【又一国产芯逆袭之门!特斯拉带飞,国内多位大佬谈碳化硅 如何跑得更快更远 - 原创 ZeR0 芯东西 2022-7-04 发表于北京】

碳化硅SiC的春天,终于来了!
“双碳”战略开启了新能源转换黄金时代,也开启了功率半导体发展的黄金时代。这一趋势下,拥有优越性能的碳化硅,正成为功率器件的宠儿。用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,能极大提高能量转化效率,大概会降低75%以上的能量损耗。其经济效益毋庸置疑是巨大的。
这个被特斯拉带飞的第三代半导体材料,正迎来爆发式增长。国家政策也在大力扶持:“十四五”规划和二〇三五远景目标纲要,明确指出“支持碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展”。
随着新能源汽车、人工智能、光伏风能发电、大数据、5G通信等一系列新应用领域的出现,以碳化硅为代表的第三代半导体正呈现蓬勃之势。
相比硅和砷化镓等半导体材料,在碳化硅等第三代半导体领域,我国与国际巨头之间的整体技术差距相对更小,更有希望实现换道超车,降低国际供应链的风险。
但与此同时,国内碳化硅产业链发展仍面临重重挑战,任重道远。当下国内碳化硅半导体的单晶材料、衬底、器件研发面临哪些核心痛点?接下来产业链发展还需怎样的助力?
在6月26日举行的“2022中国·南沙国际集成电路产业论坛”宽禁带半导体论坛上,山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授,广东芯粤能CTO相奇,中电化合物董事潘尧波,上海瞻芯电子CTO陈俭等专家发表主题演讲,分享了来自产业一线的观察和思考。

1. 碳化硅爆发式增长新能源汽车成主战场

碳化硅材料有半绝缘型和导电型两种衬底。半绝缘型主要应用于以5G通信、国防军工、航空航天为代表的射频领域;导电型主要用于制造功率器件,用在以新能源汽车、“新基建”为代表的电力电子领域,这也是当前碳化硅的主赛道。
第一个吃螃蟹的是马斯克的特斯拉。特斯拉Model 3率先将意法(ST)的碳化硅MOSFET功率模块应用到负责控制电动机的主逆变器中,证明了碳化硅技术足够成熟,并具有显著优势。
上海瞻芯电子CTO陈俭将“特斯拉的Model 3”类比“2007年的iPhone 4”,这是他决心离开做了21年的硅、转向碳化硅行业的原因。他回忆道,2014~2015年的碳化硅模块,据称已经将功率提高10%、体积缩小57%、重量降低40%,而现在比当时做得还要好。

新能源汽车的爆发,引发了一波碳化硅的“上车潮”。
特斯拉、保时捷、比亚迪汉、现代等纷纷在上碳化硅,碳化硅逐渐成为了高端汽车的标配;国内小鹏、蔚来、理想等造车新势力,都已推出或宣布推出碳化硅模块;宇通客车、上汽、北汽也在做这方面的筹备工作,而且商用车领域更容易导入一些新技术。
据法国知名行业咨询机构Yole预测,2022年车用碳化硅器件占比达68.8%,到2025年碳化硅功率器件的市场规模有望增至25.62亿美元,复合年增长率约30%。碳化硅之所以适合做功率器件,根由在于其材料性能。
碳化硅的禁带宽度是硅的3倍,热导率是硅的3倍,电子饱和速率是硅的2倍,最重要的是临界击穿电场是硅的8-10倍。因此,碳化硅器件有耐高温、低导通电阻、开关速度快、耐高压等特点,使得碳化硅系统更小、更轻、能效更高、驱动力更强。
广东芯粤能CTO相奇分享了一组预测数据,到2030年,中国大陆年度用电总量将超过10.5万亿度,如果用碳化硅器件全面替代硅器件做能量转换,那么每年可以节约上万亿度的电,这一数目,相当于10个三峡大坝的年发电总量。
到2030年,新能源车的销售量将增长9倍,光伏的装机量将增长5倍,碳化硅将大有用武之地。再加上缺货浪潮的助推,如今进口材料供货紧俏、一再延期,倘若国内碳化硅材料供应商发力赶上,这将为国产材料的导入打开一个突破口。

