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3.我市印发全面推行河长制湖长制工作述职及领导小组成员单位考评工作制度
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#中方回应在伊核谈判中做了哪些工作# 【中国在伊核问题谈判中做了哪些工作?中国驻伊大使回应】常华大使接受伊朗大学生通讯社书面采访
2022年3月6日,伊朗大学生通讯社发表对驻伊朗大使常华的书面采访。常大使就中伊关系、伊核问题、阿富汗问题、中美关系、乌克兰危机等回答了记者提问。主要内容如下:
问:你如何评价中伊双边关系?中伊合作计划现处于什么阶段?目前采取了什么落实措施?疫情期间,中国向伊方提供了大量援助和疫苗。下阶段如何推进联合生产疫苗?中方对伊疫苗援助的规模如何?中伊两国的军事合作处于什么水平?
答:中伊是全面战略伙伴,两国传统友谊深厚。在两国元首引领下,近年来中伊关系取得长足发展,双方在涉及彼此核心利益问题上相互坚定支持,各领域务实合作取得积极成果。
今年伊始,阿卜杜拉希扬外长成功访华。王毅国务委员兼外长与其举行深入会谈,双方共同宣布启动两国全面合作计划落实工作,一致同意加强能源、基础设施、产能、科技、医疗卫生合作,拓展农渔业、网络安全、三方合作,深化教育、电影、人才培训等人文交流,打造更多实实在在的合作成果。
面对新冠肺炎疫情,两国同舟共济、守望相助。中国人民全力抗击疫情时,得到伊朗人民暖心支持。疫情在伊朗蔓延后,中方克服重重困难,全力向伊方提供医疗物资和疫苗。中伊抗疫合作取得积极成效,共同谱写了团结抗疫的佳话。
中国主张总体国家安全观,努力维护世界和平稳定。今年1月,中伊俄三方在阿曼湾海域举行海上联合演习,深化了中伊俄三国海军之间的交流合作,展示了三方共同维护世界和平与海上安全、积极构建“海洋命运共同体”的良好意愿和能力。
问:中方始终在伊核问题上支持伊。伊新一届政府上台后重启谈判,中国在谈判中做了哪些工作?对推动谈判获得结果有何建议?美国是否会对中方在这一领域的立场和政策进行干涉?中方将会做出什么反应?
答:中方始终秉持客观公正立场,建设性参与伊核问题相关谈判,在难点问题上积极斡旋,推动各方寻求解决方案。我们将继续同有关各方一道,推进全面协议恢复履约谈判进程,同时坚定维护自身正当合法权益。中方将继续从维护伊核全面协议、维护多边主义和全球防扩散体系角度出发,与各方共同推动协议及早达成。
当前,谈判已进入冲刺阶段。同时谈判越是到了最后,各方越要保持定力,充分重视遗留问题的解决,相互显示灵活,寻求合理解决方案,作出政治决断,推动谈判圆满收官。中方将继续主持公道,坚定推进伊核问题政治外交解决进程。作为伊核危机的始作俑者,美方理应进一步采取积极举措,早日解决所有遗留问题。
问:当前美国制裁对中伊疫苗运输和其他领域合作有何影响?
答:中方一贯认为制裁从来不是解决问题的根本有效途径,坚决反对任何非法单边制裁。单边制裁和霸凌行径不得人心,也注定不会持久。
美国出于霸权主义和单边主义,动辄对他国挥舞制裁大棒,在过去20年里美国实施的制裁数量增长了10倍,美国上一届总统任期内实施的制裁高达3800项。美方非法制裁给相关国家经济和民生造成严重困难,也给中伊务实合作造成了困难和障碍。但中方始终以实际行动坚定维护与伊经贸、能源等领域的正当合作,并推动国际社会保障伊方正当的经济红利。
问:中方对塔利班控制阿富汗有何看法?是否有同塔利班开展合作并正式承认其政权的计划?下一届阿富汗问题邻国外长会将在北京举行,中国对解决阿富汗问题有何计划或建议?
