转化为执行力，超前迎头迈进的人。
说白了，委屈这种情绪，是人都无法避免。
若想人生有奔头，若要老了不后悔，我们唯一能做的，就是将这类坏情绪，转换为执行力。
曾经听一位创业者说起自己的经历。
最初开始创业时，身边很多人都瞧不起他，他去酒店的大堂给路过的客人擦过鞋，是跪着的那种。
还因为出入各类写字楼推销产品，不止一次被赶出门。
昔日同学看着他跪着擦鞋，背地里都嘲笑他没脸面。
他想过放弃，可放弃意味着一事无成，朝前拼一把，或许还有一线生机。
带着周围人的鄙夷，战胜内心深处的自卑，克服时不时蔓延出来的委屈，成了那阵子必做的事。
后来，事业小有所成时他跟我说：那阵子，就算别人都瞧不起我，我也尽力控制自己，不要顾影自怜。
靠着这股子冲劲，他捞到了第一桶金，开了第一家店，承诺给妻子的好生活，他也做到了。
每次工作受到委屈时，我总会想起那时的他。
任由情绪蔓延，最终消耗的只能是自己的心气儿。暂时摒弃掉情绪，将其转化为前行的动力，也许，就真的能得到自己想要的成就。
逻辑思维CEO说过：人生总有很多左右为难的事，如果你在做与不做之间纠结，那么，不要反复推演，立即去做。
生活从来没有什么会永远糟糕下去，开心点，过去不足挂齿，乐观积极，未来必定风生水起。
04
网上有段话，说得很真实：辛苦地赚钱，不是因为多爱钱。而是这辈子，不想因为钱和谁低三下四，也不想因为钱而为难谁。只希望在父母年老时，我可以有能力分担；在孩子需要时，我不会囊中羞涩。
趁着年轻时候好好工作，多赚点钱，不仅能填补内心不安，也能带给家人安全感。
人生路还长，愿你在余下的日子里，调整心态，好好工作，为喜欢的事努力，为守护的人尽心，让自己的人生不虚此行。
别忘了，工作也许会带来委屈。
但它所带来的回报，可以治愈不安。
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
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