中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究(第一部分)
本文来自《信息通信技术与政策》杂志,是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊,两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。

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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况,进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力,但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……

0 前言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器,对比于传统式传感器元器件,MEMS传感器凭着品质轻,体型小,敏感度高,稳定性强,便于融合等优质特点,变成 促进传感器持续向小型化,智能化系统发展趋势的首要驱动力,与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系,也是超过克分子时期的主要发展前景之一。

1 MEMS传感器产业发展规划整体状况

当今,全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段,技术性更新迭代持续加速,产业链市场竞争日益猛烈。2018年,全世界传感器市场容量做到2059 亿美金,年平均增长率超出12%,在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%,变成仅次图象传感器(CIS)的第二大传感器类别。

全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心,在其中美国,法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上,而在高档MEMS传感器领域,美国和法国的优点则更加显著。

美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平,特别是在在MEMS过滤器领域,市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长,博通的竞争优势将获得进一步推进。

BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀,其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力,但总体看来尚不具有核心工作能力。

伴随着MEMS生产技术的逐步完善,新式MEMS传感器产品五花八门,产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。

现阶段,MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升,产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少,20世际60时代,传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年,而成本费减少時间一样必须 15年,而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年,成本费减少時间也进一步减少至5年之内,因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的,并发生了很大的市場机遇。

2 MEMS传感器运用现况

MEMS传感器类型极多,可使用于物理学,有机化学,微生物等领域数据信号的检测,比较常用的类型有瞬时速度传感器,惯性力传感器,工作压力传感器,MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段,MEMS传感器在消费电子产品,诊疗,汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大,各自占有41.8%,28.1%,16.7%和9.1%。

在消费电子产品领域,出自于对容积,功能损耗及其费用等要素的考虑到,以手机上,平板电脑,可配戴,AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的,关键分成速度感测组成传感器,自然环境传感组成传感器,电子光学传感组成传感器等。

在其中,速度感测组成传感器关键包含加快计,陀螺仪和惯性力精确测量模块;自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒,工作压力传感器等;电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器,贴近传感器,RGB色调传感器,激光测距传感器,电子光学微生物传感器等。

在诊疗领域,微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件,关键分成微生物菌种传感器,酶传感器,体细胞传感器,机构传感器,蛋白传感器,免疫力传感器6类。

除此之外,MEMS传感器还使用于脑电精确测量,心电图检查检测,CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域,将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化,MEMS技术性还将在外骨骼,心血管支架,眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。

在汽车电子产品领域,MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势,近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%,预估到2022年,市场容量将做到32 亿美金,销售量将超出20 亿颗。

汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器,工作压力传感器,陀螺仪,总流量传感器,溫度传感器,液位仪传感器,部位传感器,汽体浓度值传感器等,关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统,汽车安全气囊,胎压监测装置,进排汽管肯定压力检测等领域。

在工业电子领域,MEMS传感器高可靠性,高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定,与此同时针对極限溫度,环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定,MEMS传感器可根据封装类型,加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪,其使用寿命可以达到1000 h,耐冲击性达10 000 G,应用温度范围达-40℃~175℃ 。

3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息

当今,MEMS传感器早已使用于每个领域当中,在其中技术性迭代更新更快,运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。

MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器,包括了陀螺仪,加速度传感器和惯性力精确测量模块等,现阶段早已在智能机,可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。

当今,MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变,为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。

为完成多传感器中间的数据预处理,飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块,解决了结合外界感测器信息的难题。

博世公司运用系统封装(SiP)等技术性,将三轴12位加速度传感器,三轴地磁场传感器,三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合,进一步对增强现实技术,定位导航,本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。

为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航,现阶段现已有集成化了加速度传感器,陀螺仪,地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导,该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下,与系统软件校正技术性完全融合,完成了在无GPS数据信号状况下,3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。

MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一,一般运用于智能机,航天航空,车辆,生物技术及其加工工艺操纵等领域,依照工作压力检测方法能够分成压阻式,电容传感器,串联谐振感测器等,而最常见的是压阻式和电容传感器,因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。

为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧,持续提升微压传感器测量精度,一种新式的FBBM构造应时而生,该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块,根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统,并提升了压阻敏感度,做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。

为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求,一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出,在施压时,传感器膈膜产生偏移,传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改,完成了将轻度压力转换为信号的目地,该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中,达到了极端条件下压力传感的要求。

4 在我国MEMS传感器高新产业现况

近些年,中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发,制造到后面封装,检测的完善全产业链条[4],瑞声科技,歌尔股份,耐威科技,中芯,长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。

