【IWAPS】EUV光刻真空系统能量和占地面积的降低
来自Edwards的Zhen Ma作了题为《EUV光刻真空系统能量和占地面积的降低》的报告
EUV光刻工具消耗大量的氢气和电力，连同其他公用事业，他们正在致力于转化为碳足迹。SEMI S23从能源转化为碳足迹需要了解EUV真空系统使用的电力的碳强度，以及在减排过程中直接排放的任何二氧化碳或其他温室气体。能源的直接和间接排放的组成了碳足迹。
在从第一代EUV真空系统过渡到第三代EUV真空系统的过程中，我们估计节约了45%的能源需求。前者包括一个燃气减排系统，后者是一个氢循环系统。实地测量现在证实了这一估计。
本文将讨论EUV Zenith真空系统从第1代到第3代的许多变化，对当量能源和碳足迹的影响，以及对设备足迹的改进。
来自Edwards的Zhen Ma作了题为《EUV光刻真空系统能量和占地面积的降低》的报告
EUV光刻工具消耗大量的氢气和电力，连同其他公用事业，他们正在致力于转化为碳足迹。SEMI S23从能源转化为碳足迹需要了解EUV真空系统使用的电力的碳强度，以及在减排过程中直接排放的任何二氧化碳或其他温室气体。能源的直接和间接排放的组成了碳足迹。
在从第一代EUV真空系统过渡到第三代EUV真空系统的过程中，我们估计节约了45%的能源需求。前者包括一个燃气减排系统，后者是一个氢循环系统。实地测量现在证实了这一估计。
本文将讨论EUV Zenith真空系统从第1代到第3代的许多变化，对当量能源和碳足迹的影响，以及对设备足迹的改进。
科学猜想文集
(407) 《森林火灾迫使古猿下地行走吗？》木器时期
人类进化经历了四个阶段，木器时期`石器时期、玉器时期与青铜器时期。木器时期是指古猿使用木器获取食物的方式，本质上改变了古猿的生存方式，是古猿完全离开森林的前提条件。石器改变了直立人种的进食方式，玉器时期包含有两个时期，一个是新石器时代，制作的石器逐渐完美，猎取食物的能力大大增强，但仍然保持着群落社会。二是史前文明，人类开始由群落社会向部落社会转化，生产力表现出由单纯的守猎逐渐过渡到种植与牧养上。青铜器时期不仅是金属物质的使用，也使人类逐渐进入到人类社会、国家社会中来。恰恰是木器的使用是人类演化的开始，这个重要历史时期长期被学者们忽视了。
直立行走是人类开始起源的重要起因，是灵长类动物脱离动物，开始地表生活的开始，这一时期重要物种就是猩猩-猿-古猿-类人猿-能人-智人-现代人。从猩猩开始，这些动物群致力于前肢向手的转换。从爪到手的的转换不是动物主观意识的所为，而是基于动物肉食性的需求，由于古猿缺少肉食性动物的头部结构，捕获猎物后必须用前爪来分割，用前爪进食，前爪的频繁使用构成前爪向手的转转换。频繁使用前爪不仅促进前爪的灵活性，从爪到手的演化，手的使用还促进大脑发育，正是这种双向的演化才促进了人类的演化过程，这个过程也才是由动物向人类转换的第一个重要步骤。
第二个重要步骤是木棍的使用，没有这一步长灵动物根本无法下地行走。(偶尔或不经常在地面行走都不算)，使用木棍尖戳杀其它动物，获取食物的重要一步。如果没有这一步就不存在后面的进化，当我们开始关注原始人类开始使用石器时，是原始人类已经将木棍尖制作，猎杀已经运用到炉火纯青的程度，即开始猎杀中大型动物后，面临着如何分割食物时所遇到的问题，石器是为了分割食物所使用的工具，这是人类进化中的第三个步骤。例如，在泥河湾古人类生活遗址上，在湖泊里发现猛玛象的纹乱脚印，在岸边发現有原始人类打制石器的过程所形成的碎石头等等。这些遗存告诉我们:原始人类是在用木棍尖戳杀猛玛象，原始人类根本无法近距离的与猛玛象搏斗，更无法在浅水中与猛玛象搏斗，只能用木棍尖才能戳杀猛玛象，杀死猛玛象后出现了就地制作石器的场景，这正好说明石器不是猎杀动物的工具，而是分割食物的工具。
