【芯观点】日本收紧供应甚至“断供” ,国产光刻胶或迎来历史性机遇?;

集微网消息(文/小山),近期,由于日本信越化学KrF(248nm)光刻胶产能不足等原因,中国多家晶圆厂均面临KrF光刻胶供应紧张,部分中小晶圆厂的KrF光刻胶甚至出现了“断供”现象。在“一芯难求”的背景下,光刻胶的供应难问题再度引发业界广泛关注。
光刻胶是光刻环节不可或缺的物质基础。在半导体制造过程中,光刻是最核心的加工工艺,直接决定了芯片成品的质量优劣,并最终影响下游应用的性能水平,耗时占据前道生产的 50%左右,成本约占 IC 生产成本的 1/3。在所需使用的设备中,最为人所知的当属造价高昂的EUV光刻机。尤其在中芯国际被美国列入“实体清单”后,EUV光刻机也被推至舆论的风口浪尖。
EUV光刻机是7nm及以下工艺节点必不可少的生产设备。不过随着集成电路特征尺寸持续微缩,EUV光刻机将不再是影响生产工艺的最大因素,业界预测,光刻胶将成为光刻机突破3nm的最大绊脚石。
日本垄断市场难突破
光刻胶又称光致抗蚀剂,有“半导体材料皇冠上的明珠”的美誉,按应用划分包括半导体光刻胶、平板显示光刻胶和PCB光刻胶。半导体光刻胶的主要作用是将掩模版上的设计线路图形转移到硅片等衬底上,为三者中技术壁垒最高。
光刻胶的质量会影响集成电路芯片性能、成品率及可靠性。目前,日本东京应化、JSR、住友化学、信越化学等日企握有全球九成半导体光刻胶市场份额。其中,东京应化在g线/i线和Krf光刻胶领域居龙头地位, JSR在Arf光刻胶领域市占率最高。
不过因日本地震频发,日本企业主导的光刻胶产能充满了不确定因素。近期的供应短缺就是最好的例证。有鉴于此,日本在光刻胶市场上的垄断地位何以维持?
从一些研究报告可以获悉,光刻胶的组成成分较简单,一般包含光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体(活性稀释剂)、溶剂和其他助剂。即便如此,不同的光刻技术要求需要相应的光刻胶与之配套,才能发挥出最大效能。因此光刻胶的品种类极多、专用性强。另外,日本企业在树脂结构方面的积累也为这一行业竖起较高的专利壁垒。
日本在半导体材料领域的领先,主要得益于其早期在半导体领域的全面领先。日本设备和材料行业随芯片产业同步发展,尽管芯片制造地位日渐式微,但材料领域仍占据明显优势。
就光刻胶来说,每一家供应商都有自己的成分配比配方和加工工艺,使得光刻胶在敏感度、感光速度、分辨率以及对比度等性能参数上存在明显差异。日媒认为,光刻胶材料无法拆解,很难分析出制造技术,因而难以被模仿。另外,随着集成电路产业不断发展,对光刻胶的分辨率等技术性能要求也越来越高,导致新的玩家很难入场。
更重要的是,集成电路制造工艺极其复杂,一旦涉及设备、材料的调整,验证过程将十分耗时。业内信息显示,光刻胶的验证周期较长,验证过程需视客户的产能状况、生产机台安排测试时间来看,短则一年,长达3-5年。这一定程度上也导致光刻胶下游厂商的客户粘性较大,不会轻易更换供应商。
然而总会有意外的事发生。
