匀胶旋涂仪Spin Coater 型号:WS-650Mz-23NPPB
库号:M406433
韩经理 15330289873
一、设备用途和特点:

1、用途:主要用微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。设备能满足各类以下尺寸的基片处理要求,并配制相应的托盘夹具。验收除按卖方提供的标准基片外,另外可根据买方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圆片等验收试验要求。
2、特点:

(1)外观整洁、美观,占地面积小,节省超净间的使用面积;(2)材质易于清洗和维护,设备结构布局合理,用户操作、使用、维

修方便;(3)采用成熟、可靠的系统结构方式,确保设备工作的可靠性;

(4)设备具备高性能、低故障率、长使用寿命、易操作维修、造型美观、售后服务完备。

二、 设备配置明细

设备具体配置如下

POS. QTY. PART DESCRIPTION
项目号 数量 部件名称 描述

1 1 匀胶机主机 WS�650Mz�23NPPB
匀胶机主机
2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300

3 1 真空托盘 Spinner Chuck 50~150mm
匀胶托盘 50~150mm

4 1 真空托盘 Spinner Adapter 10~50mm
匀胶转接托盘 10~50mm

5 1 系统附件 含密封圈若干、标准样片、水平仪、连接管
若干

6 1 操作软件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作软件

7 1 安装文档 Installation Documents
安装文档
三. 设备技术资料

匀胶机台

1. 系统概述

1.1智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;

1.2防腐装置;

1.3*设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;

1.4通信接口,蓝牙连接

2. 处理腔体

2.1处理腔体内径不小于 9.5 英寸 (241 毫米);

2.2* Wafer 芯片尺寸至少满足10�150mm 直径的材料,方片125x125mm,

无需更换片托;

2.3腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质;

3. 旋转马达

3.1转动速度至少满足 0�12,000rpm,

3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec;

3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;4. 控制系统

4.1工艺时间设定范围至少满足 1�5999.9 sec/step ,精度不超过 0.1s;

4.2配有高精度 PLC 可编程的控制器,设置点精度小于 0.006%;

4.3可存储不少于 20 个程序段,每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态;

4.4*分辨率要小于 0.5RPM,重复性误差要小于±0.5RPM,具有标准认证,并且无需再校准;

5. 配套泵浦

5.1配套真空泵系统:无油型 220~240 伏交流,50/60 赫兹;

5.2真空吸附范围 25�28 英寸汞柱 (~635�711 毫米汞柱)可调节,抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;

6. 系统附件

6.1*免费赠送基于 Windows 的操作软件;

6.2原装进口水平测试仪;

6.3两袋密封圈;

*配有两套可更换的废液接收单元;

四.设备运行条件

4�1.设备外围条件要求

1. 环境要求

a) 无尘室 1000 级或者更好

b) 温湿度 温度:22±3°C°C
湿度:45 ~ 70%
c) 安装维护距离 与其他设备或者墙面距离≥30cm

d) 设备尺寸以及重量 长宽高:420mm x 380 mm x 290mm
重量:15kg

2. 电力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3. 动力要求

a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮气 60�70 PSI
c) 干燥空气 60�70 PSI

五.售后服务

5�1. 设备保修期为设备验收合格后 1 年(保修期内免费提供非人为因素损

坏的备件及服务),并长期提供技术支持。

5�2 机器发生故障时,供方在 24 小时内明确回复。

5�3 如果未能解决问题,供方工程师应在 2 个工作日内与用方达成故障解决

方案。

5�4 设备保修期内,损坏的备件原则上卖方应在 1 个工作日内明确回复备

件的交货期限。并当供方仓库有备件库存时,在 1 个工作日内寄出。

5�5 保修期结束后,供方应在收到买方定单后 1 个工作日内明确回复备件

的交货期限。

5�6 保修期结束后,供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量

免费解决,不可避免的收费项目,卖方应提供优惠,届时协商解决。

5�7 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。

5�8 售后服务,人员安排由双方协商确定。

5�9 针对中国客户操作员频繁更换的特点,公司每年提供所在城市的免费设备巡检服务,检查设备潜在故障和隐患,培训新操作人员。
中西集团

匀胶旋涂仪Spin Coater 型号:WS-650Mz-23NPPB库号:M406433
韩经理 15330289873
一、设备用途和特点:

1、用途:主要用微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。设备能满足各类以下尺寸的基片处理要求,并配制相应的托盘夹具。验收除按卖方提供的标准基片外,另外可根据买方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圆片等验收试验要求。
2、特点:

(1)外观整洁、美观,占地面积小,节省超净间的使用面积;(2)材质易于清洗和维护,设备结构布局合理,用户操作、使用、维

修方便;(3)采用成熟、可靠的系统结构方式,确保设备工作的可靠性;

(4)设备具备高性能、低故障率、长使用寿命、易操作维修、造型美观、售后服务完备。

二、 设备配置明细

设备具体配置如下

POS. QTY. PART DESCRIPTION
项目号 数量 部件名称 描述

1 1 匀胶机主机 WS�650Mz�23NPPB
匀胶机主机
2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300

