掌握EUV光刻核心技术 日本憋出个大招:上马2nm[思考]

据报道,日本将与美国合作,最早在 2025 财年启动国内 2 纳米半导体制造基地,加入下一代芯片技术商业化的竞赛。

东京和华盛顿将根据双边芯片技术伙伴关系提供支持。两国私营企业将进行设计和量产研究。

台积电在开发 2 纳米芯片的量产技术方面处于领先地位。日本通过实现下一代芯片的国内生产来寻求稳定的半导体供应。 

日本和美国企业可以联合成立一家新公司,或者日本公司可以建立一个新的制造中心。日本经济产业省将部分补贴研发成本和资本支出。

联合研究最早将于今年夏天开始,2025财年至2027财年将形成一个研究和量产中心。

全球最大的代工芯片制造商台积电正在日本熊本县建设芯片工厂,但该工厂将只生产从 10nm 到 20nm 范围的不太先进的半导体。

较小的半导体可以实现设备的小型化和改进的性能。2纳米芯片将用于量子计算机、数据中心和尖端智能手机等产品。这些芯片还降低了功耗,减少了碳足迹。

5月初,日美签署了半导体合作基本原则。双方将在即将举行的“二加二”内阁经济官员会议上讨论合作框架的细节。

在 2 纳米研发方面实力雄厚的 IBM 去年开发了原型。同为美国公司的英特尔公司也在进行 2 纳米工艺的研发。

在日本,由国立先进工业科学技术研究所运营的筑波市研究实验室正在开展一项合作,以开发先进半导体生产线的制造技术,包括 2 纳米工艺的生产技术。东京电子和佳能等芯片制造设备制造商与 IBM、英特尔和台积电一起参与了这个集体。

日本拥有信越化学和 Sumco 等强大的芯片材料制造商,而美国则拥有芯片制造设备巨头应用材料公司。芯片制造商和主要供应商之间的这种合作旨在使 2 纳米芯片的量产技术触手可及。

台积电处于下一代芯片量产的前沿。该公司预计今年将在 2 纳米制造设施上破土动工,并有望在今年晚些时候开始大规模制造 3 纳米芯片。 

日本的2nm雄心

在去年五月,就有报道日本政府正在寻求吸引国外优秀的芯片制造商能赴日本建立圆晶工厂,以促进日本在半导体行业的发展。台积电后来也做了决定,虽然是28nm工艺,但也是个好的开始。

媒体在今年一月的报道也指出,台积电将与日本经济产业省成立合资公司,在东京设立先进封测厂。

而根据报导,台积电是要在日本茨城县筑波市新设技术研发中心, 研发中心包括晶圆制程及3D封装。

从过往的报道看来,日本的这个决定也是有其背后的考量的。因为晶体管微缩受限,过去多年在业界就存在一个观点,那就是借用先进封装可以继续推进芯片性能的提升。

而台积电在去年九月更是推出了其3D Fabric平台,将SoIC、CoWoS、InFO等技术家族囊入其中,能串联高频宽存储、异构整合和3D堆叠,以提升系统能耗,并缩小面积。

台积电研发副总余振华也以TSMC的SoIC技术为例,讲述他们这个平台的优势

。他指出,这个技术可将低温多层存储堆叠在逻辑芯片上,帮助延伸摩尔定律。而公司现在已成功将4层、8层与12层低温多层记忆体堆叠在逻辑芯片上,其中12层总厚度更是低于600微米,这让公司在未来可以实现堆叠更多层的可能。

虽然日本已经紧抱台积电,为未来发展先进芯片制造做好了一部分准备。但从日前的新闻看来,日本的野心并不止于此。

最新报道指出,日本经济产业省最快在本周内,会召开与日本半导体产业有关的检讨会,除了会探索瑞萨电子工厂火灾对汽车生产的影响,以及汽车业供应链不稳定的隐忧外,日本政府还计划府着眼朝着数字化发展的当前经济,让半导体供应链体质更加强韧,并从经济安全保障等观点,重新拟定中长期的政策。

日经进一步指出,日本政府将提供资金支持、协助日本企业研发2nm以后的次世代半导体制造技术。为实现这个目标,他们除了继续保持和台积电、Intel等半导体大厂进行大范围的意见交换来进行研发外,他们还将与佳能、东电、SCREEN等本土设备巨头携手,重振日本在先进研发方面的实力。