2019年7月4日,日本政府正式启动针对韩国的半导体材料出口管制,受到管制的分别是作为半导体和显示器制造材料的光刻胶、氟化氢和氟聚酰亚胺三个品种。三星电子和SK海力士无疑首当其冲。
自那开始,韩国政府开始着手推进“半导体材料的国产化”政策,但日本同时也多次给光刻胶出口“开绿灯”。在日本限贸的背景下,韩国2020年从日本进口光刻胶的金额达到3.829亿美元,同比增长22.3%,占韩国进口光刻胶总产品比例的86.5%。
尽管韩国晶圆制造企业已开始少量采用当地生产的液态氟化氢,但光刻胶的进口额显示出,韩国对于日本光刻胶的依赖并未降低,国产化之路还有一段路要走。
国产光刻胶迎来机遇?
中国的情势也不容乐观。方正证券的报告指出,大陆企业在全球光刻胶市场的占有率不到13%。半导体光刻胶国产化率则不足5%。目前, PCB光刻胶是国产替代进度最快的,LCD光刻胶替代进度相对较快,半导体光刻胶的国产技术较国外先进技术差距最大。
从材料上看,业内专家指出,国内光刻材料(过程材料)部分产品已经开始小量试产,分辨率接近进口产品,但目前产能不大;光刻材料(结构材料)目前尚无国产替代,亟需开发包括各种PI,绝缘层聚合物材料等。尤其,在高端光刻胶的研发上,中国还面临一个待解难题——缺少EUV光刻机做验证。
根据国际半导体产业协会(SEMI)的数据,去年,晶圆制造材料的销售收入达到349 亿美元,同比增长 6.5%,以光刻胶及配套试剂、湿电子化学品和 CMP抛光材料增长最为强劲。在光刻胶类别中,高端光刻胶贡献了最大份额,收入同比增长22%。半导体制造工艺持续缩放推升对高端光刻技术的需求, EUV 和多重曝光的大量应用刺激了ArF(193nm)和EUV(13.5nm)光刻胶的更高消耗。毫无疑问,高端光刻胶将是行业未来的蓝海,而国产光刻胶还主要集中在中低端。
不过中国银河5月31日发布研报称,光刻胶供应紧张将在一定程度加速国产化步伐。在近年来国内半导体国产化的背景下,越来越多国内企业参与到光刻胶的研发当中,其中部分企业在局部领域已实现从0到1的突破。
其中,彤程新材控股子公司北京科华已实现g线/i线和KrF光刻胶量产,多家晶圆厂正在加速验证导入其KrF光刻胶产品;晶瑞股份也已量产g线/i线光刻胶,南大光电、上海新阳也正在研发光刻胶产品。此外,西陇科学的光刻胶产品处于研发送样阶段,目前正在等待潜在客户的进一步反馈。
近年来,在本土光刻胶企业加码投入研发的基础上,国家也不断推出政策支持产业发展。国家发改委、科技部等四部门联合发布的《关于扩大战略性新兴产业投资 培育壮大新增长点增长极的指导意见》指出,要加快在光刻胶、高纯靶材、大尺寸硅片、电子封装材料等领域实现突破。
短期内,光刻胶的国产化难有质的突破,但正如始于去年年末的汽车缺芯事件,让汽车制造商在零部件短缺、国际环境不稳定等因素下,对于国产MCU产品有了更高使用意愿。
因此天风证券认为,国产光刻胶发展充满机遇。一方面,下游LCD产业逐渐向国内转移,各地加码晶圆产能规划,成熟制程扩产显著,都为国产光刻胶企业提供了发展土壤与市场空间。另一方面,光刻胶具备高重要程度及成本不敏感的属性,供应链存在天然高稳定性的特点,因此在加速进口替代的趋势下,一些龙头公司有望取得更大突破。
(校对/思坦)