2. 8英寸时代到来但量产还要等三四年

碳化硅产业链覆盖从最上游的碳化硅粉,到晶锭、衬底、外延,再到晶圆,以及封装后的单管和模块,最后到交付应用。这种半导体材料的历史,最早可追溯至1885年,瑞典科学家发明了碳化硅生长装置,将核心原材料沙子和木炭加热到1500℃左右,通过导电,引发自蔓延反应,得到碳化硅单晶。但此前因材料技术和设备的限制,碳化硅长期没有发展起来。山东大学晶体材料实验室、南砂晶圆创始人兼首席科学家徐现刚教授介绍说,碳化硅单晶的研究可以分为三个阶段:第一阶段是90年代光电应用,碳化硅作为衬底,成功应用在光电领域;第二阶段是微波电子,我国做的已经不比国外差;第三阶段是功率电子应用,希望上下游通力合作,在这方面赶超国外。经过30多年的研发,国内碳化硅研究已具备一定条件,可以为器件研发提供衬底材料。
碳化硅衬底正不断向大尺寸方向发展,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本越低。目前业内主要量产产品集中在4英寸及6英寸,并演化向8英寸。国外在十年前突破了6英寸衬底技术,在“十三五”期间攻克了8英寸衬底技术。国际行业龙头科锐今年成功将8英寸衬底导入量产,全球首条8英寸晶圆工厂已经通线,很快就要建第二个8英寸碳化硅器件生产厂。在产业化方面,国内碳化硅企业已完成4-6英寸的升级。徐现刚教授谈道,目前国内已有8英寸碳化硅,与国际差距在2~3年之内,这个差距会越来越小。国内4英寸碳化硅晶体在2010年出现,从2017年4英寸导电衬底开始批量销售,中间间隔7年时间;国内6英寸批量销售是2019年,从研发开始也用了三四年。
中电化合物董事潘尧波判断,4寸的量会越来越少,6寸是当前主流,8寸是发展趋势,8英寸如果今年出来,按以往时间周期推演,需要等到2025年、2026年才能导入量产。
在他看来,“8英寸时代到来”还面临一些挑战,包括籽晶依赖于扩径、晶体良率、晶体质量、8英寸衬底加工、成本、生态等方面的问题,希望产业上下游紧密协同来解决问题。据他分析,根据中国电子材料协会统计数据,目前国内碳化硅规划投资300亿元,规划年产能200万片。2020年全国碳化硅产量约11万片,其中还包括很大一部分4英寸产量。规划的产能存在一定水分,规划的投资量偏大,实际落地的投资量有衰减,所以规划产能大于落地产能。从产能到产量,涉及到良率、成本、设备问题,据其统计,目前国内的长晶炉超过3000台,但实际供货量很少,今年6英寸的量大概率能超10万片,不过离需求情况还有很大的差距。汽车对材料有非常高的可靠性要求,这就引申到材料质量需要更高的要求,国内很多材料还在验证中,能满足车规级要求的占比不高。因此潘尧波判断,碳化硅材料,特别是车规级材料,会长期偏紧。他建议8英寸的扩展可以适当慢一点,如果材料供应不及却投了大量设备,这些产能则会空置,将导致产生很多投资的成本。

3.国内产业链面临的外忧与内患

目前碳化硅材料和功率器件都主要由海外企业垄断。器件方面,五家头部企业来自欧洲、日本、美国,合计市占率约90%;材料方面的垄断更加集中,Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ全面领先衬底市场,Wolfspeed和昭和电工两巨头几乎垄断外延片市场。国内碳化硅产业链则相对集中在长三角、京津冀和粤港澳大湾区。
相奇认为,国内碳化硅产业链面临着全面挑战:
1、碳化硅材料。
国内长晶技术和国际先进水平仍有距离,8英寸至少还需要2~3年才能追赶并突破,带动外延的发展。目前技术相对成熟,但设备还需要依赖于进口。
2、器件设计。
受限于制造工艺水平,材料优势没有被充分发挥,包括器件结构的优化创新,因为工艺能力的限制比较欠缺,生态也有待完善。
3、器件制造。
首先,衬底外延成本占比高,合资占比大概超过了50%;其次,器件良率受限于材料的缺陷及质量;其三,缺乏大规模的生产平台,过去碳化硅的规模相对较小,生产模式基本是实验室和小规模的小作坊模式;其四,专业设备还需要依赖于进口。
4、模组封装。
需找到更耐高温的封装材料,因为封装尺寸更小,散热及可靠性的要求更高。
5、汽车厂商。
问题是“缺芯”,尤其是“缺中国芯”。他总结道,国内碳化硅产业的强项是产业链较完整,弱项是现在成本还很高,尤其是在材料方面需要一些突破,其次是国产设备很少,专业设备还需依赖进口。我国的碳化硅产业链发展还需要平衡,才能与国外巨头进行竞争。

