掌握EUV光刻核心技术 日本憋出个大招:上马2nm[思考]

据报道,日本将与美国合作,最早在 2025 财年启动国内 2 纳米半导体制造基地,加入下一代芯片技术商业化的竞赛。

东京和华盛顿将根据双边芯片技术伙伴关系提供支持。两国私营企业将进行设计和量产研究。

台积电在开发 2 纳米芯片的量产技术方面处于领先地位。日本通过实现下一代芯片的国内生产来寻求稳定的半导体供应。 

日本和美国企业可以联合成立一家新公司,或者日本公司可以建立一个新的制造中心。日本经济产业省将部分补贴研发成本和资本支出。

联合研究最早将于今年夏天开始,2025财年至2027财年将形成一个研究和量产中心。

全球最大的代工芯片制造商台积电正在日本熊本县建设芯片工厂,但该工厂将只生产从 10nm 到 20nm 范围的不太先进的半导体。

较小的半导体可以实现设备的小型化和改进的性能。2纳米芯片将用于量子计算机、数据中心和尖端智能手机等产品。这些芯片还降低了功耗,减少了碳足迹。

5月初,日美签署了半导体合作基本原则。双方将在即将举行的“二加二”内阁经济官员会议上讨论合作框架的细节。

在 2 纳米研发方面实力雄厚的 IBM 去年开发了原型。同为美国公司的英特尔公司也在进行 2 纳米工艺的研发。

在日本,由国立先进工业科学技术研究所运营的筑波市研究实验室正在开展一项合作,以开发先进半导体生产线的制造技术,包括 2 纳米工艺的生产技术。东京电子和佳能等芯片制造设备制造商与 IBM、英特尔和台积电一起参与了这个集体。

日本拥有信越化学和 Sumco 等强大的芯片材料制造商,而美国则拥有芯片制造设备巨头应用材料公司。芯片制造商和主要供应商之间的这种合作旨在使 2 纳米芯片的量产技术触手可及。

台积电处于下一代芯片量产的前沿。该公司预计今年将在 2 纳米制造设施上破土动工,并有望在今年晚些时候开始大规模制造 3 纳米芯片。 

日本的2nm雄心

在去年五月,就有报道日本政府正在寻求吸引国外优秀的芯片制造商能赴日本建立圆晶工厂,以促进日本在半导体行业的发展。台积电后来也做了决定,虽然是28nm工艺,但也是个好的开始。

媒体在今年一月的报道也指出,台积电将与日本经济产业省成立合资公司,在东京设立先进封测厂。

而根据报导,台积电是要在日本茨城县筑波市新设技术研发中心, 研发中心包括晶圆制程及3D封装。

从过往的报道看来,日本的这个决定也是有其背后的考量的。因为晶体管微缩受限,过去多年在业界就存在一个观点,那就是借用先进封装可以继续推进芯片性能的提升。

而台积电在去年九月更是推出了其3D Fabric平台,将SoIC、CoWoS、InFO等技术家族囊入其中,能串联高频宽存储、异构整合和3D堆叠,以提升系统能耗,并缩小面积。

台积电研发副总余振华也以TSMC的SoIC技术为例,讲述他们这个平台的优势

。他指出,这个技术可将低温多层存储堆叠在逻辑芯片上,帮助延伸摩尔定律。而公司现在已成功将4层、8层与12层低温多层记忆体堆叠在逻辑芯片上,其中12层总厚度更是低于600微米,这让公司在未来可以实现堆叠更多层的可能。

虽然日本已经紧抱台积电,为未来发展先进芯片制造做好了一部分准备。但从日前的新闻看来,日本的野心并不止于此。

最新报道指出,日本经济产业省最快在本周内,会召开与日本半导体产业有关的检讨会,除了会探索瑞萨电子工厂火灾对汽车生产的影响,以及汽车业供应链不稳定的隐忧外,日本政府还计划府着眼朝着数字化发展的当前经济,让半导体供应链体质更加强韧,并从经济安全保障等观点,重新拟定中长期的政策。

日经进一步指出,日本政府将提供资金支持、协助日本企业研发2nm以后的次世代半导体制造技术。为实现这个目标,他们除了继续保持和台积电、Intel等半导体大厂进行大范围的意见交换来进行研发外,他们还将与佳能、东电、SCREEN等本土设备巨头携手,重振日本在先进研发方面的实力。

