启泰“传感中国芯”的湖南担当

——解读中国首条压力传感芯片量产线背后的故事

■ 李 治

(刊载于《湖南日报》2021年12月1日10版)
#中国科技##传感器#
不久前,在国家智能传感器创新中心等单位主办的第二届中国智能传感大会上,湖南启泰传感科技有限公司(简称:“启泰公司”或“启泰”)被评为“2021感知领航年度杰出创新企业(成长型企业组,全国总共三家)”,公司董事长兼总经理王国秋被评为“2021感知领航八大标杆人物之一”。作为唯一代表,为湖南捧回行业盛会的最高荣誉。

传感器是物联网、大数据、人工智能、智能制造等新一代信息技术的感知基础和数据来源,已经成为推动数字经济转型升级与高质量发展的关键基础与重要引擎。

从人类社会发展趋势表明,传感器的需求量将随着经济和科技进步而水涨船高。《第三次工业革命》和《零边际成本社会》作者杰里米·里夫金甚至曾大胆猜想,“2030 年,全球应用的传感器数量将从 2013 年的 35 亿个突飞猛进到超过 100 万亿个,人与自然环境通过传感器紧密相连。”

近些年来,随着国际产业竞争格局的变化,全球万亿级传感器产业格局重新洗牌。这为智能传感器国产化带来新的挑战与机遇。

制造业正朝着数字化、智能化的方向转型,传感器的大量使用将是传统制造业实现高质量发展的必然选择,这为传感器企业的发展提供了前所未有的机会。

王国秋介绍,在工业控制、石油石化、采油炼油、航空航天、城市管网监测、工程机械、汽车等领域,压力传感器使用非常广泛。如一辆传统燃油汽车上面,压力传感器超过20颗。在未来发展中,压力传感器会趋向微型化、内置化、数字化、网络化方向发展。

产业竞争为传感器打开巨大的市场机会,正是检验企业技术真功夫的关键时刻。

“我不能说启泰的产品超过了欧美国家,但至少不会逊色。”启泰公司所在的长沙是工程机械之都,全球50强中,有4家在此地。

长沙工程机械产业规模全国第一,但液压传感器作为关键零部件还长期依赖进口。两年前,启泰量产线通线,长沙乃至全国工程机械产业的液压传感器配套需求均可实现自主可控。

经过对产品的严格筛查,启泰公司今年已是本土三一集团、中联重科、山河智能等工程机械巨头的合格供应商。

沈阳国仪检测技术有限公司等业内权威机构的抽查检测结果表明,由工程机械类客户单位送检的启泰传感器,各项指标均达到优良水平。大部分指标甚至高于国外一流企业的产品。

王国秋提到一件趣事,一家企业在对启泰公司产品的反复测试中,发现其各项性能指标好得超乎预期。怀疑启泰特意挑好的送检。有一次搞了个突然袭击,派人直接上门,找到库房挑了一些刚出产的产品去测试。结果发现,性能指标和之前的测试完全一致。

【自主可控】 传感器虽小作用大

在我国民用市场完全空白的金属基MEMS压敏芯片领域翩翩起舞,开启自主可控的全新技术时代,启泰公司凭什么这么牛?其技术产业化的价值到底有多大?

早些年,我国对传感器的发展有很大的争议。很多人认为传感器非常重要,需要国家加大力度来支持。但也有一种声音说,传感器单体价值不高,发展起来非常难,中国没有必要去做,用国际上现成的产品就好。美其名曰,产业分工。

王国秋介绍,我国自己能够生产的传感器敏感芯片占据份额不到10%。比如压敏金属基芯片,国产率不到0.5%。国内民品市场国产芯片,在启泰量产之前,颗粒无收。

“没有传感器,什么设备的能力都发挥不出来。所以传感器单个价值不大,但作用巨大。” 王国秋说,我国去年起加大对传感器研发的支持力度。但这种支持多从研究型出发,忽略了产业型。而产业化主要靠各种设备、工艺来保障。如果在特种工艺和设备上没有投入的话,产业化不可能有结果。