为什么碳化硅这么贵?
潘尧波解释说,碳化硅的成本很高,晶体存在质量、尺寸、厚度、良率、成本等痛点,且部分石墨依赖进口,供应紧张。碳化硅是硬脆材料,硬度仅次于金刚石,加工难度较大。
简单的衬底加工工序是从晶锭出来,做多线切割,做倒角,然后做研磨、CMP、清洗、检验,最后出货。其中切碳化硅,6英寸切一刀需要120小时左右,8英寸切一刀需要200小时左右,中间不能出任何差错,否则对切的质量会造成很大的影响。
相对于衬底,碳化硅外延技术门槛低一点,但也存在4个主要痛点:
1、进口外延设备交期长。
全球有4家进口主流供应商,国内主要采用的是3家,目前交期很长,有的甚至要60个月,即需五年时间。现在做碳化硅外延设备的有六七家,有的设备经过了批量销售,接下来国产化外延设备会进入产业主流。
2、外延的三个核心参数(缺陷、浓度、厚度)等检测设备依赖进口,交期长。目前国内缺陷领域有一家在demo过程中。
3、外延设备的单台产能低,每月仅300片左右,这个数量很低,可能会有新的设备和路线出来。
4、备件耗材寿命短,成本高。
外延过程经常要做保养,备件过程中会沉淀一些碳化硅颗粒,对碳化硅外延缺陷造成很大影响,所以备件耗材的生命比较短,一定程度上影响了碳化硅的产量。

在碳化硅器件方面,相奇分享了他观察到的一些趋势:
首先,沟槽MOSFET结构创新备受关注,已有多款沟槽器件产业化、商品化,且沟槽器件结构变化多端,创新空间变化也很大;
再者界面质量导致迁移率低,亟待技术突破,碳化硅器件的优势还没完全发挥出来,需利用新技术、新材料,提高界面质量和迁移率,提高可靠性。
除此之外,万伏千安智能电网需要超高压器件,所以超高压的MOSFET和超高压的IGBT也是器件研发的另一个方向。
有了大规模量产的平台、众多设计公司后,器件设计和制造生态系统则呼之欲出,从而提供一个桥梁,使得设计公司和量产平台能更好、更有效地合作。

4. “最根本的,是要做产业链的创新”

最后,陈俭分享了他看到的碳化硅产业潜力。
首先看定位。Yole数据显示,碳化硅从“三高”(高端、高频、高压)打入,慢慢蚕食硅IGBT市场。“我觉得这是「城市进入农村」的方式,做降维打击,成本做好,它是具有品牌效应的,这是势无可挡的应用。”陈俭说。
其次,上下游要协调好关系。下游车厂希望客户交货更快,现在有的周期要一年的时间,快则要6-7个月,太长了。
其三,价格要低,质量好,配合好。随叫随到是本土化优势,但质量还有待提高。上游会担心投资有没有希望、定价是否合理、付款方式好不好等问题。
至于上下游怎么协调?
陈俭认为,首先,下游需要明确的态度,要拓展应用,把市场做大,这是共赢之选;第二,上游要加大投资,给下游确保能供货且价格合理的信心;第三,有了技术,资金和人才才会加入。
在上游,现在SBD在充电桩领域的应用,市场不是红海了,是血海,卖的成本非常低,所以自己做器件、材料的厂商,要把碳化硅MOSFET的应用拓展起来。
只要有技术,碳化硅MOSFET做得好,市场还是很大的,SDB要区分于市场来做,价格要慢慢回归市场。技术进步需要时间,两三年之内很难做出很大的改善。
因此他们初步判断,大概在2024年前,衬底都是比较紧张的,外延则可能好一点,到2025年可能会缓解,但真正落实要到2026年,市场也可能会比预想得快,到时候又有一轮紧张。
在陈俭看来,最根本的,是要做产业链的创新,包括衬底技术、外延技术、Fab工艺、封装、碳化硅专用设备以及应用端的创新。
此外,他认为还需对创新者予以保护。首先做好专利布局;其次实现利益共享,定价机制要合理;第三,创新方要换位思考,要引入资金和推动标准建立;第四,尊重知识产权,抵制反授权,从法律层面保护创新者;第五,建立像IMEC一样的第三方合作开发平台。

