#西双版纳# 【普洱阳光悦城：悦心悦艺悦教，打造城市文化新沃土】
坐落于普洱主城区的阳光悦城——悦心文化空间，是普洱第一个集购物、休闲、娱乐、餐饮、民风、民俗、民趣、文化的综合情景体验式商业街区。立足普洱独特的历史人文、民族文化、本土产业，阳光悦城以普洱文创+普洱文旅为出发台和回归台，围绕文旅体验、文创商品、文化展览、剧院展演、教育培训，将普洱文旅发展、文创品牌有机结合，深入挖掘普洱文化精髓，着力打造普洱文旅、文创产业融合发展示范点，演绎出全新的发展格局。
传承本土文化 助推文创产业
普洱，镶嵌在祖国西南边陲的一颗绿海明珠，得天独厚的地理位置和历史文化，使得普洱拥有着独特的资源禀赋、独特的人文风情。
于2017年开业的阳光悦城，占地约272亩，总建筑面积约27万平方米，定位为偏重普洱本土文化、民俗特点的综合区域，重点建设文创品牌——云上乡愁书院、悦心小剧院、文化展览交流、教育和培训基地 ，它不仅是普洱主城区规模较大、业态较全的体验式商业综合体，也是旅游文化休闲中心，还是文创产业孵化中心。
目前，阳光悦城已入驻并经营企业商户共700家，其中有代表性文化企业70余家，租赁面积超20000㎡，入驻企业业态涉及美术、舞蹈、音乐辅导服务、文化艺术培训、文艺创作与表演、文化创意与设计服务、工艺美术品的生产销售、文化经纪代理服务、会展服务、电影和影视制作服务等，已形成良好的文化艺术氛围，具有重要的“文化+”引领示范作用。
在基地中，孵化区、公共区、功能区等三大区域分工明确，其中，孵化区将为60户以上创业团队提供孵化服务,公共区是集图书、咖啡、讲座、展览、创意、教育、茶道、花道、香道等新形态商业为一体的综合性文化艺术空间，并设置有公共会议室、商务洽谈室、产品展厅、基地展厅、公共培训教室、青年之家等，满足孵化团队的各类商务洽谈培训需求，功能区则是分布于阳光悦城各区域。
融合民风民情 打造智能商圈
七坊街——一条全长588米集民族民俗民趣为一体的纯景观步行街，主要为孵化毕业大学生或符合基地加入标准条件的商户提供创业扶持政策。如今这个销售绝版木刻、油画、泥塑、银饰、民族服饰饰品、文玩玉石、民族手工艺品等的民俗商业街区正致力于打造智能化商圈平台，向科技要效益，将互联网+的理念融入整个项目的建设以及运营管理之中，通过搭建一系列智能运行平台，逐步实现智能商圈的理念，致力于将民族产品转化为商品，借助电商平台、直播平台将产品外销，也让民族文化以商品为载体传播到全国、全世界。
城市展厅——彰显城市文化
拥有文化气息及文旅风格的悦心文化空间地处思茅中心城区，位于阳光悦城1号门，紧邻五一路延长线梦茶道，项目总建筑面积约4600㎡，共分三层。建筑外立面为简约文化馆的形式，建筑内部提炼了普洱文化元素为装修风格，拥有着较为成熟的商业业态配置，餐饮、住宿、购物等都能为游客提供高品质的服务。
悦心文化空间，一楼设有城市展厅，可展出面积约700㎡，是集美术、摄影、传统手工艺品、传统乐器展、非遗互动体验、制茶互动体验等于一体的全方位感官体验展示中心。通过组织举办各种展览，同时专门设定本地民族特色展区，可以让更多的文化产品得到展示，也可以让更多的非遗传承人有显示自己的场所，让非遗文化得到展示、发扬光大的同时，以活动带来人流，吸引更多的游客和投资者，以人流带来销售，实现经济效益的转换。
云上乡愁书院——打破时空限制
在悦心文化空间，云上乡愁书院经营着1700多种品类的书籍，凭借独特创意——创新的建筑格局、形式多样的阅读空间，仅半年多时间就已经成为普洱文创品牌的新地标。真正打破此间与彼间时空限制的，永远是人心的交叠和相拥。而在普洱这座充满茶香的城市，书籍让这份关系得以永久存续。
品一杯清茶，读几页好书，让读书不再只是局限于传统，全方位满足读者阅读需求。置身书店，文创与饮食产品可谓“藏龙卧虎”：非遗文化明珠马家银与镇沅黑陶、“普洱文化符号”绝版木刻、香气馥郁的优质云南小粒咖啡、诞于高山云雾间的名家普洱茶、细工慢作的民族手艺小物等“明星”俱网罗其中，种种物件再现普洱本土农耕文明和地域文化。就连装饰所用的布挂、写满读者寄语的木牌、桌前的仿古台灯，亦均为人工缝制磨就，匠心独具。被如斯环境包围，置身其中，很难不生出一种被历史和文脉纠集的使命感。
外在的吸引力固然重要，内在的沉淀更不容忽视。云上乡愁书院在秉承“请进来，走出去，留得住，能消费”经营理念的情况下，在客户深度体验上狠下功夫。在找书订书方面，书院可按需同城异店调书、异地调书，根据读者指定要求，锁定作者、出版社甚至图书编辑，联动云南新华书店集团B2B2C电子商务发行平台，参与“一本也包邮”计划。在细微之处，书院也不遗余力提供便民服务，免费饮水、爱心环保袋、便民医药箱、雨伞出借、图书寄存……自行取用。此外，书院还构建了一条本土化高端VIP客户生态链——年费会员，为会员全年供应“每日一壶茶”，新书7折钜惠，会员生日、朋友小聚专场预留，开辟会员专区，专享代办作家签名、保管、送达等更精细的服务。
书院开展的“365朗读计划”更是将关怀、分享和实践全民阅读推广到了极致。每晚八点至八点半，朗读者亲身参与到阅读活动中来，朗读一段自选书籍中的文字，即可以6折的极低价格购买图书。自书院试营业半年多来，“365朗读计划”招徕参与者无数。在这样一场小型朗读会里，读者们互惠智慧成果，分享动情感悟，于交流中阐幽发微，正是“明月装饰了你的窗子，你装饰了别人的梦”的最佳写照。
