$神工股份 sh688233$ 神工股份:立志解决半导体材料领域卡脖子难题

近日，工业和信息化部公示第三批国家级专精特新“小巨人”企业名单，入围的东北上市公司并不是很多。在这为数不多的东北企业当中，神工股份（688233）榜上有名。

日前，证券时报社副总编辑王冰洋率证券时报“走进专精特新小巨人”大型系列报道采访团走进神工股份，对企业进行实地探访。

“作为半导体集成电路行业的上游企业，神工股份以半导体级大直径单晶硅材料为突破口，多年来深耕市场，已成为该细分市场世界范围内的先进企业。此次入选国家工信部专精特新小巨人企业公示名单，标志着神工股份在前沿技术先进性、业务扩展规模性以及发展质量示范性等多方面获得肯定。”神工股份董事长兼总经理潘连胜在接受采访时介绍。

行业景气持续上行

据了解，神工股份于2013年7月在辽宁锦州创立，专注于集成电路刻蚀用单晶硅材料的研发、生产和销售。目前，神工股份主要有三大板块业务,分别是大直径单晶硅材料、硅零部件和大尺寸硅片。

神工股份2021年半年报数据显示，今年上半年，神工股份实现营业收入2.04亿元，同比增长354.8%；实现归母净利润1亿元，同比增长415.4%；归母净利润率近50%。

“从去年开始，半导体行业整体的景气度较高，处于上升通道，公司从去年第三季度开始业绩有了明显的反弹。”据潘连胜介绍，到今年上半年，公司销售额已经连续四个季度环比增长。公司业绩持续增长主要得益于两方面：一方面是半导体行业景气度的持续上行，这是核心原因；另一方面是得益于公司前几年的工艺储备。例如从设备升级来说，公司更倾向于大型化，特别是15英寸以上的产品，设备的升级和工艺的储备方向都比较正确。

据了解，神工股份大直径单晶硅材料尺寸主要为14~19英寸，主要销售给半导体刻蚀设备硅零部件制造商，经一系列精密的机械加工制作成为芯片制造刻蚀环节所需的核心硅零部件。由于目前硅片的主流规格是十二吋硅片，因此要求干法刻蚀机硅电极的单晶硅材料必须大于十二吋。根据腔体不同，最大要求达到十九吋，下一代刻蚀机用硅材料更是达到22吋以上。神工股份成立以来，大直径单晶硅材料一直是最重要的主营业务，产品主要出口到日本、韩国和美国等半导体强国。

潘连胜表示，神工股份的硅零部件业务拓展同样处于产品推广和客户认证的阶段。这部分产品针对的主要目标市场在国内。有两大类：第一类是国内的刻蚀机厂商、第二类是国内的IC制造客户。IC制造客户方面，公司已逐渐推进8英寸客户的评估，并在去年拿到部分8英寸客户的批量认证订单。2021年，公司持续推进12英寸客户的评估认证。目前在几家做CIS芯片和存储芯片的晶圆厂已经进行了评估，进展十分顺利，未来期待这些评估认证工作能早日结束。此外，刻蚀机厂商方面的产品推广也比较顺利。

“相较于2020年，2021年公司硅电极的销售收入实现了大幅的提升，但相比单晶硅材料的营收来看规模尚小，所以在整体销售额的占比提升还不明显。但硅零部件将来会成长为神工重要的业务板块之一。”潘连胜十分有信心地表示。

另据潘连胜介绍，公司目前对于8英寸轻掺杂低缺陷硅片的产能规划是15万片/月，厂房设计为30万片/月，今年年初已实现了5万片/月产能的设备安装，目前的产出约为8000片/月。这样的产能规划的节奏一方面为的是验证新上设备的性能和工艺的稳定性，另一方面也是为了配合客户评估认证的进展。“我们希望能在尽可能短的时间内打开市场、提高产量，最终能达到月产15万片的产能规划或者更多。”潘连胜说。

晶体技术优势明显

据潘连胜介绍，神工股份生产的半导体级单晶硅材料纯度最高达到11个9，量产尺寸最大可达19英寸，产品质量的核心指标达到国际先进水平，可满足7nm及以下先进制程的芯片制造刻蚀环节对硅材料的工艺要求。公司核心产品过去几年成功打入国际先进半导体材料供应链体系，并已逐步替代国外同类产品，在全球刻蚀电极细分领域的市场份额已达13%~15%，广泛应用于国际知名半导体厂商的生产流程。