5. 结语:碳化硅春天已至国产供应链迎新机遇

陈俭认为:碳化硅的春天来了,当前第三代半导体的碳化硅和氮化镓则比较火热,成长速度远超硅基功率器件。但还有很多挑战,要上下游共同共勉,以创新制胜,知识产权也要保驾护航。
徐现刚教授看来,碳化硅取得了新机遇,这么重要的材料,要降低国际供应链的风险性,对于进入国产和试用是非常好的机遇。
潘尧波亦判断:碳化硅产业处于成长期,在光伏、LED、硅产业等产业,新玩家会不断涌入,新技术会不断出现,这将给后来企业很多新机会。

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俗话说:树不能伤根,人不能伤心。树根伤了,活不成;人心伤了,暖不回。感情里最遗憾的不是对方有多恨,而是让对方伤透了心。再多的恨,时间久了,心结打开了仇恨也会消散。但是如果对方的心凉透了,那就再也挽不回来了。有的感情不是彼此不够爱,也不是做得不够好。而是你所有的付出,得不到回应和珍惜。你掏出了一颗真心,而换来的是对方的冷漠。你给出的信任,却换来的是无情的辜负。真心最怕被无情伤,一颗心伤透了,就再也回不去了。伤了的感情就像破碎了的镜子,再也回不到最初的模样。心与心的距离是渐行渐远的,情与情的温度是慢慢变凉的,太多的感情,转瞬即逝。在感情中,爱是相互的,需要两个人共同付出和经营。彼此要懂得珍惜。不被珍惜的感情终究会分崩离析。人与人之间的感情,你用真心待我,我会加倍的奉回。你用敷衍待我 ,我会转身离开。所以不要等到失去后才来珍惜,因为凉透的心,再也暖不回来。人心不能敷衍,情感不能冷落,如果不懂珍惜,失望攒够也会放弃。爱是两个人的事,当一方不在乎了,爱也就没有什么意义了。懂得珍惜才配拥有。感情都是相互的,如果有一天离开了,也就是对这段感情攒够了失望,凉透了心。如果一方拼了命的对待彼此的感情,却得不到一丝的回报,那又何必为了取悦对方,而卑微了自己。没有人不希望被爱,也没有人希望自己的爱被践踏。如果爱,请深爱,如果不爱,请离开,别让真心对你好的人寒心。最美的爱情就是彼此珍惜,彼此牵挂,我把你放在心里,你把我放在心里。你明白我的难处,我体谅你的不易。无论朋友,还是爱人,人与人之间就是这样,以真心换真心。人生的路上,谁都希望有人疼,被呵护,而不是满腔的深情被践踏。世间的每个人都值得拥有最好的爱情,每个人都值得被珍惜。希望遇到那个对的人,做自己想做的事,更不会彼此去伤害。爱情里没有谁对不起谁,只有谁不懂得珍惜谁。也没有谁离不开谁。只有不被辜负的爱,才值得被珍惜。人心不是一天凉的,树叶不是一天黄的,不要等到离开了,才明白爱的不易。爱不一定要拥有,但拥有了,就一定要珍惜,再忙也别冷落关心你的人,再难也别欺骗深爱你的人。别等到深爱你的人绝望了,才知道后悔,亦是于事无补了。当一个人的真心被无情的忽视的时候,心就会如死灰,在也热不起来了,关系再好的两个人,如果不懂得去关心,慢慢也就陌生了,再深的感情不去经营,慢慢也就没了。请珍惜身边对你好的那个人,因为他不是对人人都那么好。世界上最捉摸不透的就是人心,真假难分,有些人一脸的冷淡,却有一颗深情的心,时间最能验证人心,有时再深的爱,也会被时间冲散。再浓的情,也会因为远隔一方而消失淡去。人心就像一杯开水,不是一刻就变凉的,而是慢慢变凉的,真心的付出而被无视,包容过后换来欺骗。辜负积攒多了,心也就累了。人最怕寒了心,心寒了,你的一切也就与他无关了。人与人之间没有不变的心,所有热情都是有限的。我们常说:物极必反,超过了极限,一切都会改变,一个人爱你的时候可以深情。若是伤透了心,也会变得绝情。心凉了,就暖不回来了。这个世上,最善变的是人心,最执着的还是人心。人生匆匆,不要弄丢了,真正对你好的人,弄丢了,就再也找不回来了。人海茫茫遇见了,就是一种缘分,要好好珍惜,别把前世修来的情缘弄丢了。再刻骨铭心的爱,痛过就清醒了。再无法自拔的深情,伤过也就放下了。失望挣够了,也就不爱了。人一辈子遇人无数,真正对你好的人没有几个,遇到真心待你的人,是前世修来的福分。不要把别人对你的好,都当作理所当然,感情都是相互的,弄丢了对你好的人,就再也找不回来了,别等到失去了,才后悔莫及。一个真正对你好的人,会包容你所有的脾气,懂你背后的苦。真正爱你的人,知道你的好,懂得珍惜你。你在他眼里就是与众不同的。懂得尊重你,希望你可以永远幸福快乐。愿意永远和你一起走下去。每个人的真心都是无价的,对你的付出不是理所当然的,更不是一文不值的。只是因为太爱,才会毫无保留的付出。要明白感情一旦失去真心,就不会再来。一颗心一旦被伤害,就成了永远。没有人会一直任由你伤害,也没有会站在原地一直等你。再多的甜言蜜语,也暖不热,再好的实际行动,也换不回。所以,不管是友情还是爱情,不管是朋友还是爱人,千万别让他们伤透了心。爱情里,多少无奈的转身,不是因为不爱了,希望变成了失望,失望变成了绝望,曾经的深爱已回不到当初的模样。当一颗炽热的心,被伤得千疮百孔,没有了继续爱下去的勇气,没有了继续爱下去的意义。任何的感情,都是相互的,如果对方不懂得珍惜,你在付出也是在消耗自己的感情,不被珍惜的付出,不被疼爱的真心,还不如潇洒的转身,优雅的离开也是一种解脱,放手也是对彼此的成全。 https://t.cn/E2P9Ssz

