中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究(第一部分)
本文来自《信息通信技术与政策》杂志,是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊,两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。

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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况,进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力,但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……

0 前言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器,对比于传统式传感器元器件,MEMS传感器凭着品质轻,体型小,敏感度高,稳定性强,便于融合等优质特点,变成 促进传感器持续向小型化,智能化系统发展趋势的首要驱动力,与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系,也是超过克分子时期的主要发展前景之一。

1 MEMS传感器产业发展规划整体状况

当今,全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段,技术性更新迭代持续加速,产业链市场竞争日益猛烈。2018年,全世界传感器市场容量做到2059 亿美金,年平均增长率超出12%,在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%,变成仅次图象传感器(CIS)的第二大传感器类别。

全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心,在其中美国,法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上,而在高档MEMS传感器领域,美国和法国的优点则更加显著。

美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平,特别是在在MEMS过滤器领域,市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长,博通的竞争优势将获得进一步推进。

BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀,其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力,但总体看来尚不具有核心工作能力。

伴随着MEMS生产技术的逐步完善,新式MEMS传感器产品五花八门,产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。

现阶段,MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升,产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少,20世际60时代,传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年,而成本费减少時间一样必须 15年,而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年,成本费减少時间也进一步减少至5年之内,因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的,并发生了很大的市場机遇。

2 MEMS传感器运用现况

MEMS传感器类型极多,可使用于物理学,有机化学,微生物等领域数据信号的检测,比较常用的类型有瞬时速度传感器,惯性力传感器,工作压力传感器,MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段,MEMS传感器在消费电子产品,诊疗,汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大,各自占有41.8%,28.1%,16.7%和9.1%。

在消费电子产品领域,出自于对容积,功能损耗及其费用等要素的考虑到,以手机上,平板电脑,可配戴,AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的,关键分成速度感测组成传感器,自然环境传感组成传感器,电子光学传感组成传感器等。

在其中,速度感测组成传感器关键包含加快计,陀螺仪和惯性力精确测量模块;自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒,工作压力传感器等;电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器,贴近传感器,RGB色调传感器,激光测距传感器,电子光学微生物传感器等。

在诊疗领域,微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件,关键分成微生物菌种传感器,酶传感器,体细胞传感器,机构传感器,蛋白传感器,免疫力传感器6类。

除此之外,MEMS传感器还使用于脑电精确测量,心电图检查检测,CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域,将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化,MEMS技术性还将在外骨骼,心血管支架,眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。

在汽车电子产品领域,MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势,近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%,预估到2022年,市场容量将做到32 亿美金,销售量将超出20 亿颗。

汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器,工作压力传感器,陀螺仪,总流量传感器,溫度传感器,液位仪传感器,部位传感器,汽体浓度值传感器等,关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统,汽车安全气囊,胎压监测装置,进排汽管肯定压力检测等领域。

在工业电子领域,MEMS传感器高可靠性,高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定,与此同时针对極限溫度,环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定,MEMS传感器可根据封装类型,加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪,其使用寿命可以达到1000 h,耐冲击性达10 000 G,应用温度范围达-40℃~175℃ 。

3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息

当今,MEMS传感器早已使用于每个领域当中,在其中技术性迭代更新更快,运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。

MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器,包括了陀螺仪,加速度传感器和惯性力精确测量模块等,现阶段早已在智能机,可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。

当今,MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变,为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。

为完成多传感器中间的数据预处理,飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块,解决了结合外界感测器信息的难题。

博世公司运用系统封装(SiP)等技术性,将三轴12位加速度传感器,三轴地磁场传感器,三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合,进一步对增强现实技术,定位导航,本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。

为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航,现阶段现已有集成化了加速度传感器,陀螺仪,地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导,该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下,与系统软件校正技术性完全融合,完成了在无GPS数据信号状况下,3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。

MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一,一般运用于智能机,航天航空,车辆,生物技术及其加工工艺操纵等领域,依照工作压力检测方法能够分成压阻式,电容传感器,串联谐振感测器等,而最常见的是压阻式和电容传感器,因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。