集微网

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#广州疫情## 佛山疫情#
4日晚,佛山市南海区新型冠状病毒肺炎疫情防控指挥部发布最新通告,关于做好新冠肺炎疫情分级分类防控工作。

其中这几个区域执行封闭管理:桂城街道华福御水岸小区及周边区域,万科金域名都小区,大沥镇景裕嘉园小区及周边区域,以及感染者和密切接触者居住、工作的重点场所(由区指挥部确定),所有人员严格实行居家隔离,做到足不出户,执行封闭管理。

详情如下:

佛山市南海区新型冠状病毒肺炎疫情
防控指挥部关于做好新冠肺炎疫情
分级分类防控工作的通告

近期,佛山市南海区出现新冠肺炎确诊病例和无症状感染者,为快速有效防止疫情扩散,严格压实疫情防控责任,精准落实疫情防控各项措施,切实保障广大市民群众健康安全,现将疫情防控工作安排和要求通告如下:

一、桂城街道华福御水岸小区及周边区域,万科金域名都小区,大沥镇景裕嘉园小区及周边区域,以及感染者和密切接触者居住、工作的重点场所(由区指挥部确定),所有人员严格实行居家隔离,做到足不出户,执行封闭管理:

南海区应对新冠疫情封闭管理措施:

为有效应对新冠肺炎疫情,切实阻断疫情传播渠道,规范封闭管理各项措施,做到精准防控、科学处置,特提出以下措施。

一、实行封闭管理。做好居家隔离,隔离期间所有人员足不出户。相关区域的小区、社区、路段设立卡口,仅保留一个出入口,关卡24小时值守,人员不得随意出入。人员就医等需求报卫健部门统筹安排,出入时规范防护,严格消毒。

二、严格管控措施。停止所有商贸服务,娱乐场所、餐饮、商铺、群众性健身文化活动场所等全部停业。

三、加强人员健康监测和服务。出现发热、咳嗽等症状的人员,要及时向村(居)报告,并由医疗机构通过闭环转运至定点医院救治。封闭管理区域内全体居民要完成5次核酸检测(分别为隔离第1天、第4天、第7天、第10天、第14天),采样时避免人群聚集和交叉。

四、保障基本生活需要。保障水电网络通讯畅通,居民生活必需物资由专人负责,无接触配送到家。关注残疾人、独居老人、外出就医等人群的特殊需求,困难人员由政府保障生活必需品的供给。

五、做好涉疫情生活垃圾处理。一般隔离人员产生的垃圾按“其他相关生活垃圾”的处置,垃圾日产日清,清理前用含有效氯500mg/L~1000mg/L的消毒液或75%的酒精喷洒消毒,双层垃圾袋包装,再按照生活垃圾分类要求处理。普通居民使用后废弃的口罩,按照生活垃圾分类要求处理。

六、规范环境消杀。严格按照操作标准开展消毒工作,重点对厢式电梯、公共楼道、公共厕所、公共座椅、健身器材等公共区域与设施,电梯按键、楼梯扶手、单元门把手、快递柜等手经常接触的重点部位进行消毒。

七、做好宣传引导。密切关注群众反映,加强对群众的心理疏导和宣传引导,营造“不造谣、不传谣、不信谣”的防控氛围,维护秩序稳定。

八、封闭管理的解除。14天内无新增感染者,病例及密切接触者有效管控,环境清洁消毒合格,达到封闭管理时限后,由镇(街道)提交申请,区新冠肺炎防控指挥部评估后,再行解除封闭管理。

二、桂城街道夏南二、夏东、平北、大圩、江滨、平东、同成等7个社区,大沥镇黄岐、东秀、岐阳、洞庭、雍雅等5个社区(除第一点提及的区域)的所有人员原则上足不出户,人员只进不出,严禁聚集,执行封控管理。

南海区应对新冠疫情封控管理措施

为有效应对新冠肺炎疫情,切实阻断疫情传播渠道,规范封控管理各项措施,做到精准防控、科学处置,特提出以下措施。

一、实行封控管理。相关区域的小区、社区、路段设立卡口,仅保留一个出入口,关卡24小时值守,人员只进不出。原则上居民足不出户,待2次核酸检测结果阴性后,每户每天可安排一人在封控区域内采购生活物资、领取快递等非聚集性活动。人员就医等需求报卫健部门统筹安排,出入时规范防护,严格消毒。

二、严格辖区管控。村(居)内所有非生活必须的商贸服务、娱乐场所、餐饮、商铺、群众性健身文化活动场所等全部停业。区域内所有学校、幼儿园全部停止线下教学,开展线上授课。保留一定数量的超市、肉菜市场,其员工不得离开封控管理区,工作时全程规范佩戴口罩。

三、加强人员健康监测和服务。出现发热、咳嗽等症状的人员,要及时向村(居)报告,并由医疗机构通过闭环转运至定点医院救治。封控管理区域内全体居民要完成4次核酸检测(分别为隔离第1天、第4天、第7天、第14天),采样时避免人群聚集和交叉。

四、保障基本生活需要。组织村(居)物流网络保障物资供应,区域内的超市、肉菜市场为居民提供基本服务,快递临时暂存点实行无接触配送。关注残疾人、独居老人、外出就医等人群的特殊需求,困难人员由政府保障生活必需品的供给。