王国秋说,传感器敏感芯片生产线不像一般的集成电路产线那样具有通用性,一条传感器敏感芯片线,往往只能做很少种类的产品。比如说做温度传感器的产线不能做压力传感器,反之亦然。

“尽管单条线3到5亿元的投资看起来不大,但是由于传感器的种类太多,要把这两三万种传感器敏感芯片都做全,这个投资也是一个巨大的数额。”王国秋表示,传感器敏感芯片短期内完全自主可控有困难,有些传感器芯片不花10-20年时间是做不好的。

创新不是空喊口号,没有速成法,不经过长期积累是无法创新的。

基于科学预见和科学家情怀,启泰在压力传感器产业化这条道路进行了长期的艰辛探索。

启泰作为一个民营企业,在国家早期没有一分钱的投入下,在这个“高技术门槛、高资金门槛、高人才门槛”的微机电领域,以不管企业是否实现盈利,也一定要研发出“传感中国芯”,在产品价格与质量上与国外竞争的目标。凭借着满腔热诚和湖南人“吃得苦、霸得蛮、耐得烦”的秉性,王国秋最终坚持了下来。

在“十四五”开局之年,国家已将微机电系统作为集成电路的特色工艺纳入到了“十四五”前沿攻关技术领域,“传感中国芯”真正迎来了发展的春天。

【研发历程】 这把剑磨了十五年

压力传感器的核心技术是敏感芯片,从相关技术的研发到量产,王国秋这把剑磨了15年。

王国秋是从事“中国芯”较早的一批科研人员。早年在国防科技大学工作,后任湖南师范大学数学与统计学院教授、博士生导师。曾获得全军科技进步一等奖和二等奖,主持过4项国家级集成电路项目,湖南省政府曾给其记一等功。

2006年,王国秋研究重心转向应用广泛的压敏芯片和传感器,并决定走产业化道路。但是,压敏芯片的研制难度远超王国秋的预料。实验数不胜数,纽扣般大小的基底材料一箩筐、一箩筐的被烧坏。仅从2019年通线开始,调试工艺和设备用的芯片就消耗了1.9万颗。

但他的投入几近痴迷,这些年心无旁骛,没有做过其他投资。别说不赚快钱做房地产,连自己的住房都一直没有买,股票从没开过户。

研发是有风险的,因为一旦卡在一个环节上过不去,意味着前面的所有投入都白费。

面对各种困境,王国秋也有过几近崩溃、差点放弃的时刻,“要买材料、买设备、做实验,200万元很快就没了,还欠下了一屁股债,过年都有人上门讨债。还好,最终挺过来了。”

2013年,符合国际主流技术的压敏芯片关键技术终于破冰。这不是简单地重复国外的技术,而是一场颠覆性原创,研发了全新的功能材料和电路布局。

2016年开始建量产中试线,2019年,启泰的一条规范的高标准金属基压敏芯片生产线建成,从材料、核心技术、关键工艺和设备,到厂房的设计、芯片检测、封装均由启泰团队自主完成。

这是国内第一条量产线,也是目前唯一的一条。

自此,启泰攻克了“传感中国芯”生产全流程的难题,填补了我国规模化生产线的空白。

长沙市工程机械协会常务副会长兼秘书长吴京生说,启泰生产的芯片,是中国目前很少几类能与国际先进同类芯片相PK的芯片产品,是真正填补市场空白的具有核心竞争力的技术产品。

通线的喜悦实在是太短暂。还没有来得及好好休息一下,意料之中的“拦路虎”很快又出现了。芯片产线最麻烦的是良率、产能双爬坡,启泰生产线的第一批下线产品合格率不到20%。于是,启泰人开始了艰苦的良率爬坡。

