激光器是激光的发生装置,三大功能部件分别为:泵浦源、增益介质、谐振腔。泵浦源为激光器提供光源,增益介质(也称为工作物质)吸收泵浦源提供的能量后将光放大,谐振腔为泵浦光源与增益介质之间的回路,振腔振荡选模输出激光。

泵浦源作为能量源,作用是产生光子对增益介质进行激励。泵浦源发出的光子将增益介质中的粒子从基态泵浦(pu­mp)到高能级,以实现粒子数反转。激励机制包括光学激励(光泵浦)、气体放电激励、化学激励、核能激励;目前泵浦源一般采用高功率半导体激光器(LD),主要作用是完成电能到光能的转化。

增益介质用来实现粒子数反转并放大光,同时决定输出激光的波长。增益介质可以采用液体、气体和固体。增益介质的基本要求是在受激后产生光子而不是光热转化,以及增益介质中的粒子需处于相对孤立的状态,才可能发生能级间的跃迁。激光器的增益介质包括气体、液体和固体,特定增益介质决定了激光波长、输出功率和应用领域。气体中具有代表性的是CO2 气体激光器,固体中具有代表性的包括红宝石激光器、半导体激光器和光纤激光器、YAG 激光器等。

谐振腔主要起到“储存”、“提纯”激光的作用。谐振腔通常由两块反射镜构成,也可以用耦合器构成各种环形谐振腔。光子在反射镜之间来回反射,不断在增益介质中引起受激辐射,产生高强度的激光。同时,谐振腔可使腔内的光子有一致的频率/波长、相位和运行方向,而使得激光具有良好的方向性和相干性。https://t.cn/A6XY9HN8

一,超快激光器市场近几年是激光市场最突出的增长点。皮秒、飞秒激光器也称为超快激光器,通常属于固体激光器,由于具有瞬时功率高、热效应小、加工精度高的优势,被广泛应用于精细微加工领域。由于精细微加工领域多为半导体及光学、显示、新能源及科研等新兴领域,受益于新兴领域的高速成长,超快激光器市场规模近几年保持较高增速,是激光市场最突出的增长点,其增速高于激光器整体增速!未来随着制造业进一步向高精尖、智能化方向发展、激光精细微加工将逐步成为高端精密制造领域的核心加工工艺,推动超快激光器市 场规模继续保持高速增长……

由于光纤激光器应用最为广泛,国内激光器企业以光纤激光器厂商为主,国内超快激光器起步较晚,因此从事超快激光器的企业数量不多,主要有德龙激光、华日激光、国神光电、英诺激光等,国外企业主要有德国通快、美国相干、美国光谱物理等!根据 OF­w­e­ek 介绍,全球超快激光器市场约 80%份额被国外企业占有,而中国超快激光市场规模正以远高于全球水平的增速成长,国产替代空间十分广阔,未来随着国内厂商技术逐步突破,参考光纤激光器行业经验,国内厂商市场份额有望逐步提高。

国产超快激光器产品性能正逐步接近世界领先水平。根据德龙激光招股书中所披露信息,对比德龙激光、 华日激光、国神光电、英诺激光以及几家主要国外厂商的产品性能指标后,不难看出在超快激光器领域,德国通快产品性能指标最为领先,主要系其采取了独特的技术路线。在紫外皮秒激光器以及红外、绿光飞秒激光器方面,德龙激光产品性能指标略逊于美国光谱物理,与美国相干公司相当;在红外、绿光皮秒激光器方面,德龙激光和英诺激光产品性能指标仅次于德国通快,部分指标优于其他国外厂商;在紫外飞秒激光器方面,德龙 激光已量产最大输出功率为10W 的激光器。

二,半导体激光芯片是采用半导体芯片制造工艺,以电激励源方式,以半导体材料为增益介质,将注入电流的 电能激发,从而实现谐振放大选模输出激光,实现电光转换。其增益介质与衬底主要为掺杂Ⅲ-Ⅴ族化合物的半 导体材料,如 Ga­As(砷化镓)、InP(磷化铟)等。

半导体激光芯片根据谐振腔制造工艺不同分为边发射激光芯片(EEL:Ed­ge Em­i­t­t­i­ng La­s­e­rs)和面发射激 光芯片(VC­S­EL:Ve­r­t­i­c­al Ca­v­i­ty Su­r­f­a­ce Em­i­t­t­i­ng La­s­er)两种。边发射激光芯片是在芯片的两侧镀光学膜形 成谐振腔,沿平行于衬底表面发射激光,而面发射激光芯片是在芯片的上下两面镀光学膜形成谐振腔,由于光 学谐振腔与衬底垂直,能够实现垂直于芯片表面发射激光。面发射激光芯片有低阈值电流、稳定单波长工作、 可高频调制、容易二维集成、没有腔面阈值损伤、制造成本低等优点,但输出功率及电光转换效率较边发射激光芯片低。