据报道,这支该获得经产省资金援助的研发团队目标在2020年代中期确立2nm以后的次世代半导体的制造技术,并设立测试产线,研发细微电路的加工、洗净等制造技术。

厚积薄发的底气

正如文章开头所说,虽然日本没有先进的晶圆厂,但他们在先进工艺的上游有很重要的布局。以现在炙手可热的EUV光刻为例,虽然大家都知道全球目前荷兰公司ASML能提供领先的EUV光刻机。

但在半导体行业观察之前的报道中,我们可以看到日本公司在这个领域多个环节的实力。

首先来看缺陷检测设备,如果作为原始电路板的光掩模中存在缺陷,则半导体的缺陷率将相应增加。最近几年需求增长尤其旺盛的是EUV光罩(半导体线路的光掩模版、掩膜版)检验设备,在这个领域,日本的Lasertec Corp.是全球唯一的测试机制造商,Lasertec公司持有全球市场100%的份额。

日本另一个占据100%市场份额的是东京电子的EUV涂覆显影设备,该设备用于将特殊的化学液体涂在硅片上作为半导体材料进行显影。

1993年东电开始销售FPD生产设备涂布机/显影机,2000年交付了1000台涂布机/显影机“ CLEAN TRACK ACT 8”。在EUV光刻胶方面,日本的市场份额更是遥遥领先。

据南大光电在今年三月发布的相关报告中披露,如下图所示,全球仅有日本厂商研发出了EUV光刻胶,由此可以看到他们在这方面的实力。而欲了解更多日本在EUV方面的实力,可以参考半导体行业观察之前的文章《不容忽视的日本EUV实力》。

国际主要厂商在半导体光刻胶产品的产业化进度(source:南大光电)在先进工艺研发方面,还有一个重要环节,那就是本节开头谈到的EUV光刻机,这也是日本在先进工艺研发上将佳能纳入其中的原因。虽然这家曾经的光刻机巨头在这个领域已经被ASML抛离,但他们在光刻方面的积累,能某种程度上给日本的先进制造提供指引。

除了上述谈到的一些技术和企业外,如上图所示,日经在昨天的报道中,也披露了日本在半导体制造的多个环节参与其中。

由此可见,对于日本来说,要想在芯片制造上搞出一些浪花,是有其深厚的底气。与此同时,日本富岳“超算”上的富士通的48核Arm芯片A64FX的超强性能表现加上索喜5nm芯片的新闻表示,日本在先进芯片上也有其实力所在。

在这些企业的配合下,相信日本复兴半导体先进芯片技术乃至建造先进工艺晶圆厂,都有潜在的可能。当然,是否真会这样做晶圆厂,又是另一个层面的讨论。

日重振半导体,政府顾问:须880亿美金

台积电赴日建厂并获得日本政府的补助,被视为日本提高自身芯片制造能力的关键,据外媒报导,日本政府半导体小组的高级顾问认为,日本做得还不够多,如果想重振半导体产业,明年就应该提供减税优惠,并订下未来十年鼓励企业投资多达10兆日圆(约880亿美元)。

东哲郎认为,日本的半导体产业已低迷数十年,如今有增加补助经费的动作,应是扭转颓势的开端,“没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

东哲郎建议,在未来的10年内,日本政府及私营部门应投资半导体产业10兆日圆。目前,增加对半导体产业的补助,在日本政界内已形成共识,据报导,日本首相岸田文雄也曾称,将为国内半导体生产提供逾1.4兆日圆的投资。

报导提到,因为芯片短缺,各国都在扩大自身的芯片制造能力,并增加补助经费,美国已投入520亿美元(约新台币1.44兆元),并成功吸引到台积电与三星赴美设厂,而中国也有相关的动作。

报导提到,日本过去为人诟病的一点是,对半导体产业的投资不足,并使得市场份额被抢走,如今日本政府也重新重视半导体产业,并承诺将重振半导体产业列为国家项目,目标是到2030年将国内半导体公司的年收入提高约3倍至13兆日圆(约1100字美元)。

