$神工股份 sh688233$ 神工股份:立志解决半导体材料领域卡脖子难题

近日,工业和信息化部公示第三批国家级专精特新“小巨人”企业名单,入围的东北上市公司并不是很多。在这为数不多的东北企业当中,神工股份(688233)榜上有名。

日前,证券时报社副总编辑王冰洋率证券时报“走进专精特新小巨人”大型系列报道采访团走进神工股份,对企业进行实地探访。

“作为半导体集成电路行业的上游企业,神工股份以半导体级大直径单晶硅材料为突破口,多年来深耕市场,已成为该细分市场世界范围内的先进企业。此次入选国家工信部专精特新小巨人企业公示名单,标志着神工股份在前沿技术先进性、业务扩展规模性以及发展质量示范性等多方面获得肯定。”神工股份董事长兼总经理潘连胜在接受采访时介绍。

行业景气持续上行

据了解,神工股份于2013年7月在辽宁锦州创立,专注于集成电路刻蚀用单晶硅材料的研发、生产和销售。目前,神工股份主要有三大板块业务,分别是大直径单晶硅材料、硅零部件和大尺寸硅片。

神工股份2021年半年报数据显示,今年上半年,神工股份实现营业收入2.04亿元,同比增长354.8%;实现归母净利润1亿元,同比增长415.4%;归母净利润率近50%。

“从去年开始,半导体行业整体的景气度较高,处于上升通道,公司从去年第三季度开始业绩有了明显的反弹。”据潘连胜介绍,到今年上半年,公司销售额已经连续四个季度环比增长。公司业绩持续增长主要得益于两方面:一方面是半导体行业景气度的持续上行,这是核心原因;另一方面是得益于公司前几年的工艺储备。例如从设备升级来说,公司更倾向于大型化,特别是15英寸以上的产品,设备的升级和工艺的储备方向都比较正确。

据了解,神工股份大直径单晶硅材料尺寸主要为14~19英寸,主要销售给半导体刻蚀设备硅零部件制造商,经一系列精密的机械加工制作成为芯片制造刻蚀环节所需的核心硅零部件。由于目前硅片的主流规格是十二吋硅片,因此要求干法刻蚀机硅电极的单晶硅材料必须大于十二吋。根据腔体不同,最大要求达到十九吋,下一代刻蚀机用硅材料更是达到22吋以上。神工股份成立以来,大直径单晶硅材料一直是最重要的主营业务,产品主要出口到日本、韩国和美国等半导体强国。

潘连胜表示,神工股份的硅零部件业务拓展同样处于产品推广和客户认证的阶段。这部分产品针对的主要目标市场在国内。有两大类:第一类是国内的刻蚀机厂商、第二类是国内的IC制造客户。IC制造客户方面,公司已逐渐推进8英寸客户的评估,并在去年拿到部分8英寸客户的批量认证订单。2021年,公司持续推进12英寸客户的评估认证。目前在几家做CIS芯片和存储芯片的晶圆厂已经进行了评估,进展十分顺利,未来期待这些评估认证工作能早日结束。此外,刻蚀机厂商方面的产品推广也比较顺利。

“相较于2020年,2021年公司硅电极的销售收入实现了大幅的提升,但相比单晶硅材料的营收来看规模尚小,所以在整体销售额的占比提升还不明显。但硅零部件将来会成长为神工重要的业务板块之一。”潘连胜十分有信心地表示。

另据潘连胜介绍,公司目前对于8英寸轻掺杂低缺陷硅片的产能规划是15万片/月,厂房设计为30万片/月,今年年初已实现了5万片/月产能的设备安装,目前的产出约为8000片/月。这样的产能规划的节奏一方面为的是验证新上设备的性能和工艺的稳定性,另一方面也是为了配合客户评估认证的进展。“我们希望能在尽可能短的时间内打开市场、提高产量,最终能达到月产15万片的产能规划或者更多。”潘连胜说。

晶体技术优势明显

据潘连胜介绍,神工股份生产的半导体级单晶硅材料纯度最高达到11个9,量产尺寸最大可达19英寸,产品质量的核心指标达到国际先进水平,可满足7nm及以下先进制程的芯片制造刻蚀环节对硅材料的工艺要求。公司核心产品过去几年成功打入国际先进半导体材料供应链体系,并已逐步替代国外同类产品,在全球刻蚀电极细分领域的市场份额已达13%~15%,广泛应用于国际知名半导体厂商的生产流程。