常见的边发射激光芯片相关产品有单管芯片、光纤耦合模块、巴条芯片、阵列模块等。单管芯片只有一个 发光单元,巴条芯片是由多个发光单元并成直线排列的激光二极管芯片,巴条芯片经过钝化、解膜后,可解理 为单个发光单元的单管芯片,单管和巴条芯片主要用于工业泵浦、科学研究、激光装备等。光纤耦合模块通常 是由单管芯片经过光学整形合束耦合封装而成,主要用于光纤激光器、固体激光器泵浦源等;阵列模块通常是 由巴条芯片集成封装而成,主要用于固体激光器泵浦源等。

VC­S­EL 芯片相比 EEL 芯片结构更为复杂,工艺难度更高。典型的 VC­S­EL 结构自上而下分别是:电流注 入所使用的欧姆接触、P 型的顶部分布布拉格发射镜(DBR),多量子阱有源区、N 型的底部分布布拉格发射镜 以及最底部的 N 型基质。顶部与底部的 DBR 构成激光谐振腔,长度为数微米,与激光波长在同一数量级。工 作时载流子被注入有源区的量子阱中,产生辐射跃迁,经过谐振腔的选模,在垂直于衬底的方向上输出圆形的 激光光束。相比于 EEL 的结构,VC­S­EL 显然更为复杂,工艺难度也更高。其工艺高难度主要体现在 VC­S­EL 谐 振腔短(仅几微米长),导致其单程增益长度也极短,因此就要求制作的分布布拉格反射镜(DBR)材料质量必 须良好,还要求 DBR 的发射率极高(一般要求 99%以上),目前如何获得高质量的 DBR 是 VC­S­EL 制作过程最 主要的难点。

VC­S­EL 最初被广泛应用于光通信领域,目前最主要应用市场是消费电子(占比达七成),未来在汽车市场 (激光雷达、DMS 等)有望获得新的增长。VC­S­EL 最初主要应用于光通信领域,2017 年苹果公司在 iP­h­o­ne X 中取消标志性的 To­u­ch ID,转而采用创新的 Fa­ce ID,该技术实现了 3D 传感功能,实现该功能的核心器件便是 VC­S­EL,自此 VC­S­EL 开始大规模应用于消费电子领域,随后安卓市场也纷纷将 VC­S­EL 应用于其产品的深度传感系统。

根据 Yo­le 数据,2021 年 VC­S­EL 应用市场中,消费电子占比 63.9%,为主要应用领域,其次为电信及 基础设施领域,占比 34.5%,汽车和移动设备领域占比仅为 0.1%,但 Yo­le 预测到 2026 年汽车和移动设备领域 占比将提升至 2.4%。VC­S­EL 在汽车市场的应用包括激光雷达、DMS、AR HUD、激光大灯等,在车载激光雷 达市场中 VC­S­EL 激光雷达将凭借探测距离、人眼安全等方面优势逐步替代 EEL 激光雷达,在 DMS(驾驶员监 测系统)中 VC­S­EL 在隐私保护、受环境光照干扰等方面显著优于 LED,因此未来随着汽车智能化不断推进, VC­S­EL 在汽车市场的应用将迎来新的增长。

激光芯片领域以国外厂商为主导,国内厂商在全球市场份额仍较小。国外企业恩耐、IPG 自产芯片仅用于 生产自身下游产品,不对外销售;武汉锐晶是锐科激光关联方,其生产的激光芯片主要向锐科激光销售。

从产品性能指标来看,长光华芯的高功率单管芯片性能指标已经接近世界领先企业水平。915nm、976nm (975nm)波长的单管芯片主要用于下游光纤激光器的制造,而光纤激光器占工业激光器市场规模的比重较高, 因此,这两种波长的单管芯片下游需求较大,是半导体激光行业的主流产品。激光芯片在一定的条宽范围下, 功率及电光转换效率越高,波长种类越多,反映出技术水平越高,下游应用越广泛。根据长光华芯招股书提供 数据,其高功率单管芯片在 190-230μm 的条宽范围内,公司目前高功率单管芯片输出功率可达到 30W,电光转 换效率可达 63%,技术处于世界领先水平。

VC­S­EL 工艺更为复杂,未来应用前景也更大,市场方面目前仍是国外企业占主导,国内厂商纵慧芯光、 长光华芯等已经掌握 VC­S­EL 制造工艺技术并实现量产,正逐步追赶国际先进水平……

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