东哲郎认为,在下一步,日本政府应在常规预算中,为芯片制造编列额外资金,而非使用一次性的预算进行帮忙。他认为,人们需要看到对这个项目的长期承诺,否则不会把政府当一回事,“若没有政府的初期投资,私营企业不会愿意投资。”

至于日本政府对半导体产业的减税优惠,应涵盖哪些项目,据东哲郎认为,包括:对芯片制造业免征企业所得税的研发、削减用水及公用事业成本,这都是值得讨论的方向。#半导体#

【#陕亮十年#(四)丨求新求变 陕西这样跑好文旅融合“新赛道”】2022年4月26日,陕西省图书馆高新馆区开馆迎客。这座位于西安高新区天谷七路899号的省图新馆建筑面积8.19万平方米,设计藏书800万册、拥有阅览座位4000个,是“十四五”以来全国新建图书馆单体建筑面积最大,集智慧阅读、文化教育、文化休闲、文化展示于一体,与艺术、非遗、旅游、科技、教育、体育等行业深度融合的一座综合性、现代化公共图书馆。

未来,伴随着图书馆的全面开放和综合服务的持续优化,陕西省图书馆高新馆区必将成为体现陕西公共文化服务高质量发展的亮丽名片。

十年来,陕西文旅交出了一张亮眼成绩单。截至2021年,陕西有118家公共图书馆、119家文化馆、20613个基层综合性文化服务中心投用向社会免费开放;有近5万处不可移动文物、700万余件(组)馆藏文物、不可移动革命文物1224处;提出了“文学陕军”“长安画派”“西部影视”“陕派话剧”等极具地域特色的文化品牌……

守正创新

陕西从文化大省迈向文化强省

文艺是时代前进的号角,是民族进步的火炬,是党和人民的重要生命线。实现中华民族伟大复兴,离不开文艺事业的繁荣发展。

陕西灿烂的历史文化、丰厚的革命文化以及特色鲜明的民俗文化,为文学、影视、戏剧、绘画、书法等艺术的发展提供了沃土。底蕴深厚的文学陕军、长安画派,厚积薄发的陕西影视,异军突起的陕派话剧等,这些颇具影响力的文化陕西品牌,让陕西具备了从文化大省迈向文化强省的坚实基础和可能性。

作为陕西响当当的文化名片,“文学陕军”在为人民写作、为时代而歌的征程上主动担当,创作推出了一大批反映时代要求和人民心声的现实题材作品。荣获第十五届精神文明建设“五个一工程”奖和第十届茅盾文学奖的长篇小说《主角》、荣获第七届鲁迅文学奖的短篇小说《出警》等,引起社会各界热烈反响。截至目前,“文学陕军”已斩获国家级重要文学奖项40多个。

在影视作品上,西部影视异军突起,产业规模逐步扩大,作品数量和质量持续攀升。从2020年首部亮相央视的脱贫攻坚题材电视剧《一个都不能少》,在央视热播的电视剧《装台》《大秦赋》,到先后斩获百花奖、金鸡奖等国家级重要奖项的电影《我和我的祖国》,陕西影视厚积薄发,一大批思想精深、艺术精湛、制作精良的影视作品,从荧屏、银幕上走进了百姓生活,也走进了群众心间。

同时,“陕派话剧”不断推陈出新,《平凡的世界》《麻醉师》《共产党宣言》《路遥》等优秀戏剧作品如雨后春笋般涌现。截至目前,已有13部作品荣获精神文明建设“五个一工程”奖,6部作品荣获中国艺术节“文华大奖”,6部作品入选文化和旅游部“国家舞台艺术精品工程”;14人获“文华表演奖”,28人获中国戏剧“梅花奖”。

一本本文学著作、一部部影视作品、一台台精彩剧目、一件件书画艺术作品,绘就了陕西文艺波澜壮阔、繁花似锦、日新月异的图景,成就了“文学陕军”“西部影视”“长安画派”“陕派话剧”等为人民所喜闻乐见的陕西特色文化品牌,也奏响了陕西文化和旅游业大发展大繁荣的激昂序曲和华彩乐章。