所谓的良率爬坡,就是攻克产线里几十套生产工艺,任何一套工艺没有攻克,生产就会在这个环节停摆。例如,在光刻环节,由于进口的光刻胶不适合金属基底,启泰人硬是“跨界”配置出了自己的光刻胶,定制出了自己的光刻机。没有专用光刻机,生产效率是不可能提升的,产品的品质更无法保证。在产线建设中,由于芯片的基底不是硅材,由此导致传统的设备失效,这样的学费交了许多。如研磨机也是由国内知名厂商定制的,但它达不到对粗糙度的要求,第一台研磨机就交了学费。

又是一年半时间的努力,在产线上喂了1.9万颗基底,启泰产品现在的良率终于稳定在95%上下。

“在这个行业里面,95%良率是目前的天花板了。”王国秋自豪地说。

产能爬坡也在同步进行。启泰第一条线的设计产能是每年600万颗。目前正在根据市场的需求,逐步释放产能。

不久的将来,启泰首条线每年可生产600万颗金属基压敏芯片和数百万支传感器,年产值可达10亿元。

【湖南力量】 “三个高地”生力军

11月28日上午,中国共产党湖南省第十二次代表大会在省人民会堂胜利闭幕。

在全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,为全面建设富强民主文明和谐美丽的社会主义现代化新湖南而努力奋斗的历史号角声中,启泰正加快启动第二条生产线的建设。产品专门针对新能源汽车,年产值将达到50亿元,可填补我国汽车传感器这类芯片领域产线的空白。

今年的省政府工作报告明确提出,要重点抓好十大技术攻关项目。其中列出的“湘潭大学碳基生物等先进传感器件项目”提到,湘潭大学、启泰传感等正在研制的传感器,突破碳基场效应晶体管传感器和我国工程机械、汽车产业液压装备发展的高性能压力传感器关键瓶颈技术,实现液压装备金属基薄膜压力传感器芯片产业化,建设液压装备压力传感器封装生产线,实现进口替代,提升我省工程机械关键核心零部件配套能力。

不久前,建设银行给予启泰传感授信1.39亿元,第一笔款项8000万元已到账。这些资金主要用于芯片产能的建设上。

建行浏阳支行行长章卓说,建行以服务全省全面落实“三高四新”战略定位和使命任务、增强服务国家建设能力为己任,今年以来,通过“五大行动”已对重点高科技型企业实现了走访的全覆盖。“对湖南十大攻关项目启泰的支持,得益于省行浓厚的创新氛围和创新实力。在省行直接指导下,我们通过产品创新,克服了公司处于初创期在融资上的系列限制,成功实现授信,这在金融支持科技企业发展上有较强的示范意义。基于启泰在传感器领域的核心地位,我们会长期合作而不仅仅是微风拂面式的短期支持。”

11月中旬,中国安全应急产业大会创投交易会发布项目评审结果,启泰公司“智慧消防物联网监测系统”入选为50大优秀项目之一,项目的核心支撑点就是启泰芯片在低压领域的重大突破。在国际上,这类芯片的最低测压只能到1MPa。而启泰芯片的最低测压可以到0.2MPa,将测量能力下探了两个数量级。

此前,长沙银行对启泰的预授信高达20亿元,积极支持启泰传感进军智慧消防领域。

今年5月29日,湖南省传感器产业促进会第一次会员大会在长沙召开,王国秋当选第一届会长。

湖南省传感器产业促进会的成立,是传感器产业发展的一座里程碑。

在启泰等行业龙头企业带动下,促进会将加快传感器关键核心技术攻关,攻克关键技术,发挥传感器产业促进会引领、规范、协调、服务的重大作用,未来将引导全省人工智能与传感器产业快速健康发展,助力湖南省打造成为传感器产业强省,为建设现代化新湖南贡献力量。

“传感器核心是敏感芯片,在相当长的时间内敏感芯片还是我国的短板。”展望未来,王国秋表示将继续攻坚克难,为我国制造业屹立于世界民族之林,为湖南全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,作出新的应有贡献!