此外,近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准,这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚,销售市场数量较小,因而销售市场增长率较快;另一方面,近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头,加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移,促使MEMS要求持续释放出来,中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势,占全世界的市场占有率也不断地提升。

殊不知因为发展比较晚,在我国公司仍存有生产能力不够,关键技术缺乏等薄弱点。总而言之,当今中国仍需在关键技术科技攻关,全产业链配套设施水准提高等领域做工作中,从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。

4.1 设计方案

MEMS传感器设计方案是一项集基础知识,应用技术及其例如通讯,有机化学,微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中,包含覆盖面广,综合型强,因而相较于传统式传感器,MEMS传感器产品线开发设计难度系数大,时间长,且成本费一直持续上升。

整体而言,在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。

在制定实力层面,在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势,现阶段早已不断涌现歌尔股份,瑞声科技,敏芯高新科技等行业龙头,在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone,三星等国际性一流生产商的供应链管理,销售量位列全世界第二,且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。

但与霍尼韦尔,BOSCH等全球领头生产商对比,在我国公司仍存有产品线单一,总体经营规模偏小等难题,现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外,别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。

在基础研究层面,现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况,一般选用Coventorware,IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真,而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务(如IP库等),进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导,欠缺助推行业市场的自主创新产品,不能满足日新月异的市场的需求。

4.2 制造

MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支,但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。

传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管,如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管,与之对比,MEMS传感器件集成化元器件数目少,单独元器件容积比较大,因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度,只是更为重视原料的构造机械设备特点,材料有机化学特点及其离子注入深度1,精密度,地应力操纵等每一步工艺的精确完成。

除此之外,因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造,因而相较于传统式的IC制造工艺,MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性,如形槽离子注入,放弃层释放出来技术性,LIGA工艺,引线键合技术性等。

中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导,伴随着近些年罕王高新科技,耐威科技等优秀生产线依次落地式,在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高,且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。

但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器,MEMS话筒,加速度传感器等为核心的中低端产品,制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著,例如压电材料(AlN,PZT等)等高档制造工艺线并未创建,没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器,压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。

虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性,表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性,但因为产品销售量都相对比较小,因而在批量生产合格率,稳定性和可靠性等领域存在的问题。

