佳能光刻机突破2nm制程?

摘自 张心怡 赵宇彤 中国电子报

2023年12月25日,佳能半导体机器业务部长岩本和德表示,佳能采用纳米压印技术的光刻机有望生产2nm芯片,且成本可以降至传统光刻设备的一半。在岩本和德发声的4天以前,荷兰半导体设备制造商ASML宣布,已向英特尔交付了全球首台High NA(高数值孔径)EUV(极紫外)光刻系统,支持2nm制程及以下工艺的芯片制造。

佳能的紧随其后,颇有在声势上与ASML摆开擂台的用意。佳能首席执行官御手洗富士夫表示,纳米压印技术将为小型半导体制造商生产先进芯片开辟一条道路,使得生产先进芯片不再是少数半导体制造巨头的游戏。但是谁敢用、谁会用,佳能目前亟需一个代表性客户。

光刻机存在两条技术路线之争

同样以2nm制程工艺为目标,ASML与佳能却提出了两种不同的技术路径。
自1958年美国德克萨斯公司利用光刻技术试制世界上第一块平面集成电路以来,光刻技术已经支撑了半导体60余年的发展。ASML作为全球光刻机巨头,基于深厚的技术积累和长久的发展惯性,率先推出High NA(高数值孔径)EUV(极紫外)光刻机,通过提升光刻机数值孔径,增强芯片的制造精度、性能和稳定性,将光刻技术延续到2nm及以下制程的应用中。
佳能则另辟蹊径,尝试以纳米压印技术制造2nm芯片。岩本和德介绍称:“纳米压印光刻技术是将刻有半导体电路图的掩模压印在晶圆上,只需一次压印,就能在合适位置形成复杂的二维或三维电路,若改进掩模,甚至能生产电路线宽为2nm的产品。”

具体来讲,不同于传统“投影”的光刻技术,纳米压印更类似于“印刷”。具体来看,纳米压印包括图形压印和图形转移两个环节,先把栅极长度只有几纳米的电路刻在掩模上,再压印在涂有光刻胶的晶圆上形成电路,最后通过热压或者UV光照的方式使图案固化,只需一次压印脱模就能制造更先进的高性能芯片。目前佳能的纳米压印技术能印制的图案最小线宽为14nm,随着掩模技术的改进,有望实现10nm的电路图案,相当于2nm工艺节点。

由于纳米压印技术只替代了光刻环节,与刻蚀、薄膜沉积等其他芯片制造工艺完全兼容,因此只需要引进规模更小的纳米压印设备,就能顺利接入现有产业,既能降低设备成本和能耗,提高研发效率,也有助于减轻芯片制造商对EUV光刻机的依赖。

纳米压印技术优势还有待验证

无疑,2nm芯片制造设备的突破为全球芯片制造商的激烈竞争增添了新变量。在尖端芯片制造设备的争夺战中,纳米压印技术能否成为EUV的“平替”还有待验证。

事实上,佳能2014年就全力加码纳米压印技术,收购了主攻纳米压印基础技术研发的Molecular Imprints 股份有限公司。据了解,此前该公司就曾致力于用纳米压印技术完成32nm逻辑节点制造,但受制于生产效率、资金和良率等问题,进展不及预期。佳能完成收购后,将自身镜头技术与Molecular Imprints的曝光技术相结合,并与日本存储芯片制造商铠侠(Koxia)达成合作,近十年来共同研发纳米压印技术。2023年10月,佳能正式推出能够制造尖端芯片的纳米压印设备FPA-1200NZ2C。

然而,现实总是比理想“骨感”。从前端设计、后端制造到封装测试,半导体产业链环环相扣。在制造设备上游的材料环节,光刻胶等所有材料都需要经过严格匹配和长期调试;在产业链下游的应用环节,设备厂商也需要与晶圆代工厂共同调试和磨合。对佳能的纳米压印技术而言,能否得到产业链上下游的技术验证和认可,是下一步发展的关键挑战。

“半导体制造是一个非常长的产业链条,仅一项光刻技术或者纳米压印技术的突破,对整体的影响仍需在生产过程中检验。”半导体专家罗国昭告诉《中国电子报》记者:“在先进制程中,光刻技术一直面临着多次曝光和定位精度的难题。虽然佳能的纳米压印技术在理论上解决了聚焦和衍射偏差的问题,并具有一次成型的优势,但这些理论优势能否在具体生产过程中兑现,还有待观察。”