营造文化氛围 助力消费升级
毗邻成熟商圈，园区于闹中取静，汇集书品、文创、饮食、智识产品于一体，创建集朗读、大家读书会、文化沙龙、讲座、展览、教育、茶道、香道、花道、红酒品鉴、商务洽谈、产品发布等新形态文化集市，自成一片文化热土。
悦心文化空间引领阳光悦城教育培训行业，与项目内大部分教育培训机构达成战略合作，为顾客提供全年龄、全课系的培训体系。目前，悦已经入驻悦心文化空间的英启国际教育、后起教育、筑梦AI未来教室、0728艺术体验中心、星空绘本馆等教育机构在行业内都具有一定影响力，园区通过聚集众多传统、民俗、现代文化企业，给市民提供多元化、全方位、高质量教育培训，使得消费者满足自身培训需求的同时也可以感受到多种文化氛围。
打造特色剧目 传播普洱文化
剧院承载着一个地方的文化传播，也是当地的一道人文景观，更是精神文明建设的需要，正在建设的悦心小剧场的出现，弥补了市中心小型剧院的空白。
悦心小剧场已与国内知名导演毛磊达成了战略合作，建成后将定期在悦心小剧场进行演出，并把普洱的民族文化、生态文化等这些特色融入到具有教育意义的舞台剧目当中进行演出，通过合作，形成品牌效应，做活普洱舞台剧。
对内，悦心小剧场剧目的小演员将在普洱市启动全市海选，这样在带动普洱市艺术培训行业的同时也可以找到普洱市的未来之星，通过与艺术教育行业的合作与推广，可以有效拓展观众、增加行业活力从而达到带动行业进步，同时也可以让市民在文化传播中汲取力量，满足精神生活需求。对外，通过把具有普洱特色的歌舞剧传播到全国各地，进行文化输出，打响普洱知名度，进而提升普洱文化旅游档次和内涵。
近两年的时间，阳光悦城正逐步实现文化产品向文化商品的转化，以商业模式支撑文化产业，以文化产业带动文化的传承传播，也为更多的文化创业团队提供了孵化服务。阳光悦城项目负责人也表示，未来将加速悦心小剧场建设，丰富文化展出，继续开拓普洱文旅项目的更大价值，对文化旅游产品进行升华包装，提升普洱的文化内涵和对外宣传的形象。
谈及普洱阳光悦城文化产业园区未来的规划，普洱悦城商业运营管理有限公司副总经理 朱楠表示，除了将普洱少数民族文化故事制作成一个文化剧目在悦心文化空间小剧场演出，还会继续以创业园孵化基地的模式，做文化艺术产品的创造和商品的转换。同时，通过艺术展览让市民更加熟知本土文化，进而带动园区发展。“文化产品会以商业的模式有一个支撑，让文化产品、文化产业有更好的发展。”
云南网记者 顾帧
坐落于普洱主城区的阳光悦城——悦心文化空间，是普洱第一个集购物、休闲、娱乐、餐饮、民风、民俗、民趣、文化的综合情景体验式商业街区。立足普洱独特的历史人文、民族文化、本土产业，阳光悦城以普洱文创+普洱文旅为出发台和回归台，围绕文旅体验、文创商品、文化展览、剧院展演、教育培训，将普洱文旅发展、文创品牌有机结合，深入挖掘普洱文化精髓，着力打造普洱文旅、文创产业融合发展示范点，演绎出全新的发展格局。
传承本土文化 助推文创产业
普洱，镶嵌在祖国西南边陲的一颗绿海明珠，得天独厚的地理位置和历史文化，使得普洱拥有着独特的资源禀赋、独特的人文风情。
于2017年开业的阳光悦城，占地约272亩，总建筑面积约27万平方米，定位为偏重普洱本土文化、民俗特点的综合区域，重点建设文创品牌——云上乡愁书院、悦心小剧院、文化展览交流、教育和培训基地 ，它不仅是普洱主城区规模较大、业态较全的体验式商业综合体，也是旅游文化休闲中心，还是文创产业孵化中心。
目前，阳光悦城已入驻并经营企业商户共700家，其中有代表性文化企业70余家，租赁面积超20000㎡，入驻企业业态涉及美术、舞蹈、音乐辅导服务、文化艺术培训、文艺创作与表演、文化创意与设计服务、工艺美术品的生产销售、文化经纪代理服务、会展服务、电影和影视制作服务等，已形成良好的文化艺术氛围，具有重要的“文化+”引领示范作用。
在基地中，孵化区、公共区、功能区等三大区域分工明确，其中，孵化区将为60户以上创业团队提供孵化服务,公共区是集图书、咖啡、讲座、展览、创意、教育、茶道、花道、香道等新形态商业为一体的综合性文化艺术空间，并设置有公共会议室、商务洽谈室、产品展厅、基地展厅、公共培训教室、青年之家等，满足孵化团队的各类商务洽谈培训需求，功能区则是分布于阳光悦城各区域。
融合民风民情 打造智能商圈
七坊街——一条全长588米集民族民俗民趣为一体的纯景观步行街，主要为孵化毕业大学生或符合基地加入标准条件的商户提供创业扶持政策。如今这个销售绝版木刻、油画、泥塑、银饰、民族服饰饰品、文玩玉石、民族手工艺品等的民俗商业街区正致力于打造智能化商圈平台，向科技要效益，将互联网+的理念融入整个项目的建设以及运营管理之中，通过搭建一系列智能运行平台，逐步实现智能商圈的理念，致力于将民族产品转化为商品，借助电商平台、直播平台将产品外销，也让民族文化以商品为载体传播到全国、全世界。
城市展厅——彰显城市文化
拥有文化气息及文旅风格的悦心文化空间地处思茅中心城区，位于阳光悦城1号门，紧邻五一路延长线梦茶道，项目总建筑面积约4600㎡，共分三层。建筑外立面为简约文化馆的形式，建筑内部提炼了普洱文化元素为装修风格，拥有着较为成熟的商业业态配置，餐饮、住宿、购物等都能为游客提供高品质的服务。