神工股份的上市募投项目为8英寸半导体级硅单晶抛光片生产建设项目和研发中心建设项目。神工股份的新颖化在募投项目中体现得尤为明显：大直径硅片的生产直接定位于“半导体级8英寸轻掺低缺陷抛光片”，对标国际先进产品，具有较高的技术含量，较高的附加价值和显著的经济、社会效益，有望为解决国家关键细分领域卡脖子的难题做出贡献。

在潘连胜看来，跟国内外的同行相比，神工股份最大的竞争优势是晶体技术。晶体技术是半导体材料当中的最基础部分，晶体的制造必须要控制晶体缺陷，神工股份的竞争优势就在于缺陷控制方面，不论缺陷密度，还是缺陷数量，神工股份的缺陷控制能力都是比较有竞争力的。尤其在大直径单晶硅材料方面，晶体越大，神工股份的缺陷控制优势越发明显，这也充分说明神工股份晶体技术的先进性。

为了保持竞争优势，神工股份投入的研发费用也在逐年增加：2020年全年研发费用达到1790万元，较2019年增长80.93%，研发投入总额占营业收入比例也从5.25%上涨到9.32%；仅2021年上半年，神工研发费用已经达到1946万元，超过去年全年总额，研发投入占营业收入保持增长。

“今后，随着我们的硅零部件业务、硅片业务继续投入，包括大直径22英寸以上晶体的研发投入，公司的研发费用会保持一个高水平的稳定状态。”潘连胜说。

值得一提的是，2020年，神工股份成功生产出直径达22英寸的单晶体。对此，潘连胜介绍说，22英寸单晶体是应国外大客户研发下一代刻蚀机硅零部件的要求而做的技术储备。众所周知，当前最高的量产规模的芯片设计线宽已经达到5纳米，有些3纳米也正在研发当中。由于设计线宽越来越小，那么在12英寸硅片的领域里需要刻蚀的电路的精确度就更高，所以它的各种温度参数，比如说温度的分布，离子气体的分布都要更均匀，所以电极就需要做的比较大。也有的是做成一体的,就是把原来的上电极（Showerhead）和外部的OuterRing做成一体，因此需要的单晶体必须很大。

“22英寸单晶体的成功开发，对下一代集成电路的刻蚀机有很重要的应用意义，同时对神工股份也有重要的意义。”潘连胜认为，晶体直径越大，生产难度就越大，因为在空间有限的热场里，要做出更大的直径的晶体，难度非常大，涉及到很多的技术难题，比如热场温度的不均匀性、超大晶体的直径控制等。神工攻克了重重的技术难关，最终拉制成功22英寸单晶体，保持了公司技术的领先优势，积累了重要的技术数据和工艺，为公司今后技术的进步、业务成长做一个基础研究和储备。放眼全世界范围内，目前22英寸单晶体都只是在努力尝试研发阶段，尚未形成批量的生产和销售。

证券时报记者在采访过程中还了解到，神工股份采用“特色化”的工艺技术进行生产，无磁场大直径单晶硅制造技术、固液共存界面控制技术、热场尺寸优化工艺等技术工艺填补国内空白，均已达到国际先进水平。

“实际上此次入选国家工信部专精特新小巨人企业公示名单，标志着神工股份在前沿技术先进性、业务扩展规模性以及发展质量示范性等多方面获得肯定。”潘连胜说。

做半导体硅材料领域领先者

作为一家名副其实的高科技企业，神工股份自成立以来就一直力求实现高质量发展。

“我所理解的高质量是至少在某一个领域，哪怕是很小的细分领域，能够具有一定的国际竞争力，这才称得上高质量；另外，在国内某一领域成为龙头，有一定的带头作用，也可称为高质量。”潘连胜说，高质量就在于竞争力，竞争力除了体现在强大的研发队伍以外，更主要是产品的优越性和盈利性，以及产品的市场份额。一个有竞争力的企业最理想的状态是高中低端产品都有竞争力，高端产品也能够做好，低端产品的价格竞争也不害怕。还包括产品质量稳定性，优质服务、稳定出货、交期及时方面的竞争力等等。

潘连胜以半导体材料企业举例：从高端的材料，比如大直径22英寸单晶硅材料的研发，良品率可以走在行业前列；到稍微小一点的，比如14英寸晶体也能在保持价格竞争力的条件下胜出。国内的很多细分领域里边，都逐渐涌现出一些具备竞争力的优秀企业，这些企业现在或将来有望成为国内行业领先者，有助于一个行业的健康发展。