【紧急提醒!11月11日起,凡以下地区来(返)沈人员一律集中隔离#辽宁疫情# 】
11月25日,上海市新增3例新冠肺炎本土确诊病例,浙江省杭州市新增2例本土无症状感染者,江苏省徐州市泉山区新增1例本土无症状感染者。上海市3例病例互为朋友关系,在19-21日曾先后至苏州共同游玩。杭州市2例无症状感染者为外市病例密接,阳性人员1翟某于11月19日外出,20日与上海确诊病例和阳性人员2在苏州当地聚餐,22日返杭;阳性人员2是与翟某同行来杭的外地人员。徐州市无症状感染者为上海市确诊病例的密切接触者,20日曾在苏州与上海病例在同一餐厅就餐,11月21日返徐。现上海市共有3个中风险地区,分别为浦东新区花木街道锦绣路1650弄香梅花园一期小区、浦东新区三林镇海阳路1080弄香樟苑小区和青浦区赵巷镇业文路189弄西郊锦庐小区。

沈阳市疾控中心紧急提醒广大市民朋友:

1、自11月11日起,凡是从上海市浦东新区花木街道、三林镇、青浦区赵巷镇,浙江省杭州市西湖区,江苏省徐州市泉山区等重点管控地区来(返)沈人员,请第一时间主动向居住地所在社区(村屯)和工作单位报备,一律实施集中隔离医学观察,隔离期限至来(返)沈后满14天,期间进行2次核酸检测。

2、自11月11日起,凡是从上海市浦东新区(花木街道、三林镇除外)、青浦区(赵巷镇除外),浙江省杭州市(西湖区除外),江苏省徐州市(泉山区除外)来(返)沈人员需报备后尽快到附近核酸采样点进行1次核酸检测,并按要求进行14天健康监测;前往核酸采样的过程中要做好个人防护,避免乘坐地铁、公交车等公共交通工具,保持一米距离,如实告知旅居史。

3、外省来返沈人员需持48小时内核酸检测阴性证明。11月11日以来有苏州市旅居史人员,17日-18日参加了在上海举办的“2021首届中国国际财税博览会暨第四届FLF中国财税领袖前沿峰会”的人员请主动向社区(村)、单位、酒店报备,积极配合属地部门的疫情防控要求。
附: 上海市病例具体情况如下:

病例1:女,34岁,常住福建厦门,11月12日自厦门前往北京,15日自北京抵沪,临时居住于浦东新区锦绣路香梅花园。25日上午,新冠病毒核酸检测结果为阳性,后经市、区疾控中心复核为阳性。市级专家组结合临床、影像学表现和实验室核酸检测结果,诊断为新冠肺炎确诊病例(普通型)。该病例已接种2剂新冠疫苗。

病例2:女,32岁,家庭住址为浦东新区海阳路1080弄。25日上午,新冠病毒核酸检测结果为阳性,后经市、区疾控中心复核为阳性。市级专家组结合临床、影像学表现和实验室核酸检测结果,诊断为新冠肺炎确诊病例(轻型)。该病例已接种2剂新冠疫苗。

病例3:女,31岁,家庭住址为青浦区赵巷镇业文路189弄。作为病例1、病例2的密切接触者,25日核酸筛查结果异常,后经市、区疾控中心复核为阳性。市级专家组结合临床、影像学表现和实验室核酸检测结果,诊断为新冠肺炎确诊病例(轻型)。该病例已接种2剂新冠疫苗。

杭州市病例具体情况如下:

阳性人员1:男,48岁,浙大艺术与考古博物馆工作人员,现住址为西湖区蒋村街道河滨之城,19日阳性人员1于11月19日晚上离开杭州到外地出差,21日在苏州当地参加聚餐,同参者包括上海检出的新冠病毒阳性人员和阳性人员2,22日与阳性人员2一同返杭。

