1)生长温度高。SiC 晶体需要在 2300°C 以上的高温环境中生长,且在生产中需要精确调控 生长温度,控制难度极大,Si 生长温度为 1600°C;
2)生长速度慢。SiC 7 天才能生长 2cm 左右,而硅棒拉晶 2-3 天即可拉出约 2m 长的 8 英 寸硅棒;
3)晶体类型多。SiC 存在 200 多种晶体结构类型,其中六方结构的 4H 型(4H-SiC)等少数 几种晶体结构的单晶型碳化硅才是所需的半导体材料,在晶体生长过程中需要精确控制硅碳 比、生长温度梯度、晶体生长速率以及气流气压等参数,否则容易产生多晶型夹杂,导致产 出的晶体不合格;
4)扩径难度大。气相传输法下,SiC 晶体生长的扩径技术难度极大,随着晶体尺寸的扩大, 其生长难度工艺呈几何级增长;
5)材料硬度高。SiC 莫氏硬度为 9.2-9.6,与金刚石接近,切割、研磨、抛光技术难度大, 工艺水平的提高需要长期的研发积累。
由于 SiC 晶体生长速率慢、制备技术难度较大,导致大尺寸、高品质 SiC 衬底生产成本依旧 较高,产量低、价格高成为制约 SiC 大规模应用推广的主要因素。根据 CASA 数据,近年来 SiC SBD 和 SiC MOSFET 器件呈现逐步下降趋势,并且与 Si FRD 和 Si IGBT器件的价格 差也在缩小。
650V SiC SBD vs Si FRD:2017-2020 年 SiC SBD 价格由 4.1 元/A 下降至 1.58 元/A,降幅 达 61.5%。价格差则由 2.6 元/A 下降至 2.97 元/A;
1200V SiC SBD vs Si FRD:2017-2020 年 SiC SBD 价格由 6.55 元/A 下降至 3.83 元/A,降 幅达 41.5%。价格差则由 4.55 元/A 下降至 1.16 元/A;
2)生长速度慢。SiC 7 天才能生长 2cm 左右,而硅棒拉晶 2-3 天即可拉出约 2m 长的 8 英 寸硅棒;
3)晶体类型多。SiC 存在 200 多种晶体结构类型,其中六方结构的 4H 型(4H-SiC)等少数 几种晶体结构的单晶型碳化硅才是所需的半导体材料,在晶体生长过程中需要精确控制硅碳 比、生长温度梯度、晶体生长速率以及气流气压等参数,否则容易产生多晶型夹杂,导致产 出的晶体不合格;
4)扩径难度大。气相传输法下,SiC 晶体生长的扩径技术难度极大,随着晶体尺寸的扩大, 其生长难度工艺呈几何级增长;
5)材料硬度高。SiC 莫氏硬度为 9.2-9.6,与金刚石接近,切割、研磨、抛光技术难度大, 工艺水平的提高需要长期的研发积累。
由于 SiC 晶体生长速率慢、制备技术难度较大,导致大尺寸、高品质 SiC 衬底生产成本依旧 较高,产量低、价格高成为制约 SiC 大规模应用推广的主要因素。根据 CASA 数据,近年来 SiC SBD 和 SiC MOSFET 器件呈现逐步下降趋势,并且与 Si FRD 和 Si IGBT器件的价格 差也在缩小。
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阳台面积:9.64m2
交通:JR山手线车站『目黑』
优点:3房格局、平成年建、平成28年共用区大规模修缮、宅配箱
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