中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究(第一部分)
本文来自《信息通信技术与政策》杂志,是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊,两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。

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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况,进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力,但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……

0 前言

微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器,对比于传统式传感器元器件,MEMS传感器凭着品质轻,体型小,敏感度高,稳定性强,便于融合等优质特点,变成 促进传感器持续向小型化,智能化系统发展趋势的首要驱动力,与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系,也是超过克分子时期的主要发展前景之一。

1 MEMS传感器产业发展规划整体状况

当今,全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段,技术性更新迭代持续加速,产业链市场竞争日益猛烈。2018年,全世界传感器市场容量做到2059 亿美金,年平均增长率超出12%,在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%,变成仅次图象传感器(CIS)的第二大传感器类别。

全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心,在其中美国,法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上,而在高档MEMS传感器领域,美国和法国的优点则更加显著。

美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平,特别是在在MEMS过滤器领域,市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长,博通的竞争优势将获得进一步推进。

BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀,其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力,但总体看来尚不具有核心工作能力。

伴随着MEMS生产技术的逐步完善,新式MEMS传感器产品五花八门,产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。

现阶段,MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升,产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少,20世际60时代,传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年,而成本费减少時间一样必须 15年,而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年,成本费减少時间也进一步减少至5年之内,因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的,并发生了很大的市場机遇。

2 MEMS传感器运用现况

MEMS传感器类型极多,可使用于物理学,有机化学,微生物等领域数据信号的检测,比较常用的类型有瞬时速度传感器,惯性力传感器,工作压力传感器,MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段,MEMS传感器在消费电子产品,诊疗,汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大,各自占有41.8%,28.1%,16.7%和9.1%。

在消费电子产品领域,出自于对容积,功能损耗及其费用等要素的考虑到,以手机上,平板电脑,可配戴,AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的,关键分成速度感测组成传感器,自然环境传感组成传感器,电子光学传感组成传感器等。

在其中,速度感测组成传感器关键包含加快计,陀螺仪和惯性力精确测量模块;自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒,工作压力传感器等;电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器,贴近传感器,RGB色调传感器,激光测距传感器,电子光学微生物传感器等。

在诊疗领域,微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件,关键分成微生物菌种传感器,酶传感器,体细胞传感器,机构传感器,蛋白传感器,免疫力传感器6类。

除此之外,MEMS传感器还使用于脑电精确测量,心电图检查检测,CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域,将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化,MEMS技术性还将在外骨骼,心血管支架,眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。

在汽车电子产品领域,MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势,近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%,预估到2022年,市场容量将做到32 亿美金,销售量将超出20 亿颗。

汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器,工作压力传感器,陀螺仪,总流量传感器,溫度传感器,液位仪传感器,部位传感器,汽体浓度值传感器等,关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统,汽车安全气囊,胎压监测装置,进排汽管肯定压力检测等领域。

在工业电子领域,MEMS传感器高可靠性,高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定,与此同时针对極限溫度,环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定,MEMS传感器可根据封装类型,加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪,其使用寿命可以达到1000 h,耐冲击性达10 000 G,应用温度范围达-40℃~175℃ 。

3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息

当今,MEMS传感器早已使用于每个领域当中,在其中技术性迭代更新更快,运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。

MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器,包括了陀螺仪,加速度传感器和惯性力精确测量模块等,现阶段早已在智能机,可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。

当今,MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变,为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。

为完成多传感器中间的数据预处理,飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块,解决了结合外界感测器信息的难题。

博世公司运用系统封装(SiP)等技术性,将三轴12位加速度传感器,三轴地磁场传感器,三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合,进一步对增强现实技术,定位导航,本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。

为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航,现阶段现已有集成化了加速度传感器,陀螺仪,地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导,该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下,与系统软件校正技术性完全融合,完成了在无GPS数据信号状况下,3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。

MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一,一般运用于智能机,航天航空,车辆,生物技术及其加工工艺操纵等领域,依照工作压力检测方法能够分成压阻式,电容传感器,串联谐振感测器等,而最常见的是压阻式和电容传感器,因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。

为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧,持续提升微压传感器测量精度,一种新式的FBBM构造应时而生,该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块,根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统,并提升了压阻敏感度,做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。

为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求,一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出,在施压时,传感器膈膜产生偏移,传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改,完成了将轻度压力转换为信号的目地,该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中,达到了极端条件下压力传感的要求。