谁敢用?谁会用?是个问题

在2nm芯片制造设备的争夺中,佳能投石问路,摸索前行,尝试打开全新市场增量,但要想真正坐上牌桌,关键仍在于市场认可。在罗国昭看来,在科技领域里有很多先进的技术和产品,最后的发展却不如人意,重要的原因是没有市场,或者是没有形成产业链联盟,这也是佳能目前面临的挑战。

客户,是佳能纳米压印技术亟需打通的第一个节点。“ASML最近十几年的快速崛起,与它的商业模式密切相关,ASML的主要客户也是它的股东,比如三星、英特尔和台积电。因此ASML的产品能率先得到应用,客户也会为ASML提供技术支持,这就奠定了ASML在尖端半导体用户市场中的绝对优势。”罗国昭进一步向记者解释,“目前佳能的纳米压印技术只是证明了其技术能力,但最难的地方是谁敢用、谁会用,佳能目前亟需一个代表性的客户。”
佳能首席执行官御手洗富士夫曾表示,该公司新的纳米压印技术将为小型半导体制造商生产先进芯片开辟一条道路,使得生产先进芯片不再是少数半导体制造巨头的游戏。这或许是一条与ASML错位竞争的路线。
如果纳米压印能让先进制程变得“宜室宜家”,对于晶圆代工的市场格局和芯片技术的创新节奏,都会产生重要影响。但要做到这一点,佳能要解决的问题还有很多。

#如丧考彪[超话]#
“小彪,小发和小郊约我们今天去马场,你想去吗?”伯邑考用指腹描摹着崇应彪的眉,凑在他耳边轻声低语。

“唔…我再睡一会…”崇应彪闭着眼捉住伯邑考作祟的手指,把脑袋往哥的怀里凑。

“那小彪先睡,我去做早餐。”伯邑考在崇应彪的眉间轻轻落下一个吻,准备起身,却抽不出手指。

崇应彪迷迷蒙蒙地睁开了眼,把伯邑考的手指往怀里揣,嘀嘀咕咕,“哥的手怎么这么凉啊…”

“因为我刚洗的手啊,小彪刚醒,别让我的手把你冻着了。”伯邑考笑出了酒窝。

崇应彪依旧把伯邑考的手攥得紧紧的,“姬发约我们去马场?可是他又没和我说,说不好就是约哥一个人去。”

“没有哦,小彪,姬发和我说他昨晚就发消息给你了,你没回他,他今早才来和我说的。”

崇应彪的耳尖染上了红,“我没看到消息还不是因为哥…”

“是我不好,不懂节制,那小彪今天还去吗,不去的话我就和小发说一声,我陪你。”

“去,凭什么不去,殷郊太子爷家的马场,不去白不去。”崇应彪从软乎乎的床上跳到伯邑考的身上,把哥撞得后仰,“我要带单反,给你拍照。”

“好。”伯邑考揉着崇应彪柔软乱蓬的头发,和他鼻尖相触。

马场上,殷郊和姬发在马术对抗。崇应彪由于昨晚的“剧烈运动”腿酸得紧,夹不住马背,正坐在太阳底下托着单反拍风景。伯邑考在马厩给他的雪龙驹喂食。

等了有一会,崇应彪坐不住,扛着单反去马厩找哥。

伯邑考摸索着雪龙驹洁白顺滑的毛发,阳光在他的脸上镀一层浅色金光,浓密的睫羽投下阴翳,白马和良人如诗似画。

“咔擦”,相机按下快门,伯邑考抬眼,“小彪在拍我吗?”

崇应彪说,“哥,你真好看。”

伯邑考把相机接过来,镜头对向崇应彪,“小彪,往后走两步,那里有花。”

崇应彪一边后退,一边冲哥笑,“那哥到底是拍花还是拍我啊?”

“拍你,花是陪衬。”

百子莲被崇应彪捧起,他闭上眼,淡紫色的簇簇花瓣绽放在俊秀的脸上,划过高挺的鼻梁,落在朱红的唇角。

“小彪,你比花美。”

パスカラ活动 昼场 20230924

大家穿的都是拍场刊的那套衣服,小野穿暖色调尤其是红色系真的好喜欢,显的人白白粉粉的气色特别好

开场自我介绍的时候刚好站在下手这边跟润润小鸟一起,别人在自我介绍他在耍宝,花江做自我介绍的时候,小野就一直冲着他做O HA!的姿势,动作大到旁边小西笑飞了,小信拦着小野把他抓回来,小野还一个劲地冲着那边不搭理他的花江继续O HA!特别夸张地把身子往前探,感觉可以想象每次在录音室是怎么疯狂刷存在感直到花江理他为止哈哈哈就一大型犬

uma好元气啊,上台就蹦蹦跶跶的,跟良太可谓身高差,游戏环节是一个转身和歪头就能亲上的距离(?