悦心文化空间，一楼设有城市展厅，可展出面积约700㎡，是集美术、摄影、传统手工艺品、传统乐器展、非遗互动体验、制茶互动体验等于一体的全方位感官体验展示中心。通过组织举办各种展览，同时专门设定本地民族特色展区，可以让更多的文化产品得到展示，也可以让更多的非遗传承人有显示自己的场所，让非遗文化得到展示、发扬光大的同时，以活动带来人流，吸引更多的游客和投资者，以人流带来销售，实现经济效益的转换。
云上乡愁书院——打破时空限制
在悦心文化空间，云上乡愁书院经营着1700多种品类的书籍，凭借独特创意——创新的建筑格局、形式多样的阅读空间，仅半年多时间就已经成为普洱文创品牌的新地标。真正打破此间与彼间时空限制的，永远是人心的交叠和相拥。而在普洱这座充满茶香的城市，书籍让这份关系得以永久存续。
品一杯清茶，读几页好书，让读书不再只是局限于传统，全方位满足读者阅读需求。置身书店，文创与饮食产品可谓“藏龙卧虎”：非遗文化明珠马家银与镇沅黑陶、“普洱文化符号”绝版木刻、香气馥郁的优质云南小粒咖啡、诞于高山云雾间的名家普洱茶、细工慢作的民族手艺小物等“明星”俱网罗其中，种种物件再现普洱本土农耕文明和地域文化。就连装饰所用的布挂、写满读者寄语的木牌、桌前的仿古台灯，亦均为人工缝制磨就，匠心独具。被如斯环境包围，置身其中，很难不生出一种被历史和文脉纠集的使命感。
外在的吸引力固然重要，内在的沉淀更不容忽视。云上乡愁书院在秉承“请进来，走出去，留得住，能消费”经营理念的情况下，在客户深度体验上狠下功夫。在找书订书方面，书院可按需同城异店调书、异地调书，根据读者指定要求，锁定作者、出版社甚至图书编辑，联动云南新华书店集团B2B2C电子商务发行平台，参与“一本也包邮”计划。在细微之处，书院也不遗余力提供便民服务，免费饮水、爱心环保袋、便民医药箱、雨伞出借、图书寄存……自行取用。此外，书院还构建了一条本土化高端VIP客户生态链——年费会员，为会员全年供应“每日一壶茶”，新书7折钜惠，会员生日、朋友小聚专场预留，开辟会员专区，专享代办作家签名、保管、送达等更精细的服务。
书院开展的“365朗读计划”更是将关怀、分享和实践全民阅读推广到了极致。每晚八点至八点半，朗读者亲身参与到阅读活动中来，朗读一段自选书籍中的文字，即可以6折的极低价格购买图书。自书院试营业半年多来，“365朗读计划”招徕参与者无数。在这样一场小型朗读会里，读者们互惠智慧成果，分享动情感悟，于交流中阐幽发微，正是“明月装饰了你的窗子，你装饰了别人的梦”的最佳写照。
营造文化氛围 助力消费升级
毗邻成熟商圈，园区于闹中取静，汇集书品、文创、饮食、智识产品于一体，创建集朗读、大家读书会、文化沙龙、讲座、展览、教育、茶道、香道、花道、红酒品鉴、商务洽谈、产品发布等新形态文化集市，自成一片文化热土。
悦心文化空间引领阳光悦城教育培训行业，与项目内大部分教育培训机构达成战略合作，为顾客提供全年龄、全课系的培训体系。目前，悦已经入驻悦心文化空间的英启国际教育、后起教育、筑梦AI未来教室、0728艺术体验中心、星空绘本馆等教育机构在行业内都具有一定影响力，园区通过聚集众多传统、民俗、现代文化企业，给市民提供多元化、全方位、高质量教育培训，使得消费者满足自身培训需求的同时也可以感受到多种文化氛围。
打造特色剧目 传播普洱文化
剧院承载着一个地方的文化传播，也是当地的一道人文景观，更是精神文明建设的需要，正在建设的悦心小剧场的出现，弥补了市中心小型剧院的空白。
悦心小剧场已与国内知名导演毛磊达成了战略合作，建成后将定期在悦心小剧场进行演出，并把普洱的民族文化、生态文化等这些特色融入到具有教育意义的舞台剧目当中进行演出，通过合作，形成品牌效应，做活普洱舞台剧。
对内，悦心小剧场剧目的小演员将在普洱市启动全市海选，这样在带动普洱市艺术培训行业的同时也可以找到普洱市的未来之星，通过与艺术教育行业的合作与推广，可以有效拓展观众、增加行业活力从而达到带动行业进步，同时也可以让市民在文化传播中汲取力量，满足精神生活需求。对外，通过把具有普洱特色的歌舞剧传播到全国各地，进行文化输出，打响普洱知名度，进而提升普洱文化旅游档次和内涵。
近两年的时间，阳光悦城正逐步实现文化产品向文化商品的转化，以商业模式支撑文化产业，以文化产业带动文化的传承传播，也为更多的文化创业团队提供了孵化服务。阳光悦城项目负责人也表示，未来将加速悦心小剧场建设，丰富文化展出，继续开拓普洱文旅项目的更大价值，对文化旅游产品进行升华包装，提升普洱的文化内涵和对外宣传的形象。
谈及普洱阳光悦城文化产业园区未来的规划，普洱悦城商业运营管理有限公司副总经理 朱楠表示，除了将普洱少数民族文化故事制作成一个文化剧目在悦心文化空间小剧场演出，还会继续以创业园孵化基地的模式，做文化艺术产品的创造和商品的转换。同时，通过艺术展览让市民更加熟知本土文化，进而带动园区发展。“文化产品会以商业的模式有一个支撑，让文化产品、文化产业有更好的发展。”
云南网记者 顾帧
给摩尔定律续命，EUV光刻暂难当大任
2019-12-17 17:54:16 来源: 科技日报 作者: 张蕴
近年来，在半导体行业，极紫外光刻（Extreme Ultra-Violet，以下简称EUV光刻）成为备受众多企业关注的光刻技术之一。
前段时间，台湾积体电路制造股份有限公司宣布，已采用7纳米EUV工艺。今年，三星公司正式发布了7纳米EUV芯片Exynos 9825，该公司称此芯片将晶体管性能提高了20%至30%，将功耗降低了30%至50%。
