介质薄膜应用范围最广泛，主要用于前段的浅槽隔离、栅氧化层、侧墙、阻挡层、金属层前介质层，后段的金属层间介质层、刻蚀停止层、阻挡层、抗反射层、钝化层等，也可以用于硬掩膜。介质薄膜是一类具备绝缘性质的薄膜，主要用来掩蔽芯片任何器件/金属间杂质相互扩散，因此应用范围最为广泛。介质薄膜沉积主要需要考虑薄膜厚度、台阶覆盖率、致密性等。最常见的介质薄膜包括氧化硅、氮化硅、低/高介电常数材料等。
1、掺杂的/不掺杂的SiO2应用最广泛，最主要用于浅槽隔离（Shallow Trench Isolation，STI）、多晶硅栅的栅氧化层与侧墙、层间介质层、阻挡层、硬掩膜等。由于Si元素丰富且SiO2拥有高熔点，允许更宽的工作温度范围，因此SiO2应用最广泛。沉积过程中，SiO2要求足够薄，防止应力作用产生裂纹，同时要满足一定台阶覆盖率要求，尤其是在电极引线和元件互连时的覆盖率。SiO2可以通入硅烷与氧气制备，也可以通入TEOS（Si(OC2H5)4，四乙氧基硅烷）与氧气/臭氧制备，TEOS-SiO2的薄膜性能更好。
2、SiN/Si3N4绝缘性能好，用于钝化层、刻蚀停止层、硬掩膜、侧墙等工艺。Si3N4的特点是相较SiO2的结构更致密、化学稳定性高，因此更适合用于钝化层和刻蚀停止层等用于掩蔽离子扩散，制备难点在于颗粒的控制；但Si3N4的介电常数很高，一般不作为层间介质，否则会导致导体之间产生大的电容；
3、低介电常数（k）介质，后段金属层级金属层间介质中，电路导线电阻用R表示，寄生电容用C表示，由于R与导体的横截面积呈反比，C与电容极板的距离呈反比，因此随着制程微缩，布线之间的距离减小，电容与电阻均变大，产生RC信号延迟造成信号失真，影响芯片工作速度。低k介质的工艺壁垒在于保证薄膜较薄同时实现足够的机械强度、高均匀性等；
4、高k介质HFO2、HfSiOx、HfSiON，用于在栅极氧化层中替代多晶硅栅中的SiO2。晶体管尺寸不断减小，需要维持足够栅电容来保证栅控能力，因此要求栅氧化层厚度继续减薄，然而在栅氧化层物理厚度减薄到低于1.5nm时，器件漏电流大幅增加，因此需要用高介电常数k的介质替代SiO2来维持栅极保持高电容，这样在等效栅氧厚度持续缩小的前提下，使栅介质的物理厚度相对较大，来减少栅介质漏电流。#芯片 #芯片制造 #电子芯片 #半导体芯片 #麒麟芯片 #半导体 #半导体材料 #薄膜 #集成电路 #IC #ic #晶圆 #工艺 #技术 #科技

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永和九年，岁在癸丑，暮春之初，会于会稽山阴之兰亭，修禊事也。群贤毕至，少长咸集。此地有崇山峻岭，茂林修竹，又有清流激湍，映带左右，引以为流觞曲水，列坐其次。虽无丝竹管弦之盛，一觞一咏，亦足以畅叙幽情。
是日也，天朗气清，惠风和畅。仰观宇宙之大，俯察品类之盛，所以游目骋怀，足以极视听之娱，信可乐也。
夫人之相与，俯仰一世。或取诸怀抱，悟言一室之内；或因寄所托，放浪形骸之外。虽趣舍万殊，静躁不同，当其欣于所遇，暂得于己，快然自足，不知老之将至；及其所之既倦，情随事迁，感慨系之矣。向之所欣，俯仰之间，已为陈迹，犹不能不以之兴怀，况修短随化，终期于尽！古人云：“死生亦大矣。”岂不痛哉！
每览昔人兴感之由，若合一契，未尝不临文嗟悼，不能喻之于怀。固知一死生为虚诞，齐彭殇为妄作。后之视今，亦犹今之视昔，悲夫！故列叙时人，录其所述，虽世殊事异，所以兴怀，其致一也。后之览者，亦将有感于斯文。