在家用破壁机也能做韩式烤肉店的南瓜粥!

已到8月,美好的暑假又要开始啦!忙碌了几个月,这下可得好好养养胃,各种养生粥可少不了,但是却独爱绵绵的南瓜粥。

关于做法以前一直用小锅慢慢地熬煮,整个过程不得离人,稍有不注意还会糊锅,真的好闹人!在朋友的按头安利下入了款破壁机,果然没让我失望。

颜值真的好可!奶白的配色,加上周边亮金.色装饰的点缀,感觉简约中又透漏出几分精致,复古的造型,都不用专门找空间收纳起来,直接摆在台面也是高级感满满~

趁着今天有时间就跟大家分享一个我家经常喝的南瓜浓汤,一-般南瓜140克,小米20克,糯米20克,感觉分量不够的可以适当加。备好食材后,直接放进杯子,再根据自己的需求放些清水,之后拨动拨杆找到浓汤模式就可以啦。除了浓汤,像果汁儿、奶昔、冰沙、豆浆..这些都可以做,想想夏日的午后,给自己打上一杯黄皮果汁儿,那酸甜的口感,清新的果香,口水已经不争气的留下来啦~

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这款破壁机带隔音罩,声音真的很轻,没有轰隆隆的噪音,以后晚上想喝杯西瓜汁都可以随时喝随时打,再也不用担心吵到邻居啦!而且它的分量还好足,有1500毫升,正好够一家人。-

而且它还防糊底,做的南瓜浓汤一点没糊,倒上一碗颜色金黄金黄的,喝上一口细腻丝滑,满口的南瓜香,早上来一碗真的敲满足。

与还有预约的功能,工作日的时候我都是提前一晚备好料、设置好,到时间自动保温,早上起.来就有得喝,一点都不用慌!想想以前用的破壁机,每次想喝点啥,都得守着现打,休息的时候还可以接受,到了工作日,就好着急,以后- -家的早餐都要靠它安排啦~

它可以自清洁,喝完后,加上清水,调节拨杆找到清洁模式就可以啦,在六叶精钢刀头的搅拌下粘在杯壁_上的残余物可以被轻松刷下来,感觉繁忙的早晨也好像没有那么急匆匆了,加上自带的巴士烘干,还可以消除异味,下次再使用也会安心好多。

目前解锁了南瓜粥,期待奶昔、冰沙! !

晚9点


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