4 在我国MEMS传感器高新产业现况

近些年,中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发,制造到后面封装,检测的完善全产业链条[4],瑞声科技,歌尔股份,耐威科技,中芯,长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。

此外,近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准,这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚,销售市场数量较小,因而销售市场增长率较快;另一方面,近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头,加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移,促使MEMS要求持续释放出来,中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势,占全世界的市场占有率也不断地提升。

殊不知因为发展比较晚,在我国公司仍存有生产能力不够,关键技术缺乏等薄弱点。总而言之,当今中国仍需在关键技术科技攻关,全产业链配套设施水准提高等领域做工作中,从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。

4.1 设计方案

MEMS传感器设计方案是一项集基础知识,应用技术及其例如通讯,有机化学,微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中,包含覆盖面广,综合型强,因而相较于传统式传感器,MEMS传感器产品线开发设计难度系数大,时间长,且成本费一直持续上升。

整体而言,在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。

在制定实力层面,在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势,现阶段早已不断涌现歌尔股份,瑞声科技,敏芯高新科技等行业龙头,在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone,三星等国际性一流生产商的供应链管理,销售量位列全世界第二,且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。

但与霍尼韦尔,BOSCH等全球领头生产商对比,在我国公司仍存有产品线单一,总体经营规模偏小等难题,现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外,别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。

在基础研究层面,现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况,一般选用Coventorware,IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真,而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务(如IP库等),进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长,且以效仿海外完善产品为主导,欠缺助推行业市场的自主创新产品,不能满足日新月异的市场的需求。

4.2 制造

MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支,但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。

传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管,如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管,与之对比,MEMS传感器件集成化元器件数目少,单独元器件容积比较大,因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度,只是更为重视原料的构造机械设备特点,材料有机化学特点及其离子注入深度1,精密度,地应力操纵等每一步工艺的精确完成。

除此之外,因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造,因而相较于传统式的IC制造工艺,MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性,如形槽离子注入,放弃层释放出来技术性,LIGA工艺,引线键合技术性等。

中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导,伴随着近些年罕王高新科技,耐威科技等优秀生产线依次落地式,在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高,且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。

但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器,MEMS话筒,加速度传感器等为核心的中低端产品,制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著,例如压电材料(AlN,PZT等)等高档制造工艺线并未创建,没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器,压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。

虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性,表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性,但因为产品销售量都相对比较小,因而在批量生产合格率,稳定性和可靠性等领域存在的问题。

#购车攻略#15万左右落地哪款车比较省心?

在目前的汽车市场中,不管是轿车还是SUV,日系和美系向来都是强有力的竞争对手,旗下各自车型实力都非常强。15万左右不得不考虑的就是速腾和轩逸了,大众速腾可以说是紧凑型市场的常青树,凭借着A+级大空间以及大众品牌的加持,保有量遥遥领先;而日产轩逸也是唯一超过朗逸销量的日系车,各方面表现也是非常的均衡。对于这两款实力非常强的紧凑型轿车该怎么进行选择?接着看:

速腾算得上是越级的A级轿车,外观依旧是稳重简洁的大众风格,前脸六角形的进气格栅通过镀铬饰条拓宽车身的横向视觉效果,与大灯相连接的设计精致感更足。并且在一些细节设计上也展现出大众出色的制造工艺水平,发动机盖上四条干劲有力的线条勾勒让整个车头力量感更足,复杂的包围造型更显运动。

全新升级的第十四代轩逸摆脱了之前“憨厚”的形象,外观更是向老大哥天籁靠拢。前脸采用了家族最新的V-Motion 2.0设计语言,整体造型与新一代天籁十分相似,不愧是有小天籁的称呼。标志性的V字造型简洁而富有线条感,配合两侧狭长的大灯组以及经过黑色饰条装饰后的L型雾灯,营造出的运动感十分强烈。

速腾前大灯组造型十分富有新意,灯腔内部分布了两个矩形头灯,外围包裹了C字形的LED日间行车灯,点亮之后的效果非常不错。在光源配置方面,全新一代速腾L远近光也采用了时下流行的LED光源,科技感和视觉效果更好。

轩逸细长且锋利的大灯造型同样来自于天籁,该造型让车头增加了一股狠劲,轩逸全系标配LED大灯,这点比卡罗拉厚道。日间行车灯的造型也是日产标志性的回旋镖状,内部均为LED光源,总计有15颗LED组成。