小西昨晚跟昌叔在庆应做talk show大嚎大叫浪费(?)嗓子,今天声音有点哑切角色音前偷偷清嗓子

游戏环节获胜的奖励其中之一是另一方的夸奖(嘿嘿
小野分组坐在信长旁边,写答案之前两人就凑在一起说什么一直笑得有些过分,而且信长一开始还是很贴心地帮小野拿了白板,小野还非要转过去自己拿hhh
大家都已经开始动笔写了,这两人还把脑袋搭在一起说小话,不知道小信说了一句什么,逗得小野笑到把jio都翘起来了,简直不要太开心凑在一起叽叽喳喳的

几个题目都是按照人数分的要拼成7个字,artist那组都是正经作答的人,和正确答案相差无几,小野这边是反应组,从第一题就开始耍着玩,看谁答的更离谱

第三题:图中(爆米花)的英文是怎么写
题目说完uma那组都乖乖坐着写答案,小野这边大家都跑过来聚在一起,一看样子就是要搞事
润润(主持):小野君不要搞错了,这不是酱油拌饭
小野:诶?!居然不是吗?话说你怎么还我的接梗
润润:掉到地上的爆米花都会捡起来的(接梗
今天润润说了3个还是4个以上的谐音冷笑话hhh 每次被uma捕捉到笑得动作特别大,润润也很满意的样子

最后一题:今天哪个角色过生日
按理说大家都能写对,但uma把じ写的跟ぐ一样
润润(直接照着ぐ读
uma:不不不不不
古川(写的是片假名的イ,其他都是平假名
最后评判到底是哪边是对的,果然是认可イ了
所以是小野那边的评论家组获胜,收获奖励的夸奖

小野(起身站到舞台正中央,他的座位本来也在中间
小信(边想着要怎么夸他边移动脚步
小野:诶,要怎么夸我啊,好害羞〃∀〃
小信(开口就唱起了调子):该怎么夸小野D桑~要赶快夸才行啊~该夸什么地方呢~能夸的地方太多~
小野(跟着一起摇摆了起来):快点夸吧~
小信:要夸小野D桑的……(虚晃一枪
小信:该夸什么好呢~
小野:快点夸吧~
小信:虽然有很多优点,果然还是「温柔」吧~
小野:谢谢~
小野(边挪回座位):嗯,这么夸我还是很开心的~

被带了头,下一组梅原也跟着唱了起来众人笑跪hhh
轮到uma和良太,良太直接靠近直直地对着uma
距离不超过10公分,如果uma回头就可以直接亲上w
夸完良太就是用拥抱回应了夸奖,uma完美嵌入怀抱

朗读剧里润润的角色本来便当了,变成幽灵回来,要让自己清清楚楚地照在和大家的照片里过于好笑
要专门说一下今天润润朗读剧咬词了2次,第一次咬完立马瞪大眼睛提起精神,小鸟在旁边还是稳定发挥。第二次咬也是完全无意识地口胡了,太难得看到润润咬词了所以一定要拎出来说一下哈哈(有点过分hhh

小野出场时从走姿立马认人,跟企鹅一样一摆一摆的

tossy的这身绿色超好看,低调又奢华的感觉,模仿角色做了一个近些年很难在他头上看到的发型非常满意
合唱时花江和uma中高音,tossy的低音和声特别明显
可惜没有以他主音的歌,真的好想听听啊啊啊啊啊啊

最后结束的大合唱,年上组三人没有参与就跑到上手那边充当气氛组了,感觉今天小野的劲都花在这儿了
简直是一个专业打call人,手摇的又高又快,脸上带着大大的笑容,导播本来是按照唱歌的人一个个切,但大家分part比较杂,到后半有点跟不上,干脆就切了小野的镜头,两次都足足有5秒以上,看他超开心的,快要结束又重新回到下手还忍不住跟着大家一起唱了
合唱环节润润一直都记得歌词张口大声,但这个活动最好笑的就是台下过于矜持,有种在摸索的感觉,台上希望大家能出声应援的时候全部都只是在鼓掌hhh

最后离场的时候左侧队伍是从我面前的下手离开,只有小野注意到了这边,在挥手时真的是认真的对视,还做了个ありがとう的口型啊啊啊他怎么这么好
今天座位虽然是实质上的第一排但比较偏,左边只坐了个关系者,退场时真的只有他注意到了这里,虽然怀疑是我举着DEL SOL的绿光(tossy角色)太亮了x


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