在这三个步骤进行过程中，伴随其中的是原始人类逐步离开了森林的过程，人类离开森林不是稀树草原的形成，也不是森林大火的杰作，原始人类离开森林是进步的结果，是猎食的需要。如果原始人类不具备一定的能力，离开森林就意味着灭绝。这与原始人类迁往高海拔与高纬度的目的是一致的。离开森林是为了猎取更多的食物，高海拔高纬度地区草食动物非常丰富且好猎杀。最原始的四个步骤进行过程中，原始人类即有动物属性，又开始有了人的属性，只是这个过程经历了太过漫长的地史时期，大约为两百万年，称之为旧石器时期。距今一万年前后，人类制作工具的能力开始得到提升，并有了种植的行为，这一过程称之为新石器时期，如红山文化。随后出现以养种植为主的部落种族社会，称文为史前文明，如良诸文化，再其后才真正进入到“文明”社会，如夏、商、周朝代。
通过我们的观察发现，促使猩猩下地行走的真正原因不是猩猩主观上的要求，也不是基因突变的结果，更不是灾难事件的发生，是生存方式改变的需求，更是获取食物方式的改变，对食物源追踪的条件反射。古猿由被动性获取食物到主动性获取食物是一个重大改变，肉食性动物都是主动获取食物，具有很强的攻击性。相比之下，人猿只是弱者，面对大型植食类动物都会望而却步，更何况是猛兽，因而，只有在人猿学会使用工具戳杀其它动物后，原始人类才有可能真正走出森林，这是一个不可忽视的前提条件。有人说工具就是石器，请问:石器能砸死动物吗？更何况石器都存在长期把握在手的痕迹，所以，石器不是用作投掷的工具。既然石器不是用来获取食物的进攻性武器，那么，能作为武器使用的还有什么，只有木棍尖唯一可获取的武器。
从古猿离开树木，等同于直立人类离开森林，在非洲，这一时期古猿与直立人种交替进行，显示在选择生存方式上存在试错现象。作为人类演化过程，尾巴缩短至消失，直立行走促使前爪完全演化成双手，都是人类脱离是动物属性的过程，也是与环境长期演化的结果，这种演化或许来开始于是古猿表型发展过大，不适合在树上生活，被迫下到地面某求新的生存方式，而猩猩及其它灵长动物都是前肢长后肢短，不适合在陆地上奔跑，更不适合使用嘴巴夺食，只能另辟蹊径来适应自身的变化。在适应性演化过程中，尾巴逐渐失去了作为器官的功能作用，逐渐退化萎缩。在整个人类演化过程中，尾巴的消失在促进人类进化上起到了推动作用，使人种在没有尾巴的条件下只能寻求手的发展。
人类演化体现在三个方面，运动方式的改变(直立行走)，四肢功能性的改变(爪与手的改变)，尾巴的退化完全脱离动物属性，以及这些演化在自然环境变化中(主要指气候)与脑神经系统的改变。关于人类演化成因有三种说法，气候变化说法、灾变说法与演化说法。
一、气候变化说，大部份学者认为:“森林逐渐减少，草地逐渐增多是古猿分化的不重要原因，迫使一部份古猿离开森林到地上生活。″根据森林演化成稀树林，稀树草原的说说法，西方国家的科考队无数次进入非洲中东部进行科考，在发掘南方古猿与直立人种骨骼的过程中，多发现湖泊与河流旁边，这就证明“逼迫”原始人类下地行走的动力并不是气候的恶化，而是生存方式的改变。科考人员从非洲沿海提取的沉积层颗粒对比中，发现每十万年都存在干湿度的循环，但这些颗粒的堆积厚度与颗粒大小的差异不是很大，判断其气候波动幅度并不是很大，同样为温暖湿润的气候环境。即使气侯在向温暖干燥环境过渡，其速度并非是人类想象的那么快，因为整个法老时期的撒哈拉都处在河流纵横交错的状态，这些都说明非常温暖湿润的气候在两百万年间没有多大变化。如果说是气候变化导致原始人类下地行走，显然与客观事实不符。