五、做好涉疫情生活垃圾的处理。一般隔离人员产生的垃圾按“其他相关生活垃圾”的处置,设置指定垃圾收集装置,日产日清。

六、规范环境消杀。严格按照操作标准开展消毒工作,重点对厢式电梯、公共楼道、公共厕所、公共座椅、健身器材等公共区域与设施,电梯按键、楼梯扶手、单元门把手、快递柜等手经常接触的重点部位进行消毒。

七、做好宣传引导。密切关注群众反映,加强对群众的心理疏导和宣传引导,营造“不造谣、不传谣、不信谣”的防控氛围,维护秩序稳定。

八、封控管理的解除。14天内无新增感染者,病例及密切接触者有效管控,环境清洁消毒合格,达到封控管理时限后,由镇(街道)提交申请,区新冠肺炎防控指挥部评估后,再行解除封控管理。

三、桂城街道除第一、第二点以外的其他区域;桂和路以东、桂和路往北至雅瑶水道以南、广佛江珠高速以东、广佛肇高速以南、广州辖区以西、佛山水道以北范围内(除第一、二点提及的区域,详见下图),严格限制人流,减少人员外出,执行闭环管理。对于跨越划定边界的社区,要以社区为单位遵照执行:

南海区应对新冠疫情闭环管理措施

为有效应对新冠肺炎疫情,切实阻断疫情传播渠道,规范闭环管理各项措施,做到精准防控、科学处置,特提出以下措施。

一、实行严格的社区管控。相关区域的小区、社区、路段设立卡口,实行24小时值守,出入口严格执行体温必测、口罩必戴、扫通行码、亮健康码通行,禁止非必要人员及车辆进出。

二、居民非必要不外出。防控区域内居民不聚集不串门,在第1次核酸检测结果出具前暂实施居家隔离。持48小时内核酸检测阴性结果的,外出时尽量避免乘坐公共交通,“两点一线”往返目的地。

三、做好基本公共服务。区域内公共交通限制载客量保持在限定值50%以下。娱乐场所、餐饮、群众性健身文化活动场所等暂时关闭(餐饮经申请审核可经营外卖),超市、肉菜市场加强通风,限制人流,提倡非现金支付。

四、加强健康服务。落实“四个一”健康服务,指导居民自我健康检测,主动配合核酸检测,每日测量体温,出现发热、咳嗽等症状及时到辖区内正规医疗机构就诊,并向所在村(居)报备,基层医疗卫生服务机构随访。加强发热病例监测,药店强化发热等感冒药销售登记上报管理。

五、加强环境卫生。加强爱国卫生运动,清除卫生死角,加强对公共卫生间、村(居)活动场所、户外活动设施等公共部位以及垃圾站点的消毒。

四、在全区其他范围:严格落实落细各项疫情防控措施,减少人员集聚,停止非必要聚集活动,严格大型活动监管,从严从简开展节庆活动,会议活动尽量采取线上方式,原则上不组织大型联欢、聚餐等活动,所有培训机构(含托管)暂停线下服务。大沥镇、里水镇闭环管理以外区域以及狮山镇的餐饮场所禁止店内用餐(可以外卖);九江镇、西樵镇、丹灶镇的餐饮场所禁止堂食,每个包房不超过10人。进入所有室内公共场所实行预约、错峰、测温、扫(亮)码、佩戴口罩,卡拉OK、电影院、健身房、室内游泳馆、酒吧、洗浴中心等密闭场所暂停营业。

五、封闭、封控管理期间,全区各级、各部门要充分发挥党组织战斗堡垒作用和党员先锋模范作用,深入推动在职党员到村(居)报到,坚持党建引领共建共治共享,筑牢疫情防控第一道防线。组织做好生活物资保障,确保群众生活必需品不停供、不断档、不脱销,加强价格监管,确保市场价格稳定。加强环境卫生整治,规范垃圾处置。组织做好交通运力保障,确保群众必要出行需求。

上述分级分类区域范围、相关防控措施根据疫情进展、防控需要进行动态调整。

本通告自2021年6月4日起施行。

佛山市南海区新型冠状病毒
肺炎疫情防控指挥部
2021年6月4日

来源:佛山市南海区新型冠状病毒肺炎疫情防控指挥部


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