摸清家底

为文物保护建起法治防护墙

八百里秦川文武盛地,五千年文化中外名城。作为中华文明重要发祥地之一,陕西被誉为“天然的历史博物馆”,有蓝田猿人、半坡遗址、轩辕黄帝陵等远古历史,也有周、秦、汉、唐等10多个政权上千年的建都史,还有中国共产党领导的以延安为中心的伟大革命史。

在陕西,出土有10万至1.5万年前的人类化石和文化遗存的南郑疥疙洞洞穴遗址,为了解中国乃至东亚地区早期现代人演化自本土古人群的学说提供了重要证据;陕北地区发现的气势恢宏的宫室类建筑、布局规整的宗庙类遗迹和等级分明的大型墓地,对研究中华文明起源和发展有重要作用;太平遗址的考古研究,使关中地区龙山文化研究取得重大突破;对杨官寨遗址庙底沟文化开展的多学科研究,推动了中原地区文明化进程研究取得新进展;少陵原十六国大墓的发现、清平堡遗址的考古工作,为研究我国民族融合和长城文化提供了重要资料……

史前遗珠、秦汉闳放、隋唐之风……近十年来,陕西取得的考古新成就不胜枚举。三秦大地留下灿若星辰的历史文化遗产,书写着中华民族悠长壮阔的历史。而如何保护利用好历史文化遗产,为文物保护建起防护墙,让人民群众能感受文物之美、体会文化之韵?这是近年来陕西文物工作的重中之重。

2021年3月31日,陕西省十三届人大常委会第二十五次会议表决通过了新修订的《陕西省秦始皇陵保护条例》(以下称《条例》)。新修订的《条例》扩大了秦始皇帝陵的保护范围,规范管理体制,用法治的力量促进保护秦始皇陵的历史风貌、自然环境。省人大常委会法制工作委员会副主任田文平表示,《条例》的修订出台对推动秦始皇陵保护、管理及展示利用水平迈上新台阶具有关键作用。

立法保护秦始皇陵,只是陕西省保护文物工作的一个缩影。近年来,陕西高度重视文物保护工作,无论从文物保护地方性法规,还是从文物安全管理制度,再到奖励惩罚制度,陕西省文物保护工作已经形成了一套行之有效的规范体系,文物保护管理利用法治化水平不断提升。

十年来,陕西在摸清守好文物“家底”的同时,坚守文物安全底线,创新文物保护模式,让承载着中华文明密码的“国宝”焕发新光彩,古老的文物古迹与全新的时代命题正在碰撞出夺目的火花。

务实惠民

构建公共文化服务新格局

公共文化服务是一项润物无声的文化事业,也是一个地方的文化名片。发展文化事业是满足人民精神文化需求、保障人民文化权益的基本途径。文化惠民是民生工程的重要组成部分,着力提升公共文化服务水平,就是要让人民享有更加充实、更为丰富、更高质量的精神文化生活。

十年来,陕西省众多文化机构积极开展多种形式的公益文化活动,送文化下乡、送文化进万家,不断满足人民群众对文化生活的新需求、新期待。

依托陕西省群众文化节,陕西先后举办优秀群众文艺精品展演、“唱支山歌给党听”大家唱群众歌咏活动、全省广场舞展演、“花朵”全省少儿美术作品展、全省优秀群众美术书法摄影作品展览等一系列群众性示范文化活动,带动全省累计举办群众文化活动5389场,参与人数超过2578万人次。此外,陕西省还颁布《陕西省秦腔艺术保护传承发展条例》,举办2021年中国秦腔优秀剧目会演,惠及群众600余万人次。

为扩大服务半径,提升服务效能,吸引更多读者朋友“走进”图书馆,解决公共文化服务体系“最后一公里”问题,2019年,汉中市汉台区图书馆和汉台区邮政分公司联合推出“汉图有书任你借,邮政一元替你还”惠民服务。读者可以在家通过微信公众号“你看书我买单”小程序进行下单购书,借阅的图书通过快递便可免费送到读者手中。没有时间或不方便归还借阅的图书时,可以选择到汉台邮政分公司邮政网点的便民还书站支付1元的邮寄费用,将所还图书和签条一并封装后交邮政工作人员即可。