依据古猿的运动能力而言，森林的减少会逼迫古猿下地行走，或者像黑猩猩一样奔跑，在运动能力显然不是肉食动物的对手。在稀树林与稀树草原上，获取食物的能力，古猿同样不是肉食动物的对手，被肉食动物灭绝是生态环境变化的必然结果。人类能持续进化到今天，古猿离开森的气候变化的观点不具有说服力。
古猿必须是在森林减少之前就已经学会了使用木棍尖，没有这一武器的使用，古猿离开森林会受到猛兽的攻击，而古猿离开森林后在速度上远低于肉食猛兽，古猿还没有进化到使用工具杀死猛兽时，离开森林就意味着古猿的灭绝。所以，认为森林减少使古猿离开森林的观点是错误的。当古猿受到肉食动物的猎杀时，古猿便学会了利用长而尖的物质，如长木棍尖戳杀肉食动物及其它动物，必须早于石器的使用。最早的石器不能用来杀死大型动物与肉食猛兽，只能在获取食物后，才会用石器将动物皮刮开。石器的使用证明猎杀动物的土具使用在前，石器使用在后。
一般情况下古猿是不会离开森林的，事实也是如此，在非洲中部地区发现南方古猿化石地层中，出现了丰富的植物化石，如孢粉化石等，证明当时非洲中部森林密布，南方古猿并不是因为森林减少而走出森林，而是在会使用工具戳杀动物时，才开始有了离开森林的可能，否则，离开森林的古猿面临的只能是灭绝。另外有一个例证:美国耶鲁大学金斯顿考古队对东非的地理、气候作了十分详细的研究，得出结论:自从15.5Ma以来，大裂谷地区的雨林和草原的混合与现代完全相同，不存在气候大变化。撒哈拉地区的气候变化证明东非的气候变化是存在的，但它不足从驱使古猿在地上生活，古猿的地面生活恰恰证明古猿在森林存在时就已经下到地面生活了，离开森林的尝试就已经开始。 https://t.cn/A6Mat8BG
(407) 《森林火灾迫使古猿下地行走吗？》木器时期
人类进化经历了四个阶段，木器时期`石器时期、玉器时期与青铜器时期。木器时期是指古猿使用木器获取食物的方式，本质上改变了古猿的生存方式，是古猿完全离开森林的前提条件。石器改变了直立人种的进食方式，玉器时期包含有两个时期，一个是新石器时代，制作的石器逐渐完美，猎取食物的能力大大增强，但仍然保持着群落社会。二是史前文明，人类开始由群落社会向部落社会转化，生产力表现出由单纯的守猎逐渐过渡到种植与牧养上。青铜器时期不仅是金属物质的使用，也使人类逐渐进入到人类社会、国家社会中来。恰恰是木器的使用是人类演化的开始，这个重要历史时期长期被学者们忽视了。
直立行走是人类开始起源的重要起因，是灵长类动物脱离动物，开始地表生活的开始，这一时期重要物种就是猩猩-猿-古猿-类人猿-能人-智人-现代人。从猩猩开始，这些动物群致力于前肢向手的转换。从爪到手的的转换不是动物主观意识的所为，而是基于动物肉食性的需求，由于古猿缺少肉食性动物的头部结构，捕获猎物后必须用前爪来分割，用前爪进食，前爪的频繁使用构成前爪向手的转转换。频繁使用前爪不仅促进前爪的灵活性，从爪到手的演化，手的使用还促进大脑发育，正是这种双向的演化才促进了人类的演化过程，这个过程也才是由动物向人类转换的第一个重要步骤。
第二个重要步骤是木棍的使用，没有这一步长灵动物根本无法下地行走。(偶尔或不经常在地面行走都不算)，使用木棍尖戳杀其它动物，获取食物的重要一步。如果没有这一步就不存在后面的进化，当我们开始关注原始人类开始使用石器时，是原始人类已经将木棍尖制作，猎杀已经运用到炉火纯青的程度，即开始猎杀中大型动物后，面临着如何分割食物时所遇到的问题，石器是为了分割食物所使用的工具，这是人类进化中的第三个步骤。例如，在泥河湾古人类生活遗址上，在湖泊里发现猛玛象的纹乱脚印，在岸边发現有原始人类打制石器的过程所形成的碎石头等等。这些遗存告诉我们:原始人类是在用木棍尖戳杀猛玛象，原始人类根本无法近距离的与猛玛象搏斗，更无法在浅水中与猛玛象搏斗，只能用木棍尖才能戳杀猛玛象，杀死猛玛象后出现了就地制作石器的场景，这正好说明石器不是猎杀动物的工具，而是分割食物的工具。
