10类家庭常备药清单】生活中，免不了有个头痛脑热，除了“多喝热水”家里也该备点常用药

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微系统技术中的蚀刻
作者：Michael Kohler

微型组件和微型设备越来越多地在日常生活中得到应用。所有现代微型器件的具体功能在很大程度上取决于其构造中使用的材料的选择和组合，即这些材料的化学和物理固态特性及其处理。通常通过光刻蚀刻工艺对各种材料进行精确图案化是制造微型器件的先决条件。功能图案的微技术蚀刻是一个多学科领域，蚀刻工艺的基础来自化学、物理学和工程学。本书分为两部分：第一部分介绍了湿法和干法蚀刻工艺，该部分提供了科学基础知识，而蚀刻槽成分、蚀刻说明和参数的目录可以在第二部分中找到.本节将增强对一般部分的理解，并概述实践中必不可少的数据。

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