阳性人员2:男,54岁,和阳性人员1来杭后,暂时住在其家中,经调查核实,20日晚,在苏州当地参加聚餐,同参者包括上海检出的新冠病毒阳性人员和阳性人员1。22日晚来杭后在阳性人员1家中一起居住。

徐州市病例行程情况如下:

11月20日在苏州市曾与上海阳性人员在同一餐厅就餐,于11月21日晚乘坐G8300来到徐州。

11月21日:

17:15—20:37乘坐G8300由苏州到徐州东。

20:37—21:00从徐州东站乘地铁一号线到人民广场站。后步行至淮海新天地麦当劳。

21:49—21:59在麦当劳店内就餐。

22:00左右乘坐出租车(苏CD60886)至开元酒店后未外出。

11月22日:

11:00乘坐出租车(苏CU58J3)至徐州乐园。

11:00—23:00在徐州乐园调试设备(该设备未开放)。

23:00左右在徐州乐园乘出租车(苏CD9K58)至开元酒店,大约23:22到达酒店,到达酒店未外出。

11月23日:

11:20左右在开元酒店乘出租车(苏C597Q1)去徐州乐园。

11:20—21:57在徐州乐园调试设备(该设备未开放)。

21:58—22:06乘坐出租车(苏CZY198)到淮海新天地麦当劳进行取餐,未在店内就餐。之后乘坐同一辆车(苏CZY198)回开元酒店,未外出。

11月24日:

10:40左右乘出租车(苏CD53853)去徐州乐园。

10:40—20:49到徐州乐园调试设备(该设备未开放)。

20:49左右乘坐出租车(苏CD59551)从徐州乐园到淮海新天地麦当劳。

21:05-21:12在麦当劳就餐。

21:13左右乘出租车(苏CD3T72)返回开元酒店,后未外出。

11月25日未外出。

【寒冷“疫”线的暖心之举——哈尔滨市公安局驰援平房队伍感人小事】

平房区出现新冠肺炎确诊病例后,抗疫阻击战集结号再次吹响。哈尔滨市公安局抽调23个部门的438名精干警力组成抗疫支援力量,第一时间冲锋在前、驰援平房,同时间赛跑,日夜坚守在疫情防控第一线,圆满完成巡逻防控、设卡盘查、维持秩序、守护平安等各项任务,并积极为平房区百姓办实事、解民困、暖民心,受到群众交口称赞,交出了一份合格战“疫”答卷,光荣凯旋!

11月13日10时许,中天富城执勤点位民警在巡逻中接到群众求助:封控小区10号楼一位独居老人心脏病发作急需转运。民警王实立即来到小区大门口引导120救护车辆到位,并协同社区工作人员及时将老人转运至医院救治。

11月10日凌晨1点,警务保障部在兴建小区执勤的民警接到社区工作人员紧急求助:兴建家园B 区二期居民62 岁的徐女士,由于疫情管控被隔离在此处独居。她的儿子在美国、丈夫在沈阳,身边没有直系亲属,因突发心脏病,需要紧急就医。了解情况后,带队领导孙玉水安排民警李长青、周伟光配合社区工作人员,及时对徐女士进行救助并且联系120 急救。两位民警将徐女士送上急救车,一直护送到二四二医院。在帮助徐女士办理完住院手续后,返回管控小区时已是凌晨4点。

11月7日,刑侦支队民警王海涛、丁哲在管控小区内执勤时得知,一独居老人突发高血压,服用药物无效,急需到医院救治。他俩积极联系、协调街道办主任及点长和医院,配合医护人员,将80多岁的独居老人小心护送上救护车。

11月12日,在东平小区执勤的户政支队民警由洋、辅警姜连志、刘术在小区巡逻执勤时,一位老人焦急地跑来求助,民警怕老人滑倒赶紧上前扶住老人。经了解,老人叫关淑珍,今年76岁,是东平小区居民。老人患有严重的糖尿病合并症,现在胰岛素已经用完,血糖一直升高,小区管控出不去,没法买药。得知这一情况后,民警迅速联系点长给附近的药店打电话。没多久,药店将胰岛素送到小区门口,民警取到药后及时送到了老人手中。