在这三个步骤进行过程中，伴随其中的是原始人类逐步离开了森林的过程，人类离开森林不是稀树草原的形成，也不是森林大火的杰作，原始人类离开森林是进步的结果，是猎食的需要。如果原始人类不具备一定的能力，离开森林就意味着灭绝。这与原始人类迁往高海拔与高纬度的目的是一致的。离开森林是为了猎取更多的食物，高海拔高纬度地区草食动物非常丰富且好猎杀。最原始的四个步骤进行过程中，原始人类即有动物属性，又开始有了人的属性，只是这个过程经历了太过漫长的地史时期，大约为两百万年，称之为旧石器时期。距今一万年前后，人类制作工具的能力开始得到提升，并有了种植的行为，这一过程称之为新石器时期，如红山文化。随后出现以养种植为主的部落种族社会，称文为史前文明，如良诸文化，再其后才真正进入到“文明”社会，如夏、商、周朝代。
通过我们的观察发现，促使猩猩下地行走的真正原因不是猩猩主观上的要求，也不是基因突变的结果，更不是灾难事件的发生，是生存方式改变的需求，更是获取食物方式的改变，对食物源追踪的条件反射。古猿由被动性获取食物到主动性获取食物是一个重大改变，肉食性动物都是主动获取食物，具有很强的攻击性。相比之下，人猿只是弱者，面对大型植食类动物都会望而却步，更何况是猛兽，因而，只有在人猿学会使用工具戳杀其它动物后，原始人类才有可能真正走出森林，这是一个不可忽视的前提条件。有人说工具就是石器，请问:石器能砸死动物吗？更何况石器都存在长期把握在手的痕迹，所以，石器不是用作投掷的工具。既然石器不是用来获取食物的进攻性武器，那么，能作为武器使用的还有什么，只有木棍尖唯一可获取的武器。
从古猿离开树木，等同于直立人类离开森林，在非洲，这一时期古猿与直立人种交替进行，显示在选择生存方式上存在试错现象。作为人类演化过程，尾巴缩短至消失，直立行走促使前爪完全演化成双手，都是人类脱离是动物属性的过程，也是与环境长期演化的结果，这种演化或许来开始于是古猿表型发展过大，不适合在树上生活，被迫下到地面某求新的生存方式，而猩猩及其它灵长动物都是前肢长后肢短，不适合在陆地上奔跑，更不适合使用嘴巴夺食，只能另辟蹊径来适应自身的变化。在适应性演化过程中，尾巴逐渐失去了作为器官的功能作用，逐渐退化萎缩。在整个人类演化过程中，尾巴的消失在促进人类进化上起到了推动作用，使人种在没有尾巴的条件下只能寻求手的发展。
人类演化体现在三个方面，运动方式的改变(直立行走)，四肢功能性的改变(爪与手的改变)，尾巴的退化完全脱离动物属性，以及这些演化在自然环境变化中(主要指气候)与脑神经系统的改变。关于人类演化成因有三种说法，气候变化说法、灾变说法与演化说法。
一、气候变化说，大部份学者认为:“森林逐渐减少，草地逐渐增多是古猿分化的不重要原因，迫使一部份古猿离开森林到地上生活。″根据森林演化成稀树林，稀树草原的说说法，西方国家的科考队无数次进入非洲中东部进行科考，在发掘南方古猿与直立人种骨骼的过程中，多发现湖泊与河流旁边，这就证明“逼迫”原始人类下地行走的动力并不是气候的恶化，而是生存方式的改变。科考人员从非洲沿海提取的沉积层颗粒对比中，发现每十万年都存在干湿度的循环，但这些颗粒的堆积厚度与颗粒大小的差异不是很大，判断其气候波动幅度并不是很大，同样为温暖湿润的气候环境。即使气侯在向温暖干燥环境过渡，其速度并非是人类想象的那么快，因为整个法老时期的撒哈拉都处在河流纵横交错的状态，这些都说明非常温暖湿润的气候在两百万年间没有多大变化。如果说是气候变化导致原始人类下地行走，显然与客观事实不符。