之所以备受关注，一个重要的原因是，有传闻称，EUV光刻有望成为摩尔定律的“救星”。
半个多世纪以来，半导体行业按照摩尔定律不断发展，由此驱动了一系列的科技创新。随着芯片尺寸越来越逼近物理极限，摩尔定律在未来是否依旧奏效，成为现在全行业都在关注的问题。
那么，这项技术能否为摩尔定律“续命”？它又是否已经到了最好的应用节点？针对上述问题，科技日报记者采访了业内专家。
将电路图和电子元件“刻”到“底片”上
在认识EUV光刻前，让我们先来认识一下光刻技术。
“其实，光刻技术跟照相技术差不多，照相是将镜头里的图画‘印’到底片上，而光刻是将电路图和电子元件‘刻’到‘底片’上。”北京理工大学材料学院副研究员常帅在接受科技日报记者采访时介绍道，在光刻工艺中，通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”，电路图案经光刻机，缩微投射到“底片”上。制造芯片，要重复几十遍这个过程。
“光刻技术的主要作用，就是把芯片上的线路与功能区做出来。”曾在半导体行业工作多年的北京理工大学材料学院博士生孟令海对科技日报记者表示，利用光刻机发出的光，通过带有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶见光后会发生化学反应，从而使光罩上的图形印到薄片上，线路和功能区随之显现。
常帅表示，在芯片加工过程中，光刻是其中一个重要的步骤，其甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤，决定着制造工艺的先进程度。
摩尔定律指出，芯片上可容纳的元器件数目每隔18个月翻1倍，同时芯片性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一半。
“光刻技术的‘雕刻’精细度，直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而，光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术，如果没有光刻技术的进步，芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。”常帅说。
孟令海向记者说，随着芯片制造工艺由微米级向纳米级发展，光刻机所采用的光波波长也从近紫外（NUV）区间的436纳米、365纳米，进入深紫外（DUV）区间的248纳米、193纳米。
EUV光源波长为主流光源的1/14
EUV光刻所用的光波，是波长为13.5纳米的极紫外光。相比当前主流光刻机所采用的193纳米光源，EUV光源的波长约为前者的1/14，这使其能在硅片上“刻”出更细的痕迹。
“业内形容EUV光刻的精细程度，常打的一个比方是，好比从地球上射出的一缕手电筒光，其能精准地照到月球上的一枚硬币。”孟令海说。
为满足摩尔定律的要求，技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术，来缩小线宽并增大芯片的容量。“线宽是指芯片上最小导线的宽度，是衡量芯片制作工艺先进性的重要指标之一。”常帅说。
“如今，芯片制造商大多使用波长为193纳米的光刻技术，用其在‘底片’上‘描绘’出精细的图案。但实际上，193纳米光刻目前已经达到了技术极限，只能支持80纳米的线宽工艺，无法在芯片上实现更小线宽。”常帅说，由于光源更细，EUV光刻技术可以满足22纳米及更小线宽的集成电路生产要求。
“可以说，EUV是目前距离实际生产最近的一种深亚微米光刻技术。如果采用该光刻技术，可在芯片上实现10纳米以内的线宽。”孟令海说。
摩尔定律不只对性能提出要求，另一个要求是成本的降低。所以，“救星”还必须承担起省钱的重任。EUV光刻技术恰好能符合这个要求。
常帅介绍道，光刻机在工作过程中，要频繁地进行曝光。简单来说，就是用光线照射硅片，让未受掩模遮挡部分的光刻胶发生化学反应，这样才能将石英掩模上的电路图显影到硅片上，以便后续进行刻蚀、去胶等一系列工序。
“目前，主流制造商生产1枚芯片，可能需要进行4次，甚至更多次的曝光。若采用EUV光刻技术，只需1次曝光就够了，这样就可大幅降低生产制造成本。”孟令海说，换句话说，EUV光刻技术不仅提升了刻录的精细程度，也能让芯片的价格更便宜，符合摩尔定律对成本的要求。
不仅如此，EUV光刻技术之所以受到各大集成电路生产厂商的关注，还因为该光刻技术是传统光刻技术的拓展，能使现有生产工艺得以延续。
让摩尔定律至少再延续10年
既然EUV光刻技术好处多多，这么看来，为摩尔定律“续命”的重任，可以放心交给它了。
然而，事实并非如此。
常帅和孟令海介绍，目前来看，EUV光刻技术进展比较缓慢。同时，极紫外光刻光学系统的设计和制造也极其复杂，尚存在许多未被解决的技术难题。
据孟令海分析，EUV光刻技术目前主要面临三大挑战。
“首先是光源效率，即每小时能‘刻’多少片，按照量产工艺要求，光刻效率要达到每小时250片，而现在EUV光刻效率尚难达到这一要求，因此还需进一步提高，但实现难度相当大。其次是光刻胶，EUV光刻机和普通光刻机的技术原理不同，普通光刻机采用投影进行光刻，而EUV光刻机则是利用反射光，需要借助反光镜，这使得光子和光刻胶的化学反应变得不可控，有时会出现差错。最后是光刻机保护层的透光材料，要提高光刻机的刻录精度，就需要在其上面增加一个保护层，但现有保护层材料质量欠佳、透光性比较差。”孟令海说。