神工股份以生产技术门槛高，市场容量比较大的轻掺低缺陷抛光硅片为目标。截至目前，神工股份已掌握了包含8英寸半导体级硅片在内的晶体生长及硅片表面精密加工等多项核心技术。具体包括：晶体生长稳态化控制技术、低缺陷单晶生长技术、高良率切片技术、高效化学腐蚀及清洗技术、超平整度研磨抛光技术、硅片检测评价技术、硅片表面微观线性损伤控制技术、低酸量硅片表面清洗技术、线切割过程中硅片翘曲度的稳定性控制技术等。

“高质量企业的第二个标志，是可持续发展。”潘连胜进一步阐述说，这既包括产品的研发能力，基础工艺技术方面的研究、整体的研发投入等；也包括人才的培养机制，是不是有合理配置的人才梯队，人才培养的计划性和重视程度等。可持续发展也是企业高质量的标志，如果是只是一时的荣光，一时的市场占有率很好，结果后面5年、10年还做同样产品，没有研发、没有成长，那么肯定算不上是一个高质量的企业。

据证券时报记者了解，神工股份的发展战略是紧密围绕“半导体材料国产化”的国家战略，成为中国乃至世界半导体材料领域的领先者。自成立伊始，就在积极参与全球化竞争。

“国内大部分公司都不以海外销售为主，但神工股份在创立之初就投入海外竞争，去赚海外的钱、去赚半导体强国的钱，海外销售收入在主营业务当中的占比达90%以上，这足以令人自豪。”潘连胜说，海外销售额占比较大，也从另一方面体现出公司的技术优势，充分说明神工股份的产品具有世界一流的竞争力。

未来，随着国内半导体行业的快速发展，神工股份在国内销售额比例将会一直提高，从现在的10%左右会逐渐提高到15%、20%、30%、40%、50%……尤其是神工股份新增的两大事业板块——硅零部件、大尺寸硅片如果进展顺利，国内销售额达到50%是很可能实现的，甚至将来会超过国外销售额。 https://t.cn/zQDk7Ky

#T-space# 外媒报道，日本东京理科大学科学家们正专注于下一代锂电池解决方案：全固态电池，这可让电池更安全，并保持更大的功率密度。全固态电池电解质具有较高电阻，会影响电池快速充电，科学家认为造成高电阻的原因是双电层效应（充电过程中，电极处会从电解质中收集带电离子，这会产生一层正电荷或负电荷，进而导致正负电荷以相等的密度在电极上累积形成双层电荷，影响充电效率）。日本东京理科大学研发的新方法，可以评估固态电池的固体电解质中的双电层效应。新方法围绕使用氢化金刚石和固体锂基电解质制成的场效应晶体管（FET）展开，从而加速电容器、传感器、存储器和通信设备的开发。