据报道,这支该获得经产省资金援助的研发团队目标在2020年代中期确立2nm以后的次世代半导体的制造技术,并设立测试产线,研发细微电路的加工、洗净等制造技术。

厚积薄发的底气

正如文章开头所说,虽然日本没有先进的晶圆厂,但他们在先进工艺的上游有很重要的布局。以现在炙手可热的EUV光刻为例,虽然大家都知道全球目前荷兰公司ASML能提供领先的EUV光刻机。

但在半导体行业观察之前的报道中,我们可以看到日本公司在这个领域多个环节的实力。

首先来看缺陷检测设备,如果作为原始电路板的光掩模中存在缺陷,则半导体的缺陷率将相应增加。最近几年需求增长尤其旺盛的是EUV光罩(半导体线路的光掩模版、掩膜版)检验设备,在这个领域,日本的Lasertec Corp.是全球唯一的测试机制造商,Lasertec公司持有全球市场100%的份额。

日本另一个占据100%市场份额的是东京电子的EUV涂覆显影设备,该设备用于将特殊的化学液体涂在硅片上作为半导体材料进行显影。

1993年东电开始销售FPD生产设备涂布机/显影机,2000年交付了1000台涂布机/显影机“ CLEAN TRACK ACT 8”。在EUV光刻胶方面,日本的市场份额更是遥遥领先。

据南大光电在今年三月发布的相关报告中披露,如下图所示,全球仅有日本厂商研发出了EUV光刻胶,由此可以看到他们在这方面的实力。而欲了解更多日本在EUV方面的实力,可以参考半导体行业观察之前的文章《不容忽视的日本EUV实力》。

国际主要厂商在半导体光刻胶产品的产业化进度(source:南大光电)在先进工艺研发方面,还有一个重要环节,那就是本节开头谈到的EUV光刻机,这也是日本在先进工艺研发上将佳能纳入其中的原因。虽然这家曾经的光刻机巨头在这个领域已经被ASML抛离,但他们在光刻方面的积累,能某种程度上给日本的先进制造提供指引。

除了上述谈到的一些技术和企业外,如上图所示,日经在昨天的报道中,也披露了日本在半导体制造的多个环节参与其中。

由此可见,对于日本来说,要想在芯片制造上搞出一些浪花,是有其深厚的底气。与此同时,日本富岳“超算”上的富士通的48核Arm芯片A64FX的超强性能表现加上索喜5nm芯片的新闻表示,日本在先进芯片上也有其实力所在。

在这些企业的配合下,相信日本复兴半导体先进芯片技术乃至建造先进工艺晶圆厂,都有潜在的可能。当然,是否真会这样做晶圆厂,又是另一个层面的讨论。

日重振半导体,政府顾问:须880亿美金

台积电赴日建厂并获得日本政府的补助,被视为日本提高自身芯片制造能力的关键,据外媒报导,日本政府半导体小组的高级顾问认为,日本做得还不够多,如果想重振半导体产业,明年就应该提供减税优惠,并订下未来十年鼓励企业投资多达10兆日圆(约880亿美元)。

东哲郎认为,日本的半导体产业已低迷数十年,如今有增加补助经费的动作,应是扭转颓势的开端,“没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

东哲郎建议,在未来的10年内,日本政府及私营部门应投资半导体产业10兆日圆。目前,增加对半导体产业的补助,在日本政界内已形成共识,据报导,日本首相岸田文雄也曾称,将为国内半导体生产提供逾1.4兆日圆的投资。

报导提到,因为芯片短缺,各国都在扩大自身的芯片制造能力,并增加补助经费,美国已投入520亿美元(约新台币1.44兆元),并成功吸引到台积电与三星赴美设厂,而中国也有相关的动作。

报导提到,日本过去为人诟病的一点是,对半导体产业的投资不足,并使得市场份额被抢走,如今日本政府也重新重视半导体产业,并承诺将重振半导体产业列为国家项目,目标是到2030年将国内半导体公司的年收入提高约3倍至13兆日圆(约1100字美元)。

东哲郎认为,在下一步,日本政府应在常规预算中,为芯片制造编列额外资金,而非使用一次性的预算进行帮忙。他认为,人们需要看到对这个项目的长期承诺,否则不会把政府当一回事,“若没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

至于日本政府对半导体产业的减税优惠,应涵盖哪些项目,据东哲郎认为,包括:对芯片制造业免征企业所得税的研发、削减用水及公用事业成本,这都是值得讨论的方向。#半导体#

#江阴发布# 【5个月,腾退1211亩!】
作为全市经济发展的主战场、主阵地,临港开发区始终坚持把工改作为产业提质、城市更新的关键一招,咬定目标、以势定谋,边破边立、攻坚推进。今年前5个月,完成土地腾退1211亩,12个特色主题产业园和工业园区城市设计已初步完成。