小小尝试,解决了借书还书的难题。为满足人民群众日益增长的文化生活需求,让群众共享文化发展成果,陕西持续加大政策指引和财政投入,公共服务体系也日趋完善,一批批文化旅游公共服务设施建成并投入使用,文化服务设施的日渐丰富。

118家公共图书馆、119家文化馆、444个新型公共文化空间、20613个基层综合性文化服务中心的投用向社会免费开放,实现了陕西公共文化设施全覆盖。

求新求变

陕西旅游产业破局求变

文化是陕西的战略性资源,而旅游则是陕西的标志性名片。

今年“五一”假期,“长安十二时辰”街区无疑是整个陕西乃至全国最热门的文旅景区之一,冲上各大社交平台的全国热榜,登上西安景点种草TOP1。在线下,“长安十二时辰”吸引了大量的市民游客前来游玩,只为一睹大唐盛世,感受大唐文化魅力。

进入大门的那一刻,宛如穿越至1300年前的唐朝长安城。游客不仅可以与“崔器”“王维”“李白”等演员互动,还可以观赏唐风建筑,品尝长安美食,体验唐风娱乐活动,全方位、全体验、全身心地“回到唐朝”。

“长安十二时辰”街区为什么这么火?作为全国首个唐风市井生活体验街区,“长安十二时辰”街区将影视IP与文化IP进行了巧妙结合,通过多元业态带给了游客沉浸式的体验,从而打造了一个“爆款”文化旅游产品。

疫情当下,除了将文化旅游资源实现价值最大化,培育新的产业增长点也是最为现实的选择之一。由于疫情防控等多种因素,国内游客跨省、跨市旅游受到不同程度的阻碍,露营旅游、近郊度假成为全国旅游的新热点。据企查查数据显示,截至今年4月底,陕西露营相关企业有3603家,排在全国各省份第5位,这说明“小”露营也能塑造出“大”经济。

实际上,陕西旅游的新增长点不止于此,民俗旅游、生态旅游、自驾旅游等新型旅游方式或业态逐渐兴起。陕西旅游从原来的“上车睡觉,下车看庙,对着镜头笑一笑”的初级观光方式,正走向多业态、多内容、多形式的高质量发展模式。

十年发展历程,陕西文化事业全面繁荣发展,文艺精品创作生产成绩显著,公共文化服务体系日臻完善。陕西文化经历了由文化大省到文化强省的发展转变。如今,基于丰富的历史文化资源,紧紧围绕“文化陕西”定位,陕西以创建国家全域旅游示范省为抓手,以建设国际文化旅游中心为目标,凭借“文化+旅游”的双引擎,走出了一条符合陕西实际的文旅发展道路。

撕去古老、厚重的文化标签,陕西正以一个朝气蓬勃、古今交融的形象,朝着国际一流文化旅游中心的目标奋勇前进。#飞阅新三秦##从空中看奋进中的陕西有多震撼#

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【优秀案例赏析66】荒野花园和草甸剧场 /许拍以东的一岁与枯荣

荒野花园
千百年来,中国古人通过对自然细致的观察与感受,形成了一年有四季、八节和二十四节气的认知,建立了完备的季节时间体系。它指导着人们的农牧业劳作、生产与生活。“春生、夏长、秋收、冬藏”“春蒐、夏苗、秋狝、冬狩”就是四时有序、感时应物之意,体现遵循自然之道来建立人与自然的关系。对于园林花木,世人却多喜好花繁叶茂的盛景,于是世间的花园里大多都有精致的搭配,繁盛的花木;通过对品种的选择和用心的养护修剪,追求“四季常绿,三季有花”的理想状态。传统的花园大都是附属于建筑,也会方便人工的维护;花园光鲜的外表下多是对各种观赏园艺花木的推崇应用,而对被视为杂草杂木的原生乡土植物的斩草除根。让花园光鲜亮丽,以人类意志征服大自然为主导的理念,通常也是以人类审美为主导,以极度依赖工具和农药而存在的现实。

取“让植物可以自然或随意生长”之意,名为荒野花园。本着对景观生命周期完整的认识和探索,我们预想在时间的维度中真实纪录花园里的一岁与枯荣。在其中感受生命的萌发,也感受生命的凋零;赞其蓊郁繁盛之风貌,也叹其枯萎零落之风骨。让人们建立在对景观生命周期完整的认识上,去赏其四时之美,去赏自然这幅具有生命力的画卷;卷中的自然繁衍、变化更新。