随着年龄增加，这位曾经与春晚一起被大家记忆在脑海里的主持人，已经走完了人生的旅程，永远地离开了喜爱他的观众们。当众人感慨怀念赵忠祥时，很多人却发现，在早年间，持续登上春晚的小品演员蔡明，仿佛也很难再见到了。甚至在网上，有人感慨：老艺术家赵忠祥走了，蔡明也“走”了。人们说赵忠祥走了可以理解，毕竟这位老艺术家已经结束了自己的生命历程，永远地离开了我们。但为何人们会说蔡明也“走”了呢？这主要是蔡明也离开了春晚舞台，在以后的春晚上，我们看不到她了。一、时代赋予机会，走出人生华彩篇章。五千年的悠久历史文化传承，给我们留下了很多的传统节日，而春节无疑是国人最重要的一个节日。伴随电视传媒的普及，春晚会从诞生之日起，在每年的除夕夜，成为了国人必不可少的娱乐节目。全家人欢聚一堂，围拢在电视机旁，看着精彩的春晚，这无疑给欢乐的节日，增添了不少幸福的色彩。精彩的联欢晚会，其实背后包含了很多人的付出。在每年的下半年，基本上就开始筹备彩排了，大量的演员付出了很长的时间，并且艰辛的努力工作。在众人坚持不懈的努力下，经过几十年的发展，俨然成为国内关注度最高的电视节目。与此同时，那些经常登上春晚的演员们，也成为了全国观众耳熟能详的大明星。赵忠祥作为春晚初创时期的主持人，给观众们留下了深刻的印象。而且他那磁性的声音，几乎伴随了春晚初期那十几年的成长历程，让几代人都留下了深刻的时代记忆。提起赵忠祥，或许有些年轻的网友们不是很熟悉，但对于那些年龄比较大的人，或者说曾伴随电视传媒的普及，一起成长起来的观众们。赵忠祥的名字，似乎更像是一种“时代符号”。那种时代赋予了人们的记忆，仿佛就发生在昨天，但却又显得那么遥远。赵忠祥出生在河北省邢台市宁晋县。他天生有一副富含磁性的好嗓子。这也为他在以后的播音事业上取得辉煌成就，奠定了良好的基础。长大后，赵忠祥通过层层筛选，进入了北京地区的一家电视台工作。那时候，我国还没有专业播音主持人，而赵忠祥却成为第一位男的播音员。从此之后，他的声音几乎伴随着电视台播放，传遍了北京市区。他也成为了那个时代最优秀的播音主持人。而且当时年轻力壮的赵忠祥，承担着非常艰巨且繁重的播音工作，但他从来不喊苦，也不喊累，始终用内心的热爱，坚持着这份工作。时光流逝，一转眼十年过去了，赵忠祥也从一位青年播音员，成长为顶级播音主持人了。后来，时代在进步，电视传媒也在发生着快速的转变。以前的电视台，它的节目类别很少，基本上都是以新闻为主。为了更好地传播信息，后来也开始积极拓展节目类型，丰富节目的内容。赵忠祥作为我国第一位男播音员，他不仅要承担播放新闻的重任，而且在新的电视栏目中，他也要挑起大梁。其中一个就是春晚了，赵忠祥搭档倪萍，从第一届春晚开始，他连续主持了十几年的春晚。赵忠祥优雅稳健的气质，加上那不紧不慢的语速，再配上那磁性的声音，简直就是那个时代最完美的主持人。而他也成为了一个时代的标签。倘若赵忠祥的人生的发展历程，有着浓厚的时代烙印，而另一位大家耳熟能详的喜剧明星蔡明，几乎就是被时代改变命运的典范了。一九六一年出生的蔡明，起初是一名影视演员。而且她还是我国第一批涉足荧幕的童星。在蔡明十二岁的时候，便登上荧屏，拍摄了一部电影。她当时表现得很好，也得到了业内人士的认可。而且蔡明也凭借在电影上的优秀表现，让自己小小年纪便有了“工作”。时光荏苒，社会变迁，在市场经济的推动下，娱乐市场蓬勃发展。而走过十几年银幕生涯的蔡明，她开始了大胆的转型。当时蔡明这位电影演员，选择去尝试演小品。而她选择的起点比较高，而且合作对象也是当时北京小品界比较知名的陈佩斯和朱时茂。他们一起搭档演了一个小品，播出后的反响很热烈。这是蔡明第一次涉足小品领域，也是她在小品舞台上的第一个作品，却走红了。蔡明在小品中的表现，让众人大吃一惊。她处理包袱得当，跟陈佩斯和朱时茂这种小品演员配合得也很默契。于是，观众们把最热烈的掌声献给了蔡明。这对于蔡明而言，简直是很大的鼓励。并且也意味着蔡明，从影视演员到小品演员转型上的成功。蔡明身上有那种坚持不懈、勇于挑战的精神。当第一个小品获得成功后，她并没有沾沾自喜，也没有放松对自己的要求，而是向更高的舞台发起挑战。随后她登上了春晚舞台。