日前,数台挖掘机、雾炮车同时启动,原法尔胜精细钢绳有限公司厂房的拆除工作紧锣密鼓地进行。该地块原有厂房建筑面积5万余平方米,预计6月底完成拆除工作。

临港开发区机械装备产业园管委会主任沙晓军:13万平方米的标准厂房将在这里拔地而起,为全力打造临港开发区生物医药产业园提供优质产业空间载体。生物医药产业园项目一期规划用地137亩,总投资4.1亿元,将助推产业集聚,提升亩均效益。

在推进过程中,临港开发区不断加快工改步伐,在腾退低效用地的同时,盘活存量土地。位于夏港街道的长江村盘活约101亩集体存量土地,将建设13万平方米标准厂房,助力千亿产业提质升级。

临港开发区规划建设局局长张文向:临港开发区将围绕上半年腾退1750亩、全年3280亩的目标,多管齐下、综合施策,成立专班、强势推进。

在项目上,临港开发区将强攻特色主题产业园项目招引,全力争取福特新能源、建滔电子等一批超50亿元、超10亿元项目尽快签约落户,坚决打好打赢工改这场硬仗。

#ATA·公交# 『厦门公交第二批地铁接驳线,今起征求社会意见!』

为不断提高市民乘客出行的便利度,提升公共交通整体吸引力,大力倡导绿色出行,厦门公交集团拟于2022年6月下旬开通第二批8条接驳线(其中4条为新增线路,4条为现有线路调整升级),并拟优化首批开通的M6路、M8路等两条线路。

第二批开通的8条接驳线中,以首批接驳线开通后乘客主要诉求接驳区域为导向,在湖里和通、集美宁海、翔安南部新城等大型居住区开通3条接驳线,并将海沧万科城片区的808路加密班次优化提升为接驳线。同时为助力厦门经济特区营商环境优化,拟在岛内的自贸区象屿片区、火炬高技术产业开发区湖里园区、软件园二期、五缘湾商务区及集美的软件园三期等热门产业园区,新增、优化4条接驳线。

现就接驳线线路方案征求社会意见,大家可在厦门公交集团社交媒体通过扫描二维码在线填写问卷的方式提出意见建议,征求意见截止时间为2022年6月15日24时。具体方案如下。

一、新增M11路工作日高峰专线,方便宁海片区居住区乘客接驳地铁园博苑站的工作日通勤需求
M11路(园博苑公交场站环线)
(一)线路走向(单向运行):园博苑公交场站始发,经集杏海堤、杏滨路、杏林东路、宁海二路、文达路、杏滨路、杏锦路、园博南路至园博苑公交场站。
(二)停靠站点(单向停靠):园博苑公交场站、宁海、宁海二里、杏东小学、园博苑公交场站。
(三)线路长度:4公里。
(四)投放车辆数:3台。
(五)计划发车间隔:7分钟一班。
(六)运行时段(仅在工作日运行):
园博苑公交场站 7:00-9:30、17:00-19:30

二、新增M12路,方便自贸区象屿片区、火炬高技术产业开发区湖里园区等片区乘客接驳地铁火炬园站、华荣路站
M12路(火炬园—自贸区象屿办事处)
(一)线路走向:
上行:火炬园始发,经火炬北路、创新路、马垄路、新丰路、火炬路、湖里大道、象屿路至自贸区象屿办事处。
下行:自贸区象屿办事处始发,经象屿路、湖里大道、火炬路、新丰路、马垄路、创新路、火炬北路(创新路口东侧调头区调头)至火炬园。
(二)停靠站点:火炬园、创新二路口、新丰路、火炬三路口(往自贸区象屿办事处)、新丰三路口、石头皮山、华荣、华泰、华昌、华昌西路口、自贸区象屿办事处(象屿路新设临时首末站)。
(三)线路长度:5.2公里。
(四)投放车辆数:6台。
(五)计划发车间隔:高峰6-8分钟一班,平峰10-15分钟一班。
(六)首末班时间:
火炬园

首班7:00 末班20:00
自贸区象屿办事处

首班 7:30 末班20:30

三、5路变更为M13路,方便软件园二期园区乘客接驳地铁软件园二期站
M13路(香山海景苑环线)
(一)线路走向(单向运行):香山海景苑始发,经吕岭路、前埔东路、观日二路、望海路、观日路、望海路、观日二路、环岛干道、吕岭路至香山海景苑。
(二)停靠站点(单向停靠):香山海景苑、软件园、软件园南三区、软件园南二区、望海路西、软件园北一区、软件园北二区、软件园北三区、软件园北四区、软件园北五区、软件园北六区、望海路东、软件园东二门、香山海景苑。   
(三)线路长度:3.7公里。
(四)投放车辆数:5台。
(五)计划发车间隔:高峰7分钟一班,平峰12-20分钟一班(原为高峰7-10分钟一班,平峰15-20分钟一班)。
(六)首末班时间:
香山海景苑