为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧,持续提升微压传感器测量精度,一种新式的FBBM构造应时而生,该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块,根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统,并提升了压阻敏感度,做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。

为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求,一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出,在施压时,传感器膈膜产生偏移,传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改,完成了将轻度压力转换为信号的目地,该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中,达到了极端条件下压力传感的要求。

4 在我国MEMS传感器高新产业现况

近些年,中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发,制造到后面封装,检测的完善全产业链条[4],瑞声科技,歌尔股份,耐威科技,中芯,长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。

此外,近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准,这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚,销售市场数量较小,因而销售市场增长率较快;另一方面,近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头,加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移,促使MEMS要求持续释放出来,中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势,占全世界的市场占有率也不断地提升。

殊不知因为发展比较晚,在我国公司仍存有生产能力不够,关键技术缺乏等薄弱点。总而言之,当今中国仍需在关键技术科技攻关,全产业链配套设施水准提高等领域做工作中,从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。

4.1 设计方案

MEMS传感器设计方案是一项集基础知识,应用技术及其例如通讯,有机化学,微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中,包含覆盖面广,综合型强,因而相较于传统式传感器,MEMS传感器产品线开发设计难度系数大,时间长,且成本费一直持续上升。

整体而言,在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。

在制定实力层面,在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势,现阶段早已不断涌现歌尔股份,瑞声科技,敏芯高新科技等行业龙头,在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone,三星等国际性一流生产商的供应链管理,销售量位列全世界第二,且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。

但与霍尼韦尔,BOSCH等全球领头生产商对比,在我国公司仍存有产品线单一,总体经营规模偏小等难题,现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外,别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。

在基础研究层面,现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况,一般选用Coventorware,IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真,而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务(如IP库等),进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导,欠缺助推行业市场的自主创新产品,不能满足日新月异的市场的需求。

4.2 制造

MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支,但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。

传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管,如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管,与之对比,MEMS传感器件集成化元器件数目少,单独元器件容积比较大,因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度,只是更为重视原料的构造机械设备特点,材料有机化学特点及其离子注入深度1,精密度,地应力操纵等每一步工艺的精确完成。

除此之外,因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造,因而相较于传统式的IC制造工艺,MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性,如形槽离子注入,放弃层释放出来技术性,LIGA工艺,引线键合技术性等。

中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导,伴随着近些年罕王高新科技,耐威科技等优秀生产线依次落地式,在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高,且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。

但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器,MEMS话筒,加速度传感器等为核心的中低端产品,制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著,例如压电材料(AlN,PZT等)等高档制造工艺线并未创建,没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器,压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。

虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性,表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性,但因为产品销售量都相对比较小,因而在批量生产合格率,稳定性和可靠性等领域存在的问题。

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#打造天津国际消费中心城市# 【天津如何打造“国际消费中心城市”?您想知道的都在这里!】2020年,党的十九届五中全会提出,要培育建设国际消费中心城市。同年,市委十一届九次全会将建设国际消费中心城市纳入“十四五规划和二〇三五年远景目标建议”。今年7月,国务院批准在天津等5个城市率先开展国际消费中心城市培育建设。按照商务部的总体要求,天津研究制定了《天津市培育建设国际消费中心城市实施方案(2021—2025年)》。10月11日,市政府新闻办举行新闻发布会,邀请天津市副市长王旭,市商务局、市文化和旅游局、市体育局负责同志介绍相关情况,并回答记者问题。和平区、滨海新区、河北区、武清区负责同志会后接受了记者采访。