此外，据常帅分析，EUV光刻工艺的良品率也是阻碍EUV光刻发展的“绊脚石”。目前，采用一般光刻机生产的芯片，其良品率约为95%，而EUV光刻机的良品率仅为70%至80%。
“要想解决这些问题，关键是要提升市场订单数量，只有订单多了，厂商用得多了，才能吸引更多光源、材料等上下游企业共同参与研发，进而完善EUV光刻产业链。”常帅说。
即使在技术上达到要求，收益缺乏足够的吸引力，也很难让制造企业产生应用新技术的动力。目前看来，采用EUV光刻技术的生产成本十分高昂。
资料显示，最新的EUV光刻机价格或超过1亿欧元，是常规193纳米光刻机价格的2倍多。此外，由于功率极高，EUV光刻设备在生产时消耗的电量也远超现有同类机器。
那么，目前来看，EUV光刻技术能为摩尔定律的延续，起到哪些作用呢？
孟令海表示，在光刻线条宽度为5纳米及以下生产工艺中，EUV光刻技术具有不可替代性，在未来较长一段时间内，EUV光刻技术都可能成为延续摩尔定律发展的重要力量。“因此，如果解决了工艺技术和制造成本等难题，EUV光刻设备将是7纳米以下工艺的最佳选择，它可让摩尔定律至少再延续10年时间。”孟令海说。
2019-12-17 17:54:16 来源: 科技日报 作者: 张蕴
近年来，在半导体行业，极紫外光刻（Extreme Ultra-Violet，以下简称EUV光刻）成为备受众多企业关注的光刻技术之一。
前段时间，台湾积体电路制造股份有限公司宣布，已采用7纳米EUV工艺。今年，三星公司正式发布了7纳米EUV芯片Exynos 9825，该公司称此芯片将晶体管性能提高了20%至30%，将功耗降低了30%至50%。
之所以备受关注，一个重要的原因是，有传闻称，EUV光刻有望成为摩尔定律的“救星”。
半个多世纪以来，半导体行业按照摩尔定律不断发展，由此驱动了一系列的科技创新。随着芯片尺寸越来越逼近物理极限，摩尔定律在未来是否依旧奏效，成为现在全行业都在关注的问题。
那么，这项技术能否为摩尔定律“续命”？它又是否已经到了最好的应用节点？针对上述问题，科技日报记者采访了业内专家。
将电路图和电子元件“刻”到“底片”上
在认识EUV光刻前，让我们先来认识一下光刻技术。
“其实，光刻技术跟照相技术差不多，照相是将镜头里的图画‘印’到底片上，而光刻是将电路图和电子元件‘刻’到‘底片’上。”北京理工大学材料学院副研究员常帅在接受科技日报记者采访时介绍道，在光刻工艺中，通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”，电路图案经光刻机，缩微投射到“底片”上。制造芯片，要重复几十遍这个过程。
“光刻技术的主要作用，就是把芯片上的线路与功能区做出来。”曾在半导体行业工作多年的北京理工大学材料学院博士生孟令海对科技日报记者表示，利用光刻机发出的光，通过带有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶见光后会发生化学反应，从而使光罩上的图形印到薄片上，线路和功能区随之显现。
常帅表示，在芯片加工过程中，光刻是其中一个重要的步骤，其甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤，决定着制造工艺的先进程度。
摩尔定律指出，芯片上可容纳的元器件数目每隔18个月翻1倍，同时芯片性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一半。
“光刻技术的‘雕刻’精细度，直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而，光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术，如果没有光刻技术的进步，芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。”常帅说。
孟令海向记者说，随着芯片制造工艺由微米级向纳米级发展，光刻机所采用的光波波长也从近紫外（NUV）区间的436纳米、365纳米，进入深紫外（DUV）区间的248纳米、193纳米。
EUV光源波长为主流光源的1/14
EUV光刻所用的光波，是波长为13.5纳米的极紫外光。相比当前主流光刻机所采用的193纳米光源，EUV光源的波长约为前者的1/14，这使其能在硅片上“刻”出更细的痕迹。
“业内形容EUV光刻的精细程度，常打的一个比方是，好比从地球上射出的一缕手电筒光，其能精准地照到月球上的一枚硬币。”孟令海说。
为满足摩尔定律的要求，技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术，来缩小线宽并增大芯片的容量。“线宽是指芯片上最小导线的宽度，是衡量芯片制作工艺先进性的重要指标之一。”常帅说。
“如今，芯片制造商大多使用波长为193纳米的光刻技术，用其在‘底片’上‘描绘’出精细的图案。但实际上，193纳米光刻目前已经达到了技术极限，只能支持80纳米的线宽工艺，无法在芯片上实现更小线宽。”常帅说，由于光源更细，EUV光刻技术可以满足22纳米及更小线宽的集成电路生产要求。