神工股份的上市募投项目为8英寸半导体级硅单晶抛光片生产建设项目和研发中心建设项目。神工股份的新颖化在募投项目中体现得尤为明显:大直径硅片的生产直接定位于“半导体级8英寸轻掺低缺陷抛光片”,对标国际先进产品,具有较高的技术含量,较高的附加价值和显著的经济、社会效益,有望为解决国家关键细分领域卡脖子的难题做出贡献。

在潘连胜看来,跟国内外的同行相比,神工股份最大的竞争优势是晶体技术。晶体技术是半导体材料当中的最基础部分,晶体的制造必须要控制晶体缺陷,神工股份的竞争优势就在于缺陷控制方面,不论缺陷密度,还是缺陷数量,神工股份的缺陷控制能力都是比较有竞争力的。尤其在大直径单晶硅材料方面,晶体越大,神工股份的缺陷控制优势越发明显,这也充分说明神工股份晶体技术的先进性。

为了保持竞争优势,神工股份投入的研发费用也在逐年增加:2020年全年研发费用达到1790万元,较2019年增长80.93%,研发投入总额占营业收入比例也从5.25%上涨到9.32%;仅2021年上半年,神工研发费用已经达到1946万元,超过去年全年总额,研发投入占营业收入保持增长。

“今后,随着我们的硅零部件业务、硅片业务继续投入,包括大直径22英寸以上晶体的研发投入,公司的研发费用会保持一个高水平的稳定状态。”潘连胜说。

值得一提的是,2020年,神工股份成功生产出直径达22英寸的单晶体。对此,潘连胜介绍说,22英寸单晶体是应国外大客户研发下一代刻蚀机硅零部件的要求而做的技术储备。众所周知,当前最高的量产规模的芯片设计线宽已经达到5纳米,有些3纳米也正在研发当中。由于设计线宽越来越小,那么在12英寸硅片的领域里需要刻蚀的电路的精确度就更高,所以它的各种温度参数,比如说温度的分布,离子气体的分布都要更均匀,所以电极就需要做的比较大。也有的是做成一体的,就是把原来的上电极(Showerhead)和外部的OuterRing做成一体,因此需要的单晶体必须很大。

“22英寸单晶体的成功开发,对下一代集成电路的刻蚀机有很重要的应用意义,同时对神工股份也有重要的意义。”潘连胜认为,晶体直径越大,生产难度就越大,因为在空间有限的热场里,要做出更大的直径的晶体,难度非常大,涉及到很多的技术难题,比如热场温度的不均匀性、超大晶体的直径控制等。神工攻克了重重的技术难关,最终拉制成功22英寸单晶体,保持了公司技术的领先优势,积累了重要的技术数据和工艺,为公司今后技术的进步、业务成长做一个基础研究和储备。放眼全世界范围内,目前22英寸单晶体都只是在努力尝试研发阶段,尚未形成批量的生产和销售。

证券时报记者在采访过程中还了解到,神工股份采用“特色化”的工艺技术进行生产,无磁场大直径单晶硅制造技术、固液共存界面控制技术、热场尺寸优化工艺等技术工艺填补国内空白,均已达到国际先进水平。

“实际上此次入选国家工信部专精特新小巨人企业公示名单,标志着神工股份在前沿技术先进性、业务扩展规模性以及发展质量示范性等多方面获得肯定。”潘连胜说。

做半导体硅材料领域领先者

作为一家名副其实的高科技企业,神工股份自成立以来就一直力求实现高质量发展。

“我所理解的高质量是至少在某一个领域,哪怕是很小的细分领域,能够具有一定的国际竞争力,这才称得上高质量;另外,在国内某一领域成为龙头,有一定的带头作用,也可称为高质量。”潘连胜说,高质量就在于竞争力,竞争力除了体现在强大的研发队伍以外,更主要是产品的优越性和盈利性,以及产品的市场份额。一个有竞争力的企业最理想的状态是高中低端产品都有竞争力,高端产品也能够做好,低端产品的价格竞争也不害怕。还包括产品质量稳定性,优质服务、稳定出货、交期及时方面的竞争力等等。

潘连胜以半导体材料企业举例:从高端的材料,比如大直径22英寸单晶硅材料的研发,良品率可以走在行业前列;到稍微小一点的,比如14英寸晶体也能在保持价格竞争力的条件下胜出。国内的很多细分领域里边,都逐渐涌现出一些具备竞争力的优秀企业,这些企业现在或将来有望成为国内行业领先者,有助于一个行业的健康发展。

神工股份以生产技术门槛高,市场容量比较大的轻掺低缺陷抛光硅片为目标。截至目前,神工股份已掌握了包含8英寸半导体级硅片在内的晶体生长及硅片表面精密加工等多项核心技术。具体包括:晶体生长稳态化控制技术、低缺陷单晶生长技术、高良率切片技术、高效化学腐蚀及清洗技术、超平整度研磨抛光技术、硅片检测评价技术、硅片表面微观线性损伤控制技术、低酸量硅片表面清洗技术、线切割过程中硅片翘曲度的稳定性控制技术等。

