在2023年IEEE超大规模集成电路技术研讨会上,日本索尼半导体公司的博士生们提出了一种具有片上镜头的背照式 3D 堆叠 6 μm 单光子雪崩二极管(SPAD)传感器,展示了极高的光子检测效率(PDE)性能。
为了提升PDE,该传感器首次将双衍射结构与2×2片上透镜(OCL)相结合。双衍射结构包括用于衍射的金字塔表面(PSD)和分别在面向光侧和相对侧的Si表面上形成的用于衍射的浅沟槽的周期性凹凸结构。此外,还优化了全沟槽隔离中埋入的PSD间距和SiO2膜厚。在波长 λ = 940 nm 处,该传感器实现了36.5%的PDE,为同类产品中最高水平。传感器采用了屏蔽环接触,相较于传统的插塞式串扰,串扰减少了约一半。这项技术有望在各种领域,如图像传感、激光雷达和三维成像等方面发挥重要作用。
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为了提升PDE,该传感器首次将双衍射结构与2×2片上透镜(OCL)相结合。双衍射结构包括用于衍射的金字塔表面(PSD)和分别在面向光侧和相对侧的Si表面上形成的用于衍射的浅沟槽的周期性凹凸结构。此外,还优化了全沟槽隔离中埋入的PSD间距和SiO2膜厚。在波长 λ = 940 nm 处,该传感器实现了36.5%的PDE,为同类产品中最高水平。传感器采用了屏蔽环接触,相较于传统的插塞式串扰,串扰减少了约一半。这项技术有望在各种领域,如图像传感、激光雷达和三维成像等方面发挥重要作用。
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比利时纳米电子学和数字技术研究与创新中心imec在国际电子器件会议(IEEE IEDM 2023)上展示了一种新方法,通过子光忠实地分离颜色,使用标准后端加工在300mm晶圆上实现亚微米分辨率。
这有望提升高端相机性能,提供更高信噪比、增强色彩质量和前所未有的空间分辨率。该方法使用SiO2矩阵中的垂直Si3N4多模波导阵列,通过在波导中构建锥形、衍射极限尺寸的输入,实现颜色的空间分离,可以提高图像分辨率,忠实地渲染颜色,为下一代成像器提供新的可能性
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圣洁的雪花在天际飘零
每一片雪花,都是冬天的来信
圣诞树挂上彩灯
欢快的的铃声悄然进入美梦
愿望的袜子被填的满当当
一起在雪地上走,听踩雪的声音
飘落的雪,温暖的咖啡
美食配上美酒
让圣诞变得更浪漫
时光随时针流逝
祝福降落在你心间
寒冷的夜里彼此相隔两地
也将最温暖的祝福献上
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圣诞节降至,初恋站在此为各位Hunnies准备了一些圣诞贺礼~(无需邮费)
参与方式:在本帖写下祝福即可参与❤️我们将会随机选取5⃣️位Hunnies送上礼物,截止日期为12月25日晚上24:00
✨快来献上你的祝福,获取初恋站为大家准备的心意吧❤️
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