荒野花园的原址是许拍东边一片荒废的杂草地,地势较低,自然地貌凹凸不平。其中有两条由融化雪水形成的地表径流穿流而过,这也是白沙镇农田灌溉用水来源之一。场地上留存着原生的大树,如老梨树,核桃树等;地被植物如鬼针草、芒草、艾草、月见草、灯心草等。在丽江泛喜马拉雅气候下,植物经过漫长的自我演替,原场地里这些现存植物都形成了一个较为稳定的生态系统,品种多样且已达到相对的自我平衡。另一方面由于场地荒废多年,局部堆砌着附近的生活和建筑垃圾,对于途径的溪流和土地造成了潜在的污染。原址相对于高山花园较低,在许拍的栈道上可以远观,但因其原植被茂盛而杂乱,没有安全的路径可以进入和游览。

表土作为植物吸收养分能维系根系生长的物质,是具备恢复生态功能的重要资源;同时它也是原生种子的宝库。团队对栈道施工区域先行开展了剥离表土,保护性的收集表土等工作。 再通过清除瓦砾、塑料制品等建筑生活垃圾,粉碎粘土,重新混合和填充表土等一系列步骤,在节点处只点缀补栽了少许的植物。让土地在数月绵延的雨季中得以滋养,等待原生土壤里的种子萌发生长;植被渐渐地随着时间自然地修复,恢复生机。

风里也会带来邻近乡间常见的波斯菊、牵牛花的种子,在夏末野花随意地丛丛绽放。野草也在雨季中渐渐恢复了原来的状态,曲折的木栈道在其中穿梭,为到访者提供了既安全也能近距离深入体验荒野花园的路径,形成了一个可沉浸其中的、可散步可思考的空间,自由地与植物和大自然进行对话。 栈道拾级而上,终止于升起的眺望平台,既可远观玉龙雪山,也可近眺荒野花园全貌;同时也与体现人工之力置放的巨石、保留的原生老树一同构成了一处有层次且融合、也有空间张力的景致。

荒野花园也是野生动物重要的栖息地,为生物提供丰富的营养和庇护所。现有的核桃树和梨树的果实、地被植物的花叶蜜都是鸟类昆虫等生物天然的食物。鸟儿来这里筑巢,求偶,繁衍;植物摇曳,四季都是鸟语缤纷。被抬高 60 厘米设置的木栈道,竭力在最小程度上影响原场所,以确保动物和昆虫可以不受干扰地移动。堆放的石头不仅作为是美学元素,也为小动物提供了庇护所。

草甸剧场 融于自然的大地艺术舞台
在荒野花园北端,是一块地势较低也较为空旷平整的场地。它离玉龙雪山最近,但因其与许拍草坪区域有6米的落差,边界有核桃树梨树等原生大树,大树下方有杂乱的灌木,所以形成了许拍草坪外自然的屏障,让人难以进入其中。初到此地,我们便萌生了一个构想,此处应该有一个与大地相融合的自然舞台,在这里能感受风吹雨落、日月星光、虫鸣鸟叫;孩童们能肆意奔跑与嬉戏、来访者也能静静地观赏雪山;能承载雪山下最美的歌舞、也能祭奠纳西族最神圣的庆典。无需明亮的灯光和布景,自然便是最好的舞台。

荒野花园和草甸剧场是我们在景观设计实践里的一次探索。设计手法上用朴素清淡的几笔,勾勒出与大地环境融合的、诗意的场景;创造有生命力的原始与艺术的空间,在自然的野生无序与人工的几何秩序之间建立对比与融合;同时也让到访者能安全地深入和沉浸其中,体会平实中寓意深远的意境。 在过度人工化的现代世界里,自然演替的荒野景观给人们带来了一抹绿色的希望。它让我们思考人与自然的关系,从人定胜天、人类征服大自然的主导观念,转变为天人合一、在大自然面前顺势而为的东方哲念,留给自然多一些自由生长的可能。在四季变迁的时间轴里见证自然修复的过程,用土地自我迸发出的原始力量来触动人心。


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