首班 7:30 末班20:30

四、新增M14路工作日高峰专线,方便翔安南部新城居住区乘客接驳地铁鼓锣站的工作日通勤需求。
M14路(翔安新城公交场站—科技中学翔安校区)
(一)线路走向:
上行:翔安新城公交场站始发,经张埭桥路、南美南路、南美路、翔凤西路、洞庭路、新城中路、鼓岩路、鸿翔西路、石厝路、新城中路至科技中学翔安校区。
下行:科技中学翔安校区始发,经新城中路、洞庭路、翔凤西路、南美路、南美南路、张埭桥路至翔安新城公交场站。
(二)停靠站点:翔安新城公交场站、浦园三里、和风小学、浦园一里、翔安新城CBD、洋塘(往科技中学翔安校区)、科技中学翔安校区。
(三)线路长度:4公里。
(四)投放车辆数:4台。
(五)计划发车间隔:7分钟一班。
(六)运行时段(仅在工作日运行):
翔安新城公交场站 6:30-8:30、17:30-19:30
科技中学翔安校区 6:45-8:45、17:45-19:45

五、492路变更为M15路,方便软件园三期A区、B区、C区、F区乘客接驳地铁诚毅广场站、集美软件园站
M15路(集美新城公交场站—蔡亭西路)
(一)线路走向:
上行:集美新城公交场站始发,经诚毅东路、诚毅南路、诚毅大街、朝旭路、诚毅东路、锦亭北路、诚毅大街、诚毅北大街、浦公山北路、浦公山东路、珩圣西路、三社路、蔡亭路、蔡亭南路、蔡亭西路至蔡亭西路。
下行:蔡亭西路始发,经蔡亭西路、蔡亭南路、蔡亭路、三社路、珩圣西路、浦公山东路、浦公山北路、诚毅北大街、诚毅大街、锦亭北路、诚毅东路至集美新城公交场站。
(二)停靠站点:集美新城公交场站、莲花新城(往蔡亭西路)、软件园三期龙亭、软件园三期起步区、诚毅北大街、软件园展厅(往蔡亭西路)、软三金海豚广场(往集美新城)、珩圣西路、浦公山西路口、珩圣西路口、蔡亭路(蔡亭路新设中途站)、蔡亭西路(蔡亭西路新设中途站)。

    
(三)线路长度:6.9公里。
(四)投放车辆数:7台(原为5台)。
(五)计划发车间隔:高峰10分钟一班,平峰13-15分钟一班(原为高峰15-25分钟一班,平峰30-40分钟一班)。
(六)首末班时间:
集美新城公交场站
首班7:20(原为7:40) 末班21:40
蔡亭西路


首班7:45(原为7:55) 末班22:00

六、新增M16路,方便筼筜官任、湖里和通片区乘客接驳地铁湖滨中路站、建业路站
M16路(东渡公交场站—六中东渡校区)
(一)线路走向:
上行:东渡公交场站始发,经湖滨西路、湖滨北路、建业路、筼筜路、白鹭洲路、湖滨北路、湖滨中路、仙岳路(湖滨东路口调头区调头)、仙岳路、和通路、和旭路、和宁路至六中东渡校区。
下行:六中东渡校区始发,经和宁路、仙岳路、东渡路、和旭路、和通路、仙岳路、湖滨中路、湖滨北路(同益码头调头区调头)至东渡公交场站。
(二)停靠站点:
上行:东渡公交场站、建业路(建业路新设中途站)、筼筜官任(筼筜路新设中途站)、外国语学校、石亭路口、厦门茶厂、滨北小学、岳阳小区(北侧站点)、和通路口、东渡二小、和通里、和顺里、和宁路、六中东渡校区。
下行:六中东渡校区、厦门古玩城、濠头、和顺里、和通里、东渡二小、滨北小学、厦门茶厂、石亭路口、市政府、滨北中行、东渡公交场站。   
(三)线路长度:6.5公里。
(四)投放车辆数:6台。
(五)计划发车间隔:高峰8-10分钟一班,平峰15-20分钟一班。
(六)首末班时间:
东渡公交场站 首班 7:00 末班20:00
六中东渡校区 首班 7:00 末班20:00