3 1 真空托盘 Spinner Chuck 50~150mm
匀胶托盘 50~150mm

4 1 真空托盘 Spinner Adapter 10~50mm
匀胶转接托盘 10~50mm

5 1 系统附件 含密封圈若干、标准样片、水平仪、连接管
若干

6 1 操作软件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作软件

7 1 安装文档 Installation Documents
安装文档
三. 设备技术资料

匀胶机台

1. 系统概述

1.1智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;

1.2防腐装置;

1.3*设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;

1.4通信接口,蓝牙连接

2. 处理腔体

2.1处理腔体内径不小于 9.5 英寸 (241 毫米);

2.2* Wafer 芯片尺寸至少满足10�150mm 直径的材料,方片125x125mm,

无需更换片托;

2.3腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质;

3. 旋转马达

3.1转动速度至少满足 0�12,000rpm,

3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec;

3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;4. 控制系统

4.1工艺时间设定范围至少满足 1�5999.9 sec/step ,精度不超过 0.1s;

4.2配有高精度 PLC 可编程的控制器,设置点精度小于 0.006%;

4.3可存储不少于 20 个程序段,每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态;

4.4*分辨率要小于 0.5RPM,重复性误差要小于±0.5RPM,具有标准认证,并且无需再校准;

5. 配套泵浦

5.1配套真空泵系统:无油型 220~240 伏交流,50/60 赫兹;

5.2真空吸附范围 25�28 英寸汞柱 (~635�711 毫米汞柱)可调节,抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;

6. 系统附件

6.1*免费赠送基于 Windows 的操作软件;

6.2原装进口水平测试仪;

6.3两袋密封圈;

*配有两套可更换的废液接收单元;

四.设备运行条件

4�1.设备外围条件要求

1. 环境要求

a) 无尘室 1000 级或者更好

b) 温湿度 温度:22±3°C°C
湿度:45 ~ 70%
c) 安装维护距离 与其他设备或者墙面距离≥30cm

d) 设备尺寸以及重量 长宽高:420mm x 380 mm x 290mm
重量:15kg

2. 电力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3. 动力要求

a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮气 60�70 PSI
c) 干燥空气 60�70 PSI

五.售后服务

5�1. 设备保修期为设备验收合格后 1 年(保修期内免费提供非人为因素损

坏的备件及服务),并长期提供技术支持。

5�2 机器发生故障时,供方在 24 小时内明确回复。

5�3 如果未能解决问题,供方工程师应在 2 个工作日内与用方达成故障解决

方案。

5�4 设备保修期内,损坏的备件原则上卖方应在 1 个工作日内明确回复备

件的交货期限。并当供方仓库有备件库存时,在 1 个工作日内寄出。

5�5 保修期结束后,供方应在收到买方定单后 1 个工作日内明确回复备件

的交货期限。

5�6 保修期结束后,供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量

免费解决,不可避免的收费项目,卖方应提供优惠,届时协商解决。

5�7 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。

5�8 售后服务,人员安排由双方协商确定。

5�9 针对中国客户操作员频繁更换的特点,公司每年提供所在城市的免费设备巡检服务,检查设备潜在故障和隐患,培训新操作人员。
中西集团

#液压机械# 福建速凌机械设备有限公司位于厦门思明繁华的SM广场中心地带是全国工业传动流体自动化领域实力较强的经销商,有着丰富的气动液压技术服务、工业销售及国际采购的经验,主营产品涉及液压泵阀(电磁阀、柱塞泵拳头产品)、工控产品、驱动模块、伺服电机、可编程控制器PLC、数控传动、传感器系列、电源、气动元件、工业仪器仪表。