速腾侧面姿态修长且优雅,较长的前后悬设计让整个侧面视觉效果更加舒展,尾部小溜背的设计配合硬朗的腰线活力十足,难怪不少人都说速腾看着就像是一台“小迈腾”,气场足以媲美中型车。

轩逸采用的是时尚悬浮式车顶加流体动感双腰线,具有家族豪华车设计风格,细节之处彰显豪华感。C柱设计很独特,侧面一看就不是普通车,像是二十几万的车,而溜背式的造型也是年轻消费者喜欢的运动造型。

车身尺寸方面,大众速腾长宽高分别为4753/1800/1462mm,轴距为2731mm;日产轩逸长宽高分别为4641/1815/1450mm,轴距为2712mm。由于速腾定位为A+级轿车,所以在车身长度以及轴距上面都领先轩逸一些,带来的好处就是更宽敞的后排空间,而轩逸在车身宽度方面略微占优。

大众速腾尾部造型同样强调大气稳重的视觉效果,鹰喙式的尾灯内部采用阵列式的结构点亮时营造出颇强的科技感,同时通过略微上翘的小鸭尾造型强化运动氛围。虽然速腾采用的是隐藏式排气设计,不过大众很巧妙的通过镀铬装饰件营造出双边排气的视觉效果,迎合用户的“面子”需求。

轩逸车尾设计比前脸显得收敛一些,整体以简洁为主,但经过熏黑处理的尾灯组以及底部融入黑色贯穿式饰条装饰的下包围,同样充满着运动气息。

速腾的内饰设计要比外观更出色,整个中控台偏向驾驶员,符合人体工程学设计,便于驾驶员操作中控台,利于安全行车。除此之外,速腾的中控台设计有两种配色,一种是纯黑色,另一种则是棕色+白色,就视觉感受而言,棕色+白色的内饰档次感和豪华感夕陽要更强。真皮多功能方向盘采用全新的三幅式平底设计,造型动感十足。并且他还集成了音量、语音、行车电脑、定速巡航、车速限制器等功能控制按键(R-Line车型配备换挡拨片),操作起来十分方便。

轩逸内饰则是向着精致化方向努力,T字造型的中控台看上去十分舒展,配合大面积软性材质包裹以及菱形格纹设计的座椅,呈现出不错的档次感。三辐式多功能方向盘、8英寸悬浮式中控屏以及圆形空调出风口,使内饰更具活力。

速腾提供了8个配置选择,从其多媒体配置的情况来看,除了顶配车型采用8英寸屏幕之外,其他价位车型多配备的是6.5英寸中控显示屏,并且仪表显示屏也多使用的是单色普通显示屏,而非顶配的10.3英寸全液晶仪表。手机互联除了入门级车型不具备之外,只要是有6.5英寸及以上屏幕的车型都可以连接CarPlay和CarLife。蓝牙当然是全系标配的功能,但语音控制只有顶配是标配,其他配置车型多数可以选装。

轩逸8英寸中控屏幕和新天籁一致,支持了触控操作和按键操作,带有定位导航、蓝牙、USB、AUX、车联网。分辨率还算可以,显示画面简约。屏幕下方的按键对应的是白天和黑夜模式、切歌、音频、主菜单、蓝牙电话、倒车影像、返回,左边的旋钮旋转是音量调节,按下就是开闭了,右边的旋钮是调频。不过仪表盘还是传统的指针样式稍显落后,好在清晰易读,仪表盘显示内容也比较丰富。

在功能配置表现上,速腾全系标配有主/副驾驶座安全气囊、前排侧气囊、胎压报警、安全带未系、儿童座椅接口、ABS防抱死、制动力分配、刹车辅助、牵引力控制、车身稳定夕阳控制等众多安全配置。而在其他功能方面,配备有后驻车雷达、自动驻车、铝合金轮圈、四向调节方向盘、织物座椅、后排座椅比例放倒、后排中央扶手、后排杯架、车载蓝牙、USB接口、LED远近光灯、LED日间行车灯、转向辅助灯、带照明灯的车内化妆镜等等,实用性表现不错。

同样安全配置方面,轩逸的最低配置仅配有两个安全气囊,主动刹车和车道偏离预警系统也只是出现在顶配和次顶配身上,不管是定速巡航还是全速域自适应巡航,轩逸更是全系都没有配备,其他配置上两款车都做到了同级别车型应该有的,所以从配置上和安全性看,速腾要好于轩逸。