“可以说，EUV是目前距离实际生产最近的一种深亚微米光刻技术。如果采用该光刻技术，可在芯片上实现10纳米以内的线宽。”孟令海说。
摩尔定律不只对性能提出要求，另一个要求是成本的降低。所以，“救星”还必须承担起省钱的重任。EUV光刻技术恰好能符合这个要求。
常帅介绍道，光刻机在工作过程中，要频繁地进行曝光。简单来说，就是用光线照射硅片，让未受掩模遮挡部分的光刻胶发生化学反应，这样才能将石英掩模上的电路图显影到硅片上，以便后续进行刻蚀、去胶等一系列工序。
“目前，主流制造商生产1枚芯片，可能需要进行4次，甚至更多次的曝光。若采用EUV光刻技术，只需1次曝光就够了，这样就可大幅降低生产制造成本。”孟令海说，换句话说，EUV光刻技术不仅提升了刻录的精细程度，也能让芯片的价格更便宜，符合摩尔定律对成本的要求。
不仅如此，EUV光刻技术之所以受到各大集成电路生产厂商的关注，还因为该光刻技术是传统光刻技术的拓展，能使现有生产工艺得以延续。
让摩尔定律至少再延续10年
既然EUV光刻技术好处多多，这么看来，为摩尔定律“续命”的重任，可以放心交给它了。
然而，事实并非如此。
常帅和孟令海介绍，目前来看，EUV光刻技术进展比较缓慢。同时，极紫外光刻光学系统的设计和制造也极其复杂，尚存在许多未被解决的技术难题。
据孟令海分析，EUV光刻技术目前主要面临三大挑战。
“首先是光源效率，即每小时能‘刻’多少片，按照量产工艺要求，光刻效率要达到每小时250片，而现在EUV光刻效率尚难达到这一要求，因此还需进一步提高，但实现难度相当大。其次是光刻胶，EUV光刻机和普通光刻机的技术原理不同，普通光刻机采用投影进行光刻，而EUV光刻机则是利用反射光，需要借助反光镜，这使得光子和光刻胶的化学反应变得不可控，有时会出现差错。最后是光刻机保护层的透光材料，要提高光刻机的刻录精度，就需要在其上面增加一个保护层，但现有保护层材料质量欠佳、透光性比较差。”孟令海说。
此外，据常帅分析，EUV光刻工艺的良品率也是阻碍EUV光刻发展的“绊脚石”。目前，采用一般光刻机生产的芯片，其良品率约为95%，而EUV光刻机的良品率仅为70%至80%。
“要想解决这些问题，关键是要提升市场订单数量，只有订单多了，厂商用得多了，才能吸引更多光源、材料等上下游企业共同参与研发，进而完善EUV光刻产业链。”常帅说。
即使在技术上达到要求，收益缺乏足够的吸引力，也很难让制造企业产生应用新技术的动力。目前看来，采用EUV光刻技术的生产成本十分高昂。
资料显示，最新的EUV光刻机价格或超过1亿欧元，是常规193纳米光刻机价格的2倍多。此外，由于功率极高，EUV光刻设备在生产时消耗的电量也远超现有同类机器。
那么，目前来看，EUV光刻技术能为摩尔定律的延续，起到哪些作用呢？
孟令海表示，在光刻线条宽度为5纳米及以下生产工艺中，EUV光刻技术具有不可替代性，在未来较长一段时间内，EUV光刻技术都可能成为延续摩尔定律发展的重要力量。“因此，如果解决了工艺技术和制造成本等难题，EUV光刻设备将是7纳米以下工艺的最佳选择，它可让摩尔定律至少再延续10年时间。”孟令海说。
全国首发高新区高质量发展指数，意义何在？
2019-10-29 09:22:34 来源: 科技日报 作者: 王延斌
在10月下旬召开的2019第三届中国生物医药园区产业创新发展大会上，由济南高新区管委会、中国科学院科技战略咨询研究院中国高新区研究中心联合发布的一项成果“意外”抢镜。《济南高新区高质量发展指数（2019》（下称“指数”）的对外发布，创造了几项“新记录”：它不但是济南高新区建区30年历史上的“首次”，更是全国168个国家级高新区中的“首次”。这个双重叠加的“首次”，其标志性意义在于在国内各地争创世界一流高科技园区的热潮下，该指数探索性地揭示出国家高新区在实现高质量发展上的核心内涵和重要着力点，对于引导济南高新区向世界一流高科技园区冲刺，加快实现新的跨越提供了“风向标”和“晴雨表”。
如果用一个词来形容济南高新区近几年的发展，“突破”无疑是最贴切的。以去年为例。该区极具历史突破意义的大事接二连三。比如在168家国家级高新区最新排名中，济南高新区位列第11名，两年升八位，创历史新高。这一事实反映出该区的发展速度；依托电子信息、生物医药、高端装备制造和现代服务业四大主导产业，济南高新区不仅培育了浪潮集团、中国重汽等龙头企业,在百亿亿次超级计算机、量子通信测量技术等领域处于世界领先水平；全区GDP更是有史以来第一次成功突破1000亿元,增长10%以上。
而“指数”测算结果也显示出这些变化。该指数显示，2016年至2018年，济南高新区高质量发展指数整体呈持续增长的趋势。以2016年标定100的指数为基期，2017年综合指数为104.1，较2016年增加4.1点；2018年综合指数为111.1，比2017年增加7.0点。37个定量指标中，26个持续上升，3个先降后升，5个相对平稳，3个先升后降，这说明济南高新区“生态赋能”战略的成功。
济南高新区为何要制定高质量发展指数？该指数反映出其哪些优势和短板？它对国家级高新区有何借鉴意义？就此问题，科技日报专访了济南市委常委、济南高新区党工委书记、管委会主任王宏志。
科技日报：请您简单介绍一下“济南高新区高质量发展指数”制定的背景及意义？