“高质量企业的第二个标志,是可持续发展。”潘连胜进一步阐述说,这既包括产品的研发能力,基础工艺技术方面的研究、整体的研发投入等;也包括人才的培养机制,是不是有合理配置的人才梯队,人才培养的计划性和重视程度等。可持续发展也是企业高质量的标志,如果是只是一时的荣光,一时的市场占有率很好,结果后面5年、10年还做同样产品,没有研发、没有成长,那么肯定算不上是一个高质量的企业。

据证券时报记者了解,神工股份的发展战略是紧密围绕“半导体材料国产化”的国家战略,成为中国乃至世界半导体材料领域的领先者。自成立伊始,就在积极参与全球化竞争。

“国内大部分公司都不以海外销售为主,但神工股份在创立之初就投入海外竞争,去赚海外的钱、去赚半导体强国的钱,海外销售收入在主营业务当中的占比达90%以上,这足以令人自豪。”潘连胜说,海外销售额占比较大,也从另一方面体现出公司的技术优势,充分说明神工股份的产品具有世界一流的竞争力。

未来,随着国内半导体行业的快速发展,神工股份在国内销售额比例将会一直提高,从现在的10%左右会逐渐提高到15%、20%、30%、40%、50%……尤其是神工股份新增的两大事业板块——硅零部件、大尺寸硅片如果进展顺利,国内销售额达到50%是很可能实现的,甚至将来会超过国外销售额。 https://t.cn/zQDk7Ky

◎学佛好榜样—海贤老和尚

•老和尚的剃度师,传授给他无比殊胜的大法,就是【六字洪名,一直念去,心虚受益,自卑尊人】。六字洪名一直念去,没有第二念,念念都是阿弥陀佛,心里头没有妄想、没有杂念,他用真心念真言,阿弥陀佛是真言,真言当中的真言,一切真言都不能跟它相比。这是如来第一大法,因为这句名号总持一切诸佛名号,总持一切菩萨名号。诸佛名号是果地上的德号,菩萨名号是修行因地上的德号,因中有果,果中有因,所以阿弥陀佛名号里头,圆满总摄一切诸佛菩萨名号,念这一句全念到了,一个都不漏。又这一句名号,还总摄一切诸佛所学所修、所弘所传的一切经教。八万四千法门,无量法门,教理行果,在中国大乘五教、四教,圆满含摄,一样都没有漏掉。名号功德不可思议,所以只要你一直念去,念到大彻大悟,明心见性,跟释迦在菩提树下开悟,六祖能大师在五祖方丈室里面开悟,同一个境界。

•贤公老和尚用这个方法,帮助自己达到功夫成片、事一心不乱、理一心不乱。我们要问,多久的时间?我相信应该十几年他就完成了。换句话说,四十岁之前他就达到这个境界,为什么?一念专注。老人后头讲得好,【世间无难事,只怕心不专】,他把他的经验告诉我们,他的成就就是专注、专心。我们一般人修学很难,甚至于一辈子到死,心都没有专注,都是散乱的,这就非常可惜,不能往生。死了以后还是搞六道轮回,很可能还到人道来,到人道,有这个根遇著这个缘接著再干。但是一定要知道,不能把心里头的妄想杂念、分别执著放下,很难到极乐世界,这一点不能不知道。我们在生活工作、待人接物要练这个功夫,练放下,看破、放下,看破,事实真相明了了,我才能放下。

•确实像老和尚所说的,好好念佛,成佛是真的,其他全是假的,要记住这句话。假的要放下,假的不能放在心上,放在心上我们叫上大当;善的放在心上就是三善道,恶的放在心上就是三恶道,那是制造六道轮回。六道轮回是假的,没有,是我们善恶念头放在心上变现出来的,就这么回事情。为什么不把阿弥陀佛放在心上?为什么不把极乐世界放在心上?常常念《无量寿经》,常常想《无量寿经》,想经里面所讲的境界,那就是想极乐世界、想阿弥陀佛,你将来必定生极乐世界,必定见阿弥陀佛,没错,这真的。生到极乐世界,一切问题全解决了。