11月12日,在新城里C区执行巡查任务的经侦支队民警姜宇航,发现一辆120急救车在610栋楼下停放。经了解,医护人员正在居民家接一名尿毒症透析患者。因小区楼道狭窄,担架无法通过,患者行动不便,民警姜宇航主动背起该患者下楼,并帮助顺利抬上救护车。

11月12日,技校小区一位老人突发疾病,家属联系120急救。因连日降雪冻雨天气,路面形成约40公分高的冰包。禁毒支队民警栾璐璐、于雷迅速清理冰包,引导医护人员进入小区,为抢救病人争取了宝贵的时间。

11 月 14 日,在松花路与哈南第二大道交叉口卡点,巡特警支队特警一大队民警孙梦龙正在执勤,一辆货车驾驶员跑来向他寻求帮助。原来山东籍驾驶员曹师傅从秦皇岛装车将医用原材料运往哈尔滨市,因疫情期间实行交通管制,该车辆的出城的审批手续正在办理,餐厅饭馆也因疫情暂停营业,曹师傅已经近一天没吃饭了,他表示愿意买执勤民警的盒饭。由于卡点盒饭也是配给制,并没有多余的,民警孙梦龙便将自己的盒饭让出,还将自己储存的食物一并送给曹师傅。

11月11日12时许,哈飞家园5号楼2单元居民李俊峰急匆匆地来到执勤点,称他是顺丰快递公司快递员,手中有个邮件急需派送。经了解,该快递是某外地来哈参加艺考的应届高中毕业生宿某报考的所有身份证件,由于小区封闭管控无法派送。民警黄涛电话与宿某联系,得知其本次艺考报名即将截止,急需该材料填报。了解情况后,民警训练支队民警王文强、黄涛、刘力军立刻放下手中的午饭,迅速驾车赶赴征仪南路卡点,将快递第一时间送到宿某手中。宿某激动万分,连连表示感谢。

11月13日,地铁分局民警郭敬涛和姜英春在哈飞大学生公寓封控卡点,主动帮助卡点内工作人员搬运居民生活物资。在他们的帮助下,近百袋大白菜及水果等生活物品,很快就转送到了指定地点。

11月1日15点20分,巡特警支队民警驾车在友协大街南虹公园附近巡逻时发现,一位中年妇女拎着两个大包步履蹒跚地前行。民警张一男、刘钊随即停车上前询问,该人名叫潘淑芳,今年54岁,刚从二四二医院出院,正在艰难地回家。在检查完其两日核酸阴性结果的报告后,民警将其送回到6公里之外的碧水湾小区。

11月1日16时30分许,巡特警支队民警潘利峰、王芝鹏在新疆大街巡逻中,一名怀抱幼儿的女士伸手拦车向民警求助。经了解,其怀中三岁幼儿在二四二医院东轻分院住院治疗,于今天出院返回家中,因交通管制,家人无法来接,于是求助民警。民警对该女子进行防疫消毒后将其送回小区,在小区门口,女子的家人早早在门口等候,一家人对民警的热情帮助表示感谢。

11月8日19时,南郡豪庭18号楼一居民在晚饭后突发头晕恶心等症状,该居民家人随即拨打了120。巡特警支队特警四大队民警了解到一情况后,主动担起为救护车领路的任务。由于这两天遭遇暴雪冻雨,路面环境极为恶劣,树枝被压断,挡住了救护车前行的道路。民警紧急清理路障,为救援抢出时间。因雪大路滑,救护车又陷入雪地中,民警又急忙上前推车,为抢救群众开辟了绿色通道。

来源:哈尔滨市公安局、925记者小孔


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