王宏志：很高兴接受您的采访。“济南高新区高质量发展指数”是根据科技部对国家高新区的发展导向，以“创新经济体”所表达的创新生态理念为基本理论依据，由济南高新区和中科院科技战略咨询研究院中国高新区研究中心共同研究编制，反映高新区高质量发展动态和成效的评价指标体系。该指数涵盖“高活力双创生态”“高能级特色产业”“高水平开放协同”“高品质城区环境”“高效率治理体系”五个一级指标、14个观察维度和37个细分指标。
具体来说，总指数呈现整体趋势变化，直观反映济南高新区高质量发展的最新表现；分项指数从5大方面揭示济南高新区为实现高质量发展的投入和成效；单项指标全方面、多角度体现济南高新区的发展动态，对于揭示国家高新区实现高质量发展的核心内涵和重要着力点具有很强的探索意义。
科技日报：我大体翻了一下这个报告，里面亮点不少。您如何评价“济南高新区高质量发展指数2019”的总体表现？
王宏志：济南高新区自2016年全面启动体制机制改革，因此“济南高新区高质量发展指数”将2016年标定为100作为基期进行测算。结果与济南高新区近年来的发展表现是高度契合的。测算显示，2016年至2018年，济南高新区高质量发展指数整体呈持续增长的趋势。这些都直观反映出我们在增强创新创业活力、推动产业转型升级、参与国际竞争、建设现代城区、提高治理效率等方面成效显著。
从5个分指数来看，2018年高活力双创生态分指数表现最好，其次为高能级特色产业分指数，高品质城区环境分指数位居第三，之后是高水平开放协同和高效率治理体系。从增长幅度看，2018年高能级特色产业分指数增幅最大，表明济南高新区在培育新经济、促进新旧动能转换，以及壮大产业规模、提升发展效率等方面推进较快；高活力双创生态分指数增幅较大，表明在集聚双创要素、建设双创平台、优化创新创业生态等方面成效显著；高水平对外开放分指数和高品质城区环境分指数小幅增长，表明在集聚和配置全球资源、开展国际竞争合作、打造宜居宜业环境方面表现较好；高效率治理体系指数变化不明显，但仍然是向好的态势，说明济南高新区在提升服务效能、优化营商环境方面需继续加大力度，进一步释放政策红利。
科技日报：从指数报告来看，济南高新区在实现高质量发展上有哪些特点，对国家高新区建设世界一流高科技园区有何借鉴意义？
王宏志：济南高新区在实现高质量发展上主要体现在5个方面：一看投入，看平台。济南高新区R&D经费支出占GDP比重连续三年持续上升，2018年达8.98%；打造了全国第一家人力资本产业园，人力资本服务产业“破茧成蝶”；同时，新型研发机构快速增加，山东工研院、量子技术研究院等一批新型创新平台入驻。
二看效益好，看后劲。从地均产出看，亩均增加值连续三年实现上升，2018年达到33.53万元/亩。本土创新型龙头企业快速壮大，2018年新增浪潮集团和中国重汽2家千亿级企业，形成了大企业引领带动、中小企业快速成长的发展格局。知识密集型产业营业收入占比提高，量子科技、无人驾驶、工业机器人、干细胞、植物基因编辑等未来产业营业收入不断增加，2018年达55.79亿元。三看研发强，看合作。济南高新区已成为济南创新发展标杆，比如从产业发展看，高新技术产业产值占济南市的比例达三分之一左右；从对外贸易看，对济南自贸片区的贡献度达百分之八十左右。整合全球资源方面，我们对海外人才、资本、机构的吸引力持续提升，尤其是外资研发机构增加较快，2017年为17家，2018年增加至26家。
四看技术，看配套。从产业互联方面看，园区企业上云上平台速度不断加快，2018年上云企业增加至1700家，较2016年增长近2倍；从智慧政务服务看，在线政务服务用户规模持续上升。五看服务，看保障。我们打造便捷政务服务，推行“一包一”服务，覆盖企业440家，解决企业实际问题。全力支持创新创业，每年兑付的创新创业资金持续提高，较2017年提高41%。
这些探索和实践，可以与同行们分享。
科技日报：迈向世界一流高科技园区，济南高新区还要向哪些方面发力？
王宏志：基于“指数”的指标体系和测算结果，济南高新区还存在战略性、高水平创新平台不足，高端创新人才较为缺乏；产业整体创新水平有待提升，企业盈利能力相对较低；对外合作有待深化等问题，我们将从强化创新创业，建设多样化创新平台，壮大新兴产业、壮大现代化数字经济，拓展对外合作、全面深化改革等多方面精准发力。
2019-10-29 09:22:34 来源: 科技日报 作者: 王延斌
在10月下旬召开的2019第三届中国生物医药园区产业创新发展大会上，由济南高新区管委会、中国科学院科技战略咨询研究院中国高新区研究中心联合发布的一项成果“意外”抢镜。《济南高新区高质量发展指数（2019》（下称“指数”）的对外发布，创造了几项“新记录”：它不但是济南高新区建区30年历史上的“首次”，更是全国168个国家级高新区中的“首次”。这个双重叠加的“首次”，其标志性意义在于在国内各地争创世界一流高科技园区的热潮下，该指数探索性地揭示出国家高新区在实现高质量发展上的核心内涵和重要着力点，对于引导济南高新区向世界一流高科技园区冲刺，加快实现新的跨越提供了“风向标”和“晴雨表”。
如果用一个词来形容济南高新区近几年的发展，“突破”无疑是最贴切的。以去年为例。该区极具历史突破意义的大事接二连三。比如在168家国家级高新区最新排名中，济南高新区位列第11名，两年升八位，创历史新高。这一事实反映出该区的发展速度；依托电子信息、生物医药、高端装备制造和现代服务业四大主导产业，济南高新区不仅培育了浪潮集团、中国重汽等龙头企业,在百亿亿次超级计算机、量子通信测量技术等领域处于世界领先水平；全区GDP更是有史以来第一次成功突破1000亿元,增长10%以上。