实施“五优联动”“三链协同”“六大提升”
贵州持续推进优质粮食工程
——写在世界粮食日暨全国粮食安全宣传周之际

  2021年10月16日是第41个世界粮食日,主题是“行动造就未来。更好生产、更好营养、更好环境、更好生活。”10月11日至17日为全国粮食安全宣传周,主题为“发展粮食产业,助力乡村振兴”。为此,省粮食和物资储备局与省农业农村厅、省教育厅、省科技厅、省妇联联合印发了《2021年世界粮食日和粮食安全宣传周活动实施方案》,通过举办世界粮食日活动、评选贵州省粮食安全宣传教育基地、组织“粮安记者贵州行”主题采访等活动,展示贵州持续推进优质粮食工程,加快形成粮食兴、产业旺、经济强的良性循环等方面的成就。同时,在全省广泛宣传粮食节约减损的有效做法,普及爱粮节粮、营养健康知识,积极营造厉行节约、反对浪费的浓厚氛围。
  构建现代粮食产业体系
  乡村振兴的关键在产业。近年来,贵州持续推进实施“优质粮食工程”项目,紧扣“五优联动”建设内容,推动延伸产业链、提升价值链、打造供应链“三链协同”,构建从原粮到成品、从产区到销区、从田间到餐桌的“大粮食”“大产业”、“大市场”“大流通”的现代粮食产业体系,培育核心优势产业,加快产业集聚发展,实现粮食产业兴旺、农民增收、企业增效、消费者得实惠,为有效衔接乡村振兴打下坚实基础。
  9月7日,湄潭县永兴镇,清澈的湄江河两岸稻浪翻滚、稻香弥漫,一台台收割机欢快地将金黄的谷粒悉数收入“囊”中。该镇永兴桥村的竹香米业公司“大粒香”优质稻基地里,负责基地日常监管的农民高方平不时摩挲着沉甸甸的稻穗,沉浸在收获的喜悦里。“他今年笑眯了,至少能挣20万元,包包都要胀满了!” 该公司办公室主任张洪波说。与高方平同样高兴的郑定生是该镇共和村燕子岩组的订单种植承包大户,“今年的稻谷订单价格一斤2.3元,晒都不用晒,直接拉过去过磅测水份,剩下的就等着数钱了!”郑定生说,农户流转土地后可在基地做零活,如郑显奎今年仅在他基地做的零活收入就有1.3万多元。
  据张洪波介绍,自8月中旬开镰以来,公司近2万亩优质稻基地陆续奏响“名镇竹香—北纬27度鲜季黔米”丰收曲。作为“中国好粮油”行动示范企业、中国百佳粮油企业,湄潭县竹香米业有限责任公司为签订优质稻订单的农户设置最低保护价,通过统一品种、统一技术、统一管理、统一收购、统一病虫害防治等措施,充分发挥示范企业引领作用,培育优质稻种植示范基地,带动扩大优质稻生产,与农户建立紧密的利益联结机制,保障粮食安全和农户收益,将具有高原特色的“贵州好粮油”优质粮食工程拓展推广、落地生根。
  全省粮食和物资储备系统在贯彻落实国家和省粮食安全战略中主动作为,着力抓重点、补短板、强弱项、防风险、稳市场、保安全,围绕产业发展、围绕老百姓和村集体收入、围绕体制机制改革创新、围绕一二三产融合、围绕村容村貌整治、围绕党建引领和党史教育开展工作,助力实现“产业兴旺、生态宜居、乡风文明、治理有效、生活富裕”的乡村振兴目标。在加快构建更高层次、更高质量、更有效率、更可持续的粮食和物资储备安全保障体系中闯新路、开新局、抢新机、出新绩,在培育优势产业上“特”、示范引领上“专”、实施品牌战略上“精”,深入推进优质粮食工程,推动粮食产业高质量发展。
  好山好水出好粮。各地因地制宜,在着力培育核心优势产业、发展优质特色粮油上各显神通。湄潭县依托湄江河流域肥沃的土地资源和良好的自然生态,深入推进农村产业革命,以“优质稻+N”形式大力发展优质粮油订单基地,全县涌现出茅贡米业、龙脉皇米、竹香米业等20多家优质米企业和著名品牌。该县永兴镇茅坝龙脉皇米有限公司董事长王建明通过成立种植合作社、米业公司和乡村文化旅游公司,5年把一个贫困村变成小康村;贵州茅贡米业有限公司采取“公司+基地+合作社+农户”的流转土地订单生产方式,在湄潭、凤冈、余庆、天柱、惠水、石阡、西秀等县(区)建立核心基地2万多亩,引进战略合作伙伴实施打造“中国高端大米第一品牌”战略。“无论是土壤、阳光、水分,还是种子、生产工艺,我们都具备把‘大粒香’打造成中国高端大米第一品牌的条件。”公司董事长周建华信心满满。“中国薏仁米之乡”兴仁市,薏仁米产业已成为最大的致富产业;仁怀市、金沙县依托茅台产业链优势,大力发展酿酒高粱产业,农民户均增收超万元;铜仁市、黔东南州精心培育香禾糯、山茶油等特色产业核心品牌助农增收。
  把品质优势转化为品牌优势
  “优质、原生态是贵州粮油的品质优势,但由于种植要求及成本原因,在市场价格竞争上处于劣势。”贵州省粮食和物资储备局规划建设处同志分析说。据贵州茅贡米业有限公司基地办负责人方红林介绍,原生态优质稻米种植不施化肥,通过种植绿肥(紫云英)、油菜(快开花时砍掉)以提高肥力,轮放稻田鸭除草、捉虫,仅施用生物农药一项每亩就要增加成本300多元。
  如何让“养在深闺人未识”的绿色生态优质粮油等产品走出贵州,创造更高价值?“必须在强化品牌打造的基础上加强广泛宣传,突出‘绿色生态’和‘优质特色’两张名片,提升品牌影响力,增加产品附加值,让贵州优质粮油走上种植面积增加、农民增收、企业增效的良性发展道路。”省粮食和物资储备局信息中心主任罗永生说。
  2017年,省粮食和物资储备局抓住国家实施“优质粮油工程”契机,制定实施“贵州好粮油行动计划”,通过优化种植结构促进“优粮优产”、强化质量导向促进“优粮优购”、提升储粮水平促进“优粮优储”、引导精致加工促进“优粮优加”,从“种植好、品牌好、质量好、营销好、管理好、效益好”六个方面积极打造绿色优质、健康营养、受市场青睐的贵州好粮油品牌。投资4亿元将茶油产业前景较好的天柱、玉屏、岑巩、石阡等9个县纳入“中国好粮油”油茶示范县建设,以种、加、销“三环”为着力点,大力发展油茶产业,油茶产业成为贵州12个农业特色优势产业之一,取得农民得收入、村镇得产业、企业得资金、地方得发展、国家得粮油储备、社会得良好生态与优质粮油供给的多赢效果。
  好粮油产品不断涌现
  截至目前,贵州已有5个企业粮油产品获得“中国好粮油”称号,获得“贵州好粮油”产品有近百个,仅2019年就成功推出两批“贵州好粮油”产品共59个。全省获得油茶地理标志保护产品5个,中国地理标志证明商标3个,省知名品牌15个。在第二届中国粮食交易大会“粮油营养健康消费品鉴”专项评比中,全国入选一级榜单产品三个中贵州独占其二(“侗粮”牌锡利贡米、“茅贡牌”茅贡米),充分展示了贵州粮油的优良品质。
  在实施“优质粮油工程”中,榕江县对本地优质籼稻锡利油粘进行选育、改良、复壮,逐步成就锡利贡米的优秀品质,通过“公司+基地+农户”的方式实现农产品特色化、产业化,先后获得“中国好粮油”“贵州省十大优质特色粮油产品”等称号,连续三届获得“全国优质稻(籼稻)品种食味品质鉴评金奖”,荣登“中国好粮油—大米”食味值一级产品榜单。贵州金杨油脂有限公司在开阳、修文及安顺等地建5个优质油菜籽种植基地,采用物理压榨工艺和自动灌装技术,购置先进的液相色谱仪和气相色谱仪全方位检测油品成分含量,公司生产的“金黔灵”“金满船”牌优质菜籽油成为众多家庭的放心选择。天柱县稳步推进油茶种植与低产林改造,全县油茶总面积34万多亩,综合产值近3亿元,带动1.2万户4.56万人增收。六枝岩脚大畅面业公司将传统制面工艺融入现代制作工艺,开发出石磨手工面、传统手工土碱面、纯手工空心面等31个品种93种规格产品,“岩脚面”成为“中国驰名商标”“中华老字号”“贵州省名牌产品”。公司依托文化底蕴浓厚、森林覆盖率高等优越条件建成的岩脚面博园旅游景区,从业人员83%是当地农户,成为“绿水青山就是金山银山”的生动实践。
  为加强地方储备粮管理,确保地方储备粮数量真实、质量良好、储存安全,发挥地方储备粮宏观调控作用,保障粮食安全,根据2021年2月新修订的《粮食流通管理条例》等法律法规,贵州省于2021年8月出台了《贵州省地方储备粮管理办法》,加强省内地方储备粮的计划、储存、轮换、动用和监督管理。制定《贵州省“十四五”粮食和物资储备体系规划》,明确“十四五”期间贵州粮食和物资储备工作的总体布局、发展目标、主要任务及有关保障措施,推进粮食行业结构性改革,推动贵州粮食和物资储备工作高质量发展。(信息员:罗华炳 何宣平 余舒菡)