  培育建设国际消费中心城市是党中央、国务院的一项重大决策部署,必须牢牢把握“国际”是方向、“消费”是核心、“中心”是关键的总要求。副市长王旭介绍,培育建设国际消费中心城市,是深化扩大内需战略的需要,是构建新发展格局的需要,也是天津全面开启建设社会主义现代化大都市新征程的需要。必须牢牢把握培育建设工作的总要求和基本原则。“国际”是方向,就是要成为国际消费资源的聚集地、更高水平开放的新平台;“消费”是核心,就是要丰富消费供给,引领消费升级,更好满足人民日益增长的美好生活需要;“中心”是关键,就是要增强城市吸引力凝聚力,提升城市的辐射带动作用。要坚持把培育建设国际消费中心城市,与实现“一基地三区”城市定位、构建“津城”“滨城”双城格局、推进制造业立市的有机统一、统筹推进;坚持企业主体的主力军地位,更好发挥政府引导市场、打造环境的作用;坚持把天津独特的文化底蕴和商业积淀用足用好,注重在传承接续中发扬光大;坚持国际化视野,以追赶先进为目标,高起点定位,稳步推进,久久为功。

  顶层设计先行,目标任务框定。市商务局党组书记、局长沈蕾介绍,到“十四五”末,全球消费资源集聚特征明显,消费升级新高地效应突出,中心城市引领带动作用增强,形成在更大范围内需求牵引供给、供给创造需求的高水平动态平衡。再经过3至5年努力,构建起强大消费实现功能,成为具备高知名度和美誉度的国际消费目的地、全球消费资源聚集地、全国消费者向往地和展示国内大市场风范的靓丽名片。围绕目标的实现,“实施方案”明确了重点任务。“十四五”时期,天津将打造消费地标。着力把金街建设成为彰显国际影响力的天津地标商圈,构建“滨城”亲海消费、文化中心文化消费、佛罗伦萨小镇名品消费主题鲜明的消费目的地,塑造海河亲水消费、“洋楼”文化消费、津味美食消费等独具魅力的消费名片。将着眼消费市场国际化。打造全球商品贸易港、跨境电商综合试验区和市内保税展销综合体,推进“买全球”、“卖全球”。实施总部机构和首店引进专项行动,提升国际品牌聚集度。大力培育天津消费制造拳头产品,做强老字号品牌。将打造引领消费新高地。发展时尚消费和康养消费,促进首发经济和“银发经济”;扩容文旅体消费,打造精品旅游项目,活跃体育赛事活动;做强会展消费,依托国家会展中心(天津),引育品牌化、国际化展会;提升数字消费,打造电商小镇、直播基地、智慧商圈;提质夜间消费,建设意风区夜间消费地标。将创建国际水准消费环境。开展窗口行业服务质量国际化达标创建活动,强化客运交通组织能力,增加24小时商品服务供给,切实提升消费满意度、城市文明度、通达便利度和消费舒适度。将构建自由便利消费制度环境。强化邮轮旅客通关、入境消费支付和多语种服务。争取设立市内免税店,在重点商圈商街、旅游景区布局退税商店。将促进区域消费联动发展。聚焦汽车、乳品、红酒等重点商品,打造服务本市辐射“三北”的进口消费品供给平台。

  扣紧消费升级,丰富消费供给。市文化和旅游局副局长马政介绍,将实施海河全流域旅游开发,加强水陆互动,做深生态、休闲、会展等主题旅游,打造独具魅力的海河亲水旅游发展带;将依托国家海洋博物馆、航母主题公园、东疆湾沙滩公园、东疆国际邮轮母港,构建亲海旅游空间格局,建设景观优美、体验丰富的国内一流亲海亲水生态休闲旅游目的地。将深度挖掘洋楼资源,构建以五大道文化旅游区为中心汇集多点线历史风貌建筑的综合性文化旅游网,与海河北岸意式风情区共同形成体现天津都市文化底蕴的中心区,打造彰显“天津范”的洋楼文化消费名片。“十四五”时期将实施一批重点项目,完成杨柳青古镇和五大道文化旅游区5A级景区评定,创建蓟州溶洞4A级景区,把大运河国家文化公园、黄崖关长城文化精品展示园打造成精品项目。还将进一步丰富市民文化生活,延长文博场馆开放时间,持续打造“夜赏津曲”品牌,推动优秀舞台艺术作品的创作生产。市体育局党组书记、局长李克敏介绍,天津将大力发展冰雪运动,建成蓟州国家冰上项目训练基地等冰雪运动场馆,引入冰雪主题体育综合体。将推动“三大球”项目发展,积极承办女排亚俱杯和世俱杯比赛等国际顶级赛事,打造“排球之城”。将发展竞赛表演业,搭建1+10+100的赛事体系,建设“看比赛到天津”的体育赛事大都市。将在举办全民健身赛事和发展时尚体育消费上继续发力,培育“哪吒体育节”等体育夜经济。将实施补贴奖励政策,引导社会力量参与促进体育消费。