七、439路变更为M17路,方便五缘湾商务区、禾缘社区乘客接驳地铁湿地公园站、五缘湾站
M17路(五缘湾公交场站—五缘西一里)
(一)线路走向:
上行:五缘湾公交场站始发,经五缘湾道、环岛干道、钟宅路、惠灵顿路、佐世保路至五缘西一里。
下行:五缘西一里始发,经佐世保路、环岛东路、钟宅路、环岛干道、五缘湾道至五缘湾公交场站。
(二)停靠站点:
上行:五缘湾公交场站、五缘湾运动馆、金海社区、市音乐学校、坂美公园、坂美村、钟宅村口、五缘西二里、五缘西一路口、禾缘社区、五缘西一里。
下行:五缘西一里、五缘大桥、五缘西二里、地铁五缘湾、坂美村、坂美公园、市音乐学校、金海社区、五缘湾运动馆、五缘湾公交场站。

    
(三)线路长度:6.5公里。
(四)投放车辆数:7台(原为5台)。
(五)计划发车间隔:高峰8分钟一班,平峰10-12分钟一班(原为高峰10-15分钟一班,平峰15-20分钟一班)。
(六)首末班时间:
五缘湾公交场站
首班 6:40(原为7:00) 末班19:00
五缘西一里


首班 6:55(原为7:30) 末班19:15(原为19:30)

八、808路变更为M18路,方便新阳居住区、霞阳村、海沧万科城乘客接驳地铁新阳大道站、新垵站
M18路(孚中央公交场站—海沧万科城)
(一)线路走向:
上行:孚中央公交场站始发,经孚中央路、后祥路、孚莲路、东孚西二路、东孚东二路、新阳大道、新景路、新阳北路、霞阳南路、霞光东路、霞光北路、马青路至海沧万科城。
下行:海沧万科城始发,经马青路、翁角路、霞光东路、霞阳南路、新阳北路、新景路、新阳大道、东孚东二路、东孚南路、后祥路、孚中央路至孚中央公交场站。
(二)停靠站点:
上行:孚中央公交场站、新阳人力资源市场、孚中央、温头溪、后柯村口、新景西二路口、地铁新阳大道、新阳北路、地铁新垵、新阳大厦、霞阳村、海沧教师进修学校北门、海沧万科城。
下行:海沧万科城、海沧教师进修学校北门、霞阳南路口、霞阳村、新阳大厦、地铁新垵、新阳北路、地铁新阳大道、新景西二路口、后柯村口、温头溪、鼎美村口、后祥北路口、新阳居住区二期、孚中央公交场站。

    
(三)线路长度:9.8公里。
(四)投放车辆数:7台(原为4台)。
(五)计划发车间隔:高峰10分钟一班,平峰20分钟一班(原为高峰15-20分钟一班,平峰30分钟一班)。
(六)首末班时间:
孚中央公交场站 首班 6:30 末班20:30
海沧万科城

首班 6:05 末班21:00(原为19:55)

九、为方便莲花片区的莲花小学、莲花中学、实验幼儿园、厦门第二实验小学等学校师生出行,结合M6路的潮汐客流特征,拟将M6路优化为311路工作日高峰专线
311路(莲花三村—公交大厦)
(一)投放车辆数:4台(原为6台)。
(二)计划发车间隔:8-10分钟一班。
(三)运行时段(仅在工作日运行):
莲花三村

7:00-9:00、17:00-19:00
公交大厦

7:00-9:00、17:00-19:00
(四)其它运营方案不变。

十、为方便万翔物流园片区乘客快速接驳地铁殿前站,拟将M8路由中埔站延伸至万翔物流园始发,扩大线路的服务范围
M8路(麦德龙—万翔物流园)
(一)线路走向:
上行:麦德龙始发,行至嘉禾路高崎北路口,改经高崎北路、港中路、嘉廉路、赤山坪路至万翔物流园。
下行:万翔物流园始发,经赤山坪路、嘉崇路、环岛北路、嘉廉路、港中路、高崎北路、嘉禾路(中埔调头区调头)至“中埔”站接原线路往麦德龙。
(二)增减停站点:
增停:高崎工业区、万翔商务中心、嘉廉路口、嘉崇路口(往麦德龙)、万翔物流园;
减停:中埔(往万翔物流园)。
(三)线路长度:7.9公里。
(四)首末班时间:
麦德龙

首班7:00 末班 21:00
万翔物流园

首班7:00 末班 21:00
(五)其它运营方案不变。

以上10条线路票价均为一票制1元。
#在路上看中国#


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