速腾轴距达到了2731mm,这已经是一个准B级轿车的数据了。在实际的后排空间体验上,速腾的后排还是比较宽敞。以170mm身高中等身材的成年人为例,后排的腿部空间两拳有余,头部空间也没有问题,应该说这样的后排表现对于家用来说也是绰绰有余。
不过比较遗憾的是,速腾后排的中央隆起比较明显,同时前排中央扶手向后排的延伸有点过长,侵占了很多的后排中央空间,可以说坐在后排中央的乘客依然是非常难受。

速腾后备箱尺寸最小进深和最大进深为1070-1710mm,最小宽度为1035mm,高度为550mm,后备箱容积为510升,后排座椅可以按照4/6比例放倒,载物空间进一步提升速腾后备箱载物空间还是很大的,20、24、28寸旅行箱全部放进去还有剩余空间,居家旅行是完全够用了。

空间也是轩逸无需担心的问题,靠背倾斜角度较大,座椅材质柔软,整体具有较为强烈沙发感,相比卡罗拉会软和许多。仿溜背车顶设计,也未曾对驾驶者头部空间产生怎样挤占,中等身材的成年男性,可以在它身上获得三指以上的头部空间和两拳以上的腿部空间,不愧是有“小沙发”式座椅的称号。
1.83米的体验者进入全新轩逸车内,调整至合适的坐姿,头部空间还有四指的距离。保持前排座椅不变,来到后排乘坐,测试的后排头部空间仅有一拳距离了,这个表现对于紧凑型轿车来说属于优秀的范畴了。

轩逸后备箱尺寸为纵深985mm,宽为980mm,最大宽为1610mm,高度为610mm,容积为510L。轩逸后备箱空间比较平整,高度在同级车型中比较有优势,但是可惜的是后排的座椅不能放倒。轩逸的后备箱空间很大,可以放下三个大小不同的行李箱,日常使用完全足够。

动力方面,速腾搭载EA211系列的1.2T(200TSI)和1.4T(280TSI)发动机,其中最大功率分别为115PS和150PS,最大扭矩分别为175N·m/200N·m/250N·m,传动继续匹配5速手动或7速双离合变速箱。

轩逸搭载型号为HR16的1.6L全铝直列四缸自然吸气发动机(采用镜面熔射缸孔技术、TCV多级扰流控制技术、e-VTC电动连续可变气门正时控制技术及EGR废气再循环系统技术),额定功率为135马力(99千瓦),峰值扭矩为159牛·米。传动系统匹配CVT变速箱

综合来看,速腾和轩逸虽然都非常优秀,但是这两款车在紧凑级市场上定位是完全不同的,速腾优势在于整体表现更加均衡,不管是颜值、空间、动力,还是在配置和动态表现上,都非常的不错,更适合成为注重家用需求的用户选择;而日产轩逸最大的优点就是省心、省油、舒适,适合对动力要求不高,舒适省油的人进行选择!#汽车资讯##车生活#

武汉大学豪华新生宿舍:景观电梯房,地下三层车库
武汉大学是湖北省2大名校之一,又曾名“国立武汉大学”,该校也是国内实力比较强的重点大学,综合实力和学科实力在国内可排前10。
而近日,武汉大学信息学部17、18舍近日“开盘”,引得网友羡慕惊呼“这是什么神仙宿舍”!
地上高层景观电梯房,内置多个电梯,地下三层车库畅通无阻。
卧室采用上床下桌方案,原木暖白为主的室内装修,宿舍内家具也是全套的,配备可上锁式整体箱柜,集线排插,学生使用起来安全、便捷!
现代感的盥洗室是新宿舍的标配,盥洗室铺贴大理石瓷砖,全遮光棉麻窗帘,浴室也做到了干湿两用。
此外,还有专门的滚筒洗衣房、淋浴室,干净优雅,享受环绕式园林景观,楼顶还有专门晒被子的区域!
17、18舍将有1821名幸运新生和1800余名校外公寓回迁学生入住,报到即可拎包入住

网友纷纷表示羡慕:

在我上下床的宿舍忍住不哭出声音

与时俱进了。那些教学楼搞得高大上,学生宿舍内部还是90年代一样的大学,都应该看看

麻烦以后学校的硬件设施可以卷一卷,不要只让学生卷

国内学生生活条件设施真的要更新一下了,我敢说国内大部分学生宿舍就是按照满足最低生存需求,成本优先的原则来的。早就该把学生的基本需求当作一个人的正常需求来看了。


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