  共绘一张蓝图,展现地区活力。发布会后,四个区接受了媒体专访。和平区区长郑伟铭介绍,和平区将抢抓机遇,将国际消费中心城市培育建设工作作为全区的“一号工程”,率先建成国际消费中心城市标志区。将围绕国际知名品牌集聚区,消费资源配置中心、新消费展览展示中心、时尚发布中心、应用体验中心“一区四中心”的目标定位,高标准编制总体规划。将加强体制机制、政策引领、消费业态创新,推进和平印象城、国金购物中心、津湾广场、金耀广场、中海多伦道等重点项目,打造金街步行街地标商圈;五大道地区以民园广场为核心,先农大院、民园西里和庆王府为节点,讲好“洋楼故事”,开发新消费IP,提升夜间经济品质,推动商旅文融合发展,打造总部经济集聚地和“国际会客厅”。滨海新区区长杨茂荣介绍,新区将突出亲海消费主题,以打造国际知名海洋文化旅游目的地为目标,建设国家海洋文化与旅游深度融合发展的新高地为任务,构建“一廊一带一区多组团”的滨海旅游格局,打造国家海洋休闲运动中心,推出一批标志性亲海旅游线路,建设智慧文旅平台。具体推动“五大工程”:实施航母主题公园提升工程,打造海洋军事主题特色品牌;实施国家海洋博物馆提升工程,丰富文旅游消费题材,开发冰雪旅游项目,串联妈祖文化园海上观光线路;实施邮轮港城建设工程,提升邮轮母港服务功能,丰富岸上旅游产品;实施海洋主题文化旅游度假区工程,与万达集团合作,建设集文化旅游、商业购物、休闲娱乐、体育康养、生态社区于一体的主题公园;实施海上旅游观光线路开发工程,推出特色海上观光线。河北区区委书记徐刚介绍,意风区是意大利本土之外、亚洲唯一保存良好的意大利风貌建筑群落,也是了解近代中国与百年天津变迁的首选之地。下一步,将围绕打造独特的“洋楼”文化消费名片,高起点规划,引入文化展演中心、复合空间、书店、零售旗舰店、特色精品酒店、小众咖啡、网红茶饮等品质消费、特色餐饮业态;高标准招商,重点引入国内外天津首店,打造与意风区风格相融合的建筑设计形态和专属特色产品,营造意风区独有的“特色旗舰店”;高水平运营,常态化举办各类主题活动,打造意风区自有文化IP,大力发展夜间经济,打造城市社交中心和街区式购物中心。武清区常务副区长吴丽祥介绍,以佛罗伦萨小镇奥特莱斯、创意米兰时尚广场、V1汽车世界为代表的佛罗伦萨小镇商圈,是推进京津冀区域共同消费市场建设的重要布局,依托区位优势,业态不断丰富,已经初具规模,未来将向着欧式风情高端商贸聚集地的方向持续打造。将加快创意米兰和V1汽车世界项目培育,连同佛罗伦萨小镇凝聚双核心、三核心发展模式,形成聚集国际名品服饰销售、文化娱乐、艺术交流、精品餐饮、汽车销售、汽车文化、汽车赛事等业态的高端消费生态圈。同时建立一体化数字平台,大力发展培育新商业模式,打造商圈2.0版本。

  美好蓝图已经绘就,行动是关键。入选率先培育国际消费中心城市“国家队”,是天津的一份殊荣,给天津带来重大机遇。同时,这也将是沉甸甸的责任,考验着天津的智慧和能力。相信有市委市政府坚强领导,有全市共同努力,天津一定会交出满意答卷。https://t.cn/A6MKwFbC


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