  企业信用评级是在发改委的指导下,依托信用评价模型、评价方法体系和评价标准,由第三方信用服务机构对申请企业的基本资质、经营水平、财务状况、盈利能力、管理水平、社会信用记录、发展前景等方面进行综合分析和评价,测定其履行契约的能力和可信任程度,并以国际通用符号标明信用等级,向参评企业颁发投标信用等级证书和招投标信用报告,向社会公示评价结果。

3A信用等级证书和信用报告的应用:

  1、用于参加政府采购、项目招投标、资质认定管理、市场准入政策制定等工作中,AAA级信用等级可获得相应的优惠政策支持,比如AAA级信用等级证书在招投标中可获得3-5分的投标加分。

  2、用于产品样本、合格证、官网、媒体、广告和促销活动中宣传使用,提高企业的整体公信度,降低交易成本,帮助开拓市场。

  3、吸引经销商代理商的加盟、巩固代理商对公司的信息,把牌匾复制给代理商挂在店面展示墙上吸引消费者取得他们的信赖。

  4、按同样内容、标准,衡量合作方的信用程度,以防范经营风险和投资风险。

  5、一年一度的信用评估,就像身体的例行体检,企业可以及时发现经营管理过程中的问题,有针对性地采取措施,提高自身信用管理水平。

  6、企业在中标后,如需进行项目专项融资,信用等级高的企业更受银行青睐。

  3A企业信用等级证书办理时间为7-10个工作日,有效期分为一年期、二年期、三年期三种,一年期服务内容包括:颁发企业信用等级证书、颁发企业信用等级牌匾、出具企业信用报告、中国招标投标网双网公示。

  3A认证的作用 说明企业的信用程度高、债务风险小;

  该类企业具有优秀的信用记录,经营状况佳,盈利能力强,发展前景广阔,不确定性因素对其经营与发展的影响极小。

 #企业认证服务#


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