具体主要经营品牌 Bosch-Rexroth博世力士乐、Indramat驱动器、电源模块、固化软件等电子驱动和控制产品、SAUER-DANFOSS萨澳 丹佛斯、PARKER-DENISON派克-丹尼逊、HAWE哈威、VICKERS威格士、MISSION 米森Bendix本第克斯产品、Airflex离合器产品、Denison丹尼逊产品、Commercial柯莫索、MTU/DDC发动机产品、Caterpillar卡特匹勒发动机产品、Allison艾里逊变速箱产品、Parker PTO派克取力器产品SPM产品、FMC产品和Anson产品。
小廖 Q Q:918174208
SUN型号如下选:
SUN-0186 XGCA XXN
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SUN-2101 PBHB-LBV
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SUN-1086 PPHB-8WN
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SUN-0808 NQBE-XAN 放气阀
SUN-0255 溢流阀 RPGC-MCN(9EH6)
SUN-1098 CWGA-LHN-HBL 平衡阀
SUN-1427 CBEA-LHN-BBA/M
SUN-0384 插装阀PCKDE-15
SUN-1792 DCCF-XXN 阀
SUN-2267 CV12-20-0-N-5
SUN-1424 SXCB-LWN-280BAR
SUN-1936 GBP OHS2-G1
SUN-1402 IH0603ECEB90F35S4Y
SUN-1615 PPEC-LBN DF57
SUN-0963 TB-743
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SUN-0270 CBCH LCV 250BAV 平衡阀
SUN-1376 R4V06-593-11-A5
SUN-3728 CBGY LHV
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SUN-1625 CXDA-XAN-GDP
SUN-2128 CKEB-XDN
SUN-0117 阀 RDFA-LCN
SUN-1049 PVJA-LAN/PX
SUN-1371 PPHB-LAN-BK2/S(7-210bar)
SUN-3740 CBCGLJN
SUN-0882 QCQ/T
SUN-1073 PBBB-LBN
SUN-0476 CXDA-XCN-GDP W STUD KIT
SUN-306 CXFAXCN
SUN-1737 RDDA LSV ODY5K1
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SUN-214 RDBA-LCA 溢流阀
SUN-0728 RPIC-LWB-CDZ/S
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SUN-2066 PMP/T
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SUN-1674 PBHP LAN OBKB A1
SUN-1071 695-114-001 脉�²泵
SUN-2266 CWIA-LHN-ASDL-QC
SUN-0967 CACG-LGN-ECV
SUN-0018 CXJA-XZN.5000PSI.I PSI SPRING.
SUN-3712 ZBN/M
SUN-1621 CNBC XCV
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SUN-0867 电磁阀线圈 770-624 OCS4 24V
SUN-0067 CBEA-LIN3:1
SUN-2206 CSAX-XXN
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SUN-2058 NKY(太阳)
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SUN-0405 NFDC-LAN-GBO节流阀
SUN-308 CBEA-LHV 及阀块BFV 和�²压专用
SUN-2061 YPDG-LAN-TA
SUN-1686 RDDA-LCN-CBA/S溢流阀
SUN-0082 PPDB LBN
SUN-3636 EBY/S 1DY1 - A2
SUN-2248 X6325A-N
SUN-1942 SV10-22M-0-N-24DG
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SUN-0016 PBJB-LON.BUNA N SEALS.60 TO
SUN-1514 LOHC-XCN
SUN-3685 RDJA-LWN T-18A
SUN-3855 EBY 0BR8-AC
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SUN-3678 FDFA-LAV
SUN-4000 BK2-OEB3-A2
SUN-1835 A911-062-G01
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SUN-0220 FDFA-LAN
SUN-2364 CBCA-LHN
SUN-1691 DNDC-XTN
SUN-0570 IAM9DW8 �²压阀
SUN-0086 CSAA EXN
SUN-0400 CWEA-LIN-NBA单向背压阀
SUN-2192 RPIC-LBN
SUN-3724 RWY4ED01-A0.V1TON.NS4
SUN-3742 CBEH-LKN
SUN-1203 CAEG-LGN
SUN-2068 QMR/T
SUN-0193 DBAA MCN
SUN-0888 CBCH-LKV
SUN-3574 Counter balance valve A906-039
SUN-0771 PPFB-LAN_T-2A
SUN-0098 阀CBGA-LHN
SUN-1479 FCCB-LAN
SUN-3702 PDDA-LCN QHY7 PAT47(42846)
SUN-239 PVJA-LAN 320L/MIN
SUN-3658 PRFB-LBV
SUN-0139 CBCG-LDN
SUN-0351 ITEM:0.251414.A

SAE 3000
SUN-3755 SN: 0827FMC02Q
SUN-1725 RPEC-FDN-FAI
SUN-1775 RPCC-LDN
SUN-1212 #Z2J
SUN-3675 EZ002/S
SUN-1645 MBP OEQS-A2
SUN-0391 CACA-LHN-EBY 平衡阀
SUN-1529 SBD
SUN-1696 PVDA8DN+RBAPMAN+770-224+C2A06A
SUN-0919 NFDC-LAN-GBO/S (6)
SUN-0238 CSAD-XXN OEJ5 重0171
SUN-0338 插装底板4158-274000
SUN-0216 阀 CXDA-XBV
SUN-1291 MVE 14M
SUN-4006 A708-029-J18减压阀
SUN-1118 CACG-LGN
SUN-3921 CXFA1G60
SUN-1620 CNEC-XCN-1.0
SUN-2361 RQEB-LDN
SUN-3733 RODA-LCN-PAT4742846
SUN-3994 CBEJ-LHN
SUN-0068 比例阀EBP/B OHL4-A2
SUN-1881 YPCI-LAN-HA-224
SUN-1350 CWEA-LHN-NBY/S
SUN-3644 CKIB-LAN
SUN-2222 SXCA-LBN
SUN-1515 CDAB-XXN
SUN-0242 阀块CKA/M 成品
SUN-1507 NFCD-KFN
SUN-0297 CACA-LHN
SUN-1261 REPC-LDW
SUN-0987 RDFA-LCN
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