依据古猿的运动能力而言，森林的减少会逼迫古猿下地行走，或者像黑猩猩一样奔跑，在运动能力显然不是肉食动物的对手。在稀树林与稀树草原上，获取食物的能力，古猿同样不是肉食动物的对手，被肉食动物灭绝是生态环境变化的必然结果。人类能持续进化到今天，古猿离开森的气候变化的观点不具有说服力。
古猿必须是在森林减少之前就已经学会了使用木棍尖，没有这一武器的使用，古猿离开森林会受到猛兽的攻击，而古猿离开森林后在速度上远低于肉食猛兽，古猿还没有进化到使用工具杀死猛兽时，离开森林就意味着古猿的灭绝。所以，认为森林减少使古猿离开森林的观点是错误的。当古猿受到肉食动物的猎杀时，古猿便学会了利用长而尖的物质，如长木棍尖戳杀肉食动物及其它动物，必须早于石器的使用。最早的石器不能用来杀死大型动物与肉食猛兽，只能在获取食物后，才会用石器将动物皮刮开。石器的使用证明猎杀动物的土具使用在前，石器使用在后。
一般情况下古猿是不会离开森林的，事实也是如此，在非洲中部地区发现南方古猿化石地层中，出现了丰富的植物化石，如孢粉化石等，证明当时非洲中部森林密布，南方古猿并不是因为森林减少而走出森林，而是在会使用工具戳杀动物时，才开始有了离开森林的可能，否则，离开森林的古猿面临的只能是灭绝。另外有一个例证:美国耶鲁大学金斯顿考古队对东非的地理、气候作了十分详细的研究，得出结论:自从15.5Ma以来，大裂谷地区的雨林和草原的混合与现代完全相同，不存在气候大变化。撒哈拉地区的气候变化证明东非的气候变化是存在的，但它不足从驱使古猿在地上生活，古猿的地面生活恰恰证明古猿在森林存在时就已经下到地面生活了，离开森林的尝试就已经开始。 https://t.cn/A6Mat8BG
我真是服了你个大绿茶了[微笑]
推特不关注Build；拿着BOC官号在bbb双人活动当天舞你和BB的鬼船；Build有活动也从来不发宣传（但是发了Bible的宣传）；新加坡一直致力于拆散bbb还妄图占BB便宜，惹的bui宝罕见的黑脸……
现在又来发这种引导性的话，干嘛？真当Build是工作人员吗？真以为自己是老板娘了吗？又让你们家粉丝来骂Build？
当时引导你粉丝磕MA，结果迈有嫂子不和你卖，现在又来引导粉丝磕你和BB？有病是吗？
做自由的风不代表你能随时发疯[微笑]别把你的没素质用“自由”遮掩过去[微笑]
想拆我们bbb的，想搞bbb鬼船的，别忘了瑜洲家初代粉都是战斗粉出身[微笑]
真不怪你之前被排挤被孤立，不是别人有病，是你自己绿茶，活该造报应[微笑]
推特不关注Build；拿着BOC官号在bbb双人活动当天舞你和BB的鬼船；Build有活动也从来不发宣传（但是发了Bible的宣传）；新加坡一直致力于拆散bbb还妄图占BB便宜，惹的bui宝罕见的黑脸……
现在又来发这种引导性的话，干嘛？真当Build是工作人员吗？真以为自己是老板娘了吗？又让你们家粉丝来骂Build？
当时引导你粉丝磕MA，结果迈有嫂子不和你卖，现在又来引导粉丝磕你和BB？有病是吗？
做自由的风不代表你能随时发疯[微笑]别把你的没素质用“自由”遮掩过去[微笑]
想拆我们bbb的，想搞bbb鬼船的，别忘了瑜洲家初代粉都是战斗粉出身[微笑]
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