•所以【念佛是因,成佛是果】,这就是净业三福第三福的【发菩提心,深信因果】。所说的这个因果不是别的因果,发菩提心,一向专念,这是因,往生极乐世界,见阿弥陀佛,在极乐世界成佛,这是果。这后面有四句偈,提醒我们,【不参禅理,不研教,不解经咒,又何妨】。像贤老,不认识字,没有念过书,一生没有读过一部经,没有听过一次讲演,他对於经教禅理什么都不懂,他学佛怎么能成佛?这告诉我们,可以,走净土法门行。不参禅理、不研教,不解经咒又何妨,只要【信深,愿切】,一直念下去,【自然花开极乐邦】。这就是说净宗修行容易,这一句阿弥陀佛会念,三岁小孩都会念。怎么能往生?全在信深愿切。信深,决定没有怀疑。愿切,我只有这一个愿望,我一生只有一个愿,这个愿就是求生极乐世界,愿见阿弥陀佛,除这个之外我没有愿望。这一句佛号一直念下去,贤老和尚给我们做出最好的榜样,我们要相信,是自然花开极乐邦。

•贤公老和尚真想往生极乐世界,万缘放下,他在二十几岁就完成了。舍弃寿命,求佛带他往生,二十几岁条件就具足了。为什么他没去?不是他的意思,不是他贪恋这个世界,世界这么苦,有什么好贪恋的?阿弥陀佛嘱咐他,这个世界有灾难,众生很苦,要他住世时间长一点,帮助众生信佛念佛求生净土,给他这个任务,说他修得好,叫他住世表法。他接受了,他【能吃苦】,他【能持戒】,任劳任怨,慈悲到极处。他所受的这一切灾难是代众生受的,菩萨代众生苦,都表演在日常生活当中。修行无处不是道场,无时不是道场,普度众生,凡是看到他的人,见面向他请教的人,统统得度。

•喜欢跟人结缘,自己种植面积很大,收获很丰富,庙里头吃不了,这个小庙只有五个人(现在四个人),他没有拿去卖钱,他统统做布施。周边几个县市,围绕著来佛寺几个县市,贫民,很苦的人,他把他的食物送给大家,接受他供养恩惠的人成千上万,这是给我们做样子、做榜样。我们自己在这个世间,只要能吃饱穿暖,有个小房子遮蔽风雨足够了,多余的要帮助苦难众生,这是修真正的福慧,在极乐世界,在一切诸佛的化土,将来成佛之后,弘法利生得大自在。修行的秘诀就是【佛不离心,称不离口】,称是念佛,称名。不分昼夜,念累了休息,休息好了接着念。

•老和尚,影响老和尚的,早年母亲说了一句话,我把它补在此地。这个故事不必说,大家都知道。他母亲告诉他,【为人要和善宽厚,千万别做恶,别造罪】。这是看到他的八婶喜欢跟人吵架、打架,一天到晚生是非,三十二岁死的,死的那个样子很难看,决定堕地狱。所以叫他记住,这他亲眼看见的,可不能学她。为人要学和、善、宽、厚,要学这四个字。如果有傲慢、有嫉妒,无论是态度、言语,有意无意都跟人结了冤仇。现在你有势、你有钱,人家惹不起你,到你将来势力失掉之后,他会来报复。冤冤相报没完没了,只有遇到佛法,佛法帮你化解;如果遇不到佛法,永远报下去,真的是没完没了。而且这种报复愈演愈烈、愈演愈严重,最后决定是阿鼻地狱,所以双方都痛苦,何必?

•冤结一定要化解,特别是学佛的人,学佛的人对于这些遭难,毁谤、侮辱、陷害、障碍,不但我们要原谅他,我们还要感激他。为什么?让我们感到娑婆世界苦,因为苦,逼著我赶紧念佛到极乐世界去,他帮了忙。我们是用这个心态来看,怨恨没有了,报复不存在。所以他对我如是,我对他没有怨、没有恨、没有报复,我还感恩他。但是,不是真正被逼着求生极乐世界,那个麻烦了,他肯定有怨恨,肯定有报复,这个怨就结重了。所以真正学佛,确实可以帮助社会安定和谐。这几种情形,每个人在一生不知道遇到多少次,怎么会没有怨恨?怎么可能?唯有念佛人,他催着我,赶我到极乐世界去,不让我住在这个世界,好事,这不是坏事。只有念佛往生的他才会这么想,你对他再可恶,怎么样逼他,像歌利王割截身体,他也不怪你。这是什么?真正搞清楚、搞明白了,顺境逆境、善缘恶缘统统是往生极乐世界的增上缘。

面带三分傻,
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即便一件事你很懂、很专业,
只有始终保持谦虚、傻傻、求知若渴,
风水才会慢慢变好,
风水一好,
专注、专精更厉害,
成果便能不断推陈出新,
即便再大的成果也不可沾沾自喜,
人生的辉煌,
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它不过就是一片小浪花,
一粒不可见的尘埃。 https://t.cn/zRygiel


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