而“指数”测算结果也显示出这些变化。该指数显示，2016年至2018年，济南高新区高质量发展指数整体呈持续增长的趋势。以2016年标定100的指数为基期，2017年综合指数为104.1，较2016年增加4.1点；2018年综合指数为111.1，比2017年增加7.0点。37个定量指标中，26个持续上升，3个先降后升，5个相对平稳，3个先升后降，这说明济南高新区“生态赋能”战略的成功。
济南高新区为何要制定高质量发展指数？该指数反映出其哪些优势和短板？它对国家级高新区有何借鉴意义？就此问题，科技日报专访了济南市委常委、济南高新区党工委书记、管委会主任王宏志。
科技日报：请您简单介绍一下“济南高新区高质量发展指数”制定的背景及意义？
王宏志：很高兴接受您的采访。“济南高新区高质量发展指数”是根据科技部对国家高新区的发展导向，以“创新经济体”所表达的创新生态理念为基本理论依据，由济南高新区和中科院科技战略咨询研究院中国高新区研究中心共同研究编制，反映高新区高质量发展动态和成效的评价指标体系。该指数涵盖“高活力双创生态”“高能级特色产业”“高水平开放协同”“高品质城区环境”“高效率治理体系”五个一级指标、14个观察维度和37个细分指标。
具体来说，总指数呈现整体趋势变化，直观反映济南高新区高质量发展的最新表现；分项指数从5大方面揭示济南高新区为实现高质量发展的投入和成效；单项指标全方面、多角度体现济南高新区的发展动态，对于揭示国家高新区实现高质量发展的核心内涵和重要着力点具有很强的探索意义。
科技日报：我大体翻了一下这个报告，里面亮点不少。您如何评价“济南高新区高质量发展指数2019”的总体表现？
王宏志：济南高新区自2016年全面启动体制机制改革，因此“济南高新区高质量发展指数”将2016年标定为100作为基期进行测算。结果与济南高新区近年来的发展表现是高度契合的。测算显示，2016年至2018年，济南高新区高质量发展指数整体呈持续增长的趋势。这些都直观反映出我们在增强创新创业活力、推动产业转型升级、参与国际竞争、建设现代城区、提高治理效率等方面成效显著。
从5个分指数来看，2018年高活力双创生态分指数表现最好，其次为高能级特色产业分指数，高品质城区环境分指数位居第三，之后是高水平开放协同和高效率治理体系。从增长幅度看，2018年高能级特色产业分指数增幅最大，表明济南高新区在培育新经济、促进新旧动能转换，以及壮大产业规模、提升发展效率等方面推进较快；高活力双创生态分指数增幅较大，表明在集聚双创要素、建设双创平台、优化创新创业生态等方面成效显著；高水平对外开放分指数和高品质城区环境分指数小幅增长，表明在集聚和配置全球资源、开展国际竞争合作、打造宜居宜业环境方面表现较好；高效率治理体系指数变化不明显，但仍然是向好的态势，说明济南高新区在提升服务效能、优化营商环境方面需继续加大力度，进一步释放政策红利。
科技日报：从指数报告来看，济南高新区在实现高质量发展上有哪些特点，对国家高新区建设世界一流高科技园区有何借鉴意义？
王宏志：济南高新区在实现高质量发展上主要体现在5个方面：一看投入，看平台。济南高新区R&D经费支出占GDP比重连续三年持续上升，2018年达8.98%；打造了全国第一家人力资本产业园，人力资本服务产业“破茧成蝶”；同时，新型研发机构快速增加，山东工研院、量子技术研究院等一批新型创新平台入驻。
二看效益好，看后劲。从地均产出看，亩均增加值连续三年实现上升，2018年达到33.53万元/亩。本土创新型龙头企业快速壮大，2018年新增浪潮集团和中国重汽2家千亿级企业，形成了大企业引领带动、中小企业快速成长的发展格局。知识密集型产业营业收入占比提高，量子科技、无人驾驶、工业机器人、干细胞、植物基因编辑等未来产业营业收入不断增加，2018年达55.79亿元。三看研发强，看合作。济南高新区已成为济南创新发展标杆，比如从产业发展看，高新技术产业产值占济南市的比例达三分之一左右；从对外贸易看，对济南自贸片区的贡献度达百分之八十左右。整合全球资源方面，我们对海外人才、资本、机构的吸引力持续提升，尤其是外资研发机构增加较快，2017年为17家，2018年增加至26家。
四看技术，看配套。从产业互联方面看，园区企业上云上平台速度不断加快，2018年上云企业增加至1700家，较2016年增长近2倍；从智慧政务服务看，在线政务服务用户规模持续上升。五看服务，看保障。我们打造便捷政务服务，推行“一包一”服务，覆盖企业440家，解决企业实际问题。全力支持创新创业，每年兑付的创新创业资金持续提高，较2017年提高41%。
这些探索和实践，可以与同行们分享。
科技日报：迈向世界一流高科技园区，济南高新区还要向哪些方面发力？
王宏志：基于“指数”的指标体系和测算结果，济南高新区还存在战略性、高水平创新平台不足，高端创新人才较为缺乏；产业整体创新水平有待提升，企业盈利能力相对较低；对外合作有待深化等问题，我们将从强化创新创业，建设多样化创新平台，壮大新兴产业、壮大现代化数字经济，拓展对外合作、全面深化改革等多方面精准发力。
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