在一九九一年，她与巩汉林搭档，在春晚的舞台上，表演了一个经典小品。而她的春晚作品，传遍了大江南北，蔡明从此被全国观众所熟知，她也正式开启了以后二十几年的春晚小品之路。从那一年起，蔡明连续二十几年都未曾缺席春晚的表演，她也靠着春晚小品，成了家喻户晓的喜剧明星，在小品事业上，取得了巨大的成功。长久以来，蔡明在春晚舞台上搭档过郭冬临、郭达和巩汉林等不同演员，尽管小品伙伴在不停地更换，但她依然保持高度专注，从未降低小品的质量，而她给观众们奉献的一个个经典的小品，依然成为很多人难以抹去的记忆。蔡明也成了春晚舞台上的小品节目不可或缺的一分子。时代赋予了蔡明最好的事业转型机会，同时也让她走出了华彩的演艺人生。每个时代，都有其不可磨灭的印记，而时代也总会赋予那些努力的人机会，让其获得巨大的成功。赵忠祥踩着时代的步伐，成为了历史上最受人们尊敬的主持人，而蔡明也利用时代赋予的巨大机会，从影视演员，变成了小品舞台上的大腕明星。在他们二人身上，都有着浓厚的时代特征，但他们能取得如此大的成功，除了抓住时代赋予的机会，还有什么呢？二、坚守艺术，赢得掌声。赵忠祥和蔡明这样的老艺术家，之所以会赢得大家的尊重，在艺术上取得巨大的成功，其实除了时代原因之外，自身坚持不懈的努力，才是根本因素。尤其是蔡明这位老艺术家，她早期在电影制片厂有着稳定的工作，并且拍电影和电视剧的机会很多。但随着时代的发展，演艺行业发生了巨变，蔡明勇敢地做出了选择，转行到了小品舞台。而从她第一次演小品的时候，她就坚持不懈地努力，有着永不放弃的精神。正是在这种精神的驱使下，蔡明连续二十几年不间断地去参加春晚。在很多年轻演员看来，春晚舞台是吸引流量的巨大机会。但对于蔡明这种老艺术家来说，登上春晚舞台，基本不是为了名利，而是为了艺术上的追求。通过各种媒体报道，大家似乎也有所了解，春晚舞台关注度高的同时，演员的压力也非常大。曾经宋丹丹在结束春晚节目录制后，用一场大哭来解压。而蔡明作为跟宋丹丹几乎一样的小品大腕演员，在这么多年的春晚岁月中，其承受过的压力，自然不言而喻了，肯定也十分巨大。但她却用超强的意志力，挺了过来。蔡明和赵忠祥等老艺术家，经常被观众们称为春晚不可或缺的关键人物，但当他们给一代代观众带来快乐的同时，背后所付出的艰辛，或许常人难以理解。而他们成名这么多年来，几乎也把全部的精力，都奉献在了艺术上，对于浮华的娱乐圈，他们没有迷失，也没有去做那些被人诟病的事情。时光流逝，人终究会老去，甚至离开世间，这是人生不可逆转的事实。赵忠祥和蔡明跟春晚有几十年之久的缘分，但年龄对于每位艺术家来说，似乎很残酷，当他们老去之时，终究也要接受离开舞台的残酷现实。三、艺术没有终点，人生终究敌不过“岁月”老艺术家赵忠祥一生致力于播音主持事业，从一位青年播音员做起，在往后的几十年里，他从来没离开过这个行业，一直致力于钟爱的主持事业，不断努力，不断提高，长期坚守，着实令人钦佩。在浩瀚的艺术领域，或许没有尽头，但人生终有尽头，即便是赵忠祥这样优秀的艺术家，也终究敌不过岁月。优秀艺术家赵忠祥老师，由于重病的缘故，永远地离开了喜爱他的观众们，享年七十八岁。钟爱小品事业，在春晚舞台奋斗二十几年的蔡明，也在后期由于身体疾病，主动离开了春晚舞台。当时尽管她自己以及很多观众都恋恋不舍，但现实依然无法让她继续坚持在春晚舞台上。或许观众也会发现，在蔡明后来参加的两场春晚上，她都是坐着轮椅演小品，这说明她的身体，已经大不如以前了，完全是依靠精神支撑。蔡明后来也解释说，自己尽管很喜欢春晚舞台，但碍于身体疾病以及为了给更多年轻人崭露头角的机会，她还是选择了离开。四、他们的“走”，意味着“艺术传承”。赵忠祥和蔡明这种陪伴观众多年的老艺术家，当他们离开春晚舞台时，不免会让人难过。甚至有很多人都感慨悲观地说：赵忠祥老师走了，蔡明老师也“走”了。其实，发出这种感叹之声的人们，内心更多的是怀念，尤其是带给无数欢乐的春晚舞台。他们说蔡明老师走了，其实是想表达对蔡明老师离开春晚舞台的一份留恋之情。时代在不停的发展，尽管这些老艺术家们离开了春晚，淡出了人们的视线。但他们身上展现出的那种对艺术毕生追求的精神，依然没有“走”。而这种精神，终将化为艺术的传承，永远流传下去。