答:当前,阿富汗处在由乱及治的关键时期,阿富汗人民自身的前途命运正掌握在自己手中,同时也面临人道、经济、反恐、治理等多重挑战。克服这些困难,需要国际社会更多理解支持,并共同作出以下努力:
第一,济民生。当前阿富汗突出问题依然是人道危机。中方已向阿富汗提供价值近3亿元人民币的人道援助,包括粮食、医药、疫苗、越冬物资等,我们还将根据阿人民需求继续追加援助。中方将大力支持阿富汗提升自主发展能力。去年阿富汗上千吨松子畅销中国传为佳话。中方今后将进口更多阿优质农产品,帮助阿民众创收增收。从长远看,我们还愿同阿富汗加强治国理政经验交流和互联互通建设。
第二,促接触。要继续推进同阿富汗各方的理性交往对话。阿富汗形势剧变以来,中方同阿富汗有关方面保持接触,积极推动国际协调,帮助阿富汗维稳防乱。中方将坚持面向全体阿人民的友好政策,尊重阿主权、独立、领土完整,不干涉阿内政。现在越来越多的国家以不同形式同阿临时政府开展接触,这是好的趋向。国际社会应该在落实“阿人主导、阿人所有”原则基础上,以平等尊重、理性务实态度,同阿方进一步加强接触,引导阿富汗逐步走上良政善治之路。
第三,聚合力。要以人类命运与共、同舟共济的精神,增进涉及阿富汗的多边和地区协调。各方要维护联合国主渠道地位,推动各类涉阿富汗多边机制发挥作用。要关注阿富汗境内涉恐动向,推动国际社会群策群力,构建反恐统一战线,摒弃双重标准,绝不能让阿富汗再度成为恐怖主义的滋生地、庇护所和扩散源。中方将努力凝聚支持阿和平重建的国际合力,与地区国家密切合作,继续办好阿富汗邻国外长会,为阿富汗实现长治久安作出邻国贡献。
问:美国新政府上台后,一定程度上摒弃了特朗普时期的政策。其对华政策和战略是否有变化?
答:当前,中美关系正面临建交以来少有的严峻挑战。去年11月,习近平主席同拜登总统举行视频会晤,提出相互尊重、和平共处、合作共赢三原则,明确了中美关系未来走向的框架。拜登总统予以积极回应。中方敦促美方重拾理性务实的对华政策,同中方一道将两国元首共识以及拜登总统表态落到实处,推动中美关系早日重回正轨。
我们要求美方坚持一中原则,恪守对中国作出的政治承诺,停止纵容支持“台独”行径,停止策划“以台制华”的图谋,停止任何干涉中国内政的言行,维护中美关系大局。
我们要求美方坚持相互尊重,把握中美关系正确方向。美国应当尊重中国的发展道路,放下围堵遏制中国的执念。
我们要求美方坚持合作共赢,促进中美各自发展繁荣。美方应该为建设开放型世界经济作出表率,带头遵守国际经贸规则,为包括中国在内的各国企业提供公平、公正、非歧视的市场环境。
我们要求美方坚持大国责任,为世界提供更多公共产品。中国过去现在今后都不会谋求任何霸权,美方也应该这么做。美国应该停止在地区搞阵营对立、封闭排他的小圈子。
问:中国对乌克兰危机的立场是什么?
答:近日,王毅国务委员兼外长阐述了中方对当前乌克兰危机的五点立场。
第一,中方主张尊重和保障各国的主权和领土完整,切实遵守联合国宪章宗旨和原则。这一立场是一贯的,也是明确的,在乌克兰问题上同样适用。
二是中方倡导共同、综合、合作、可持续的安全观。认为一国的安全不能以损害他国安全为代价,地区安全更不能以强化甚至扩张军事集团来保障。冷战思维应当彻底摒弃。各国的合理安全关切应予尊重。在北约连续五轮东扩情况下,俄罗斯在安全方面的正当诉求理应得到重视和妥善解决。
第三,中方一直关注乌克兰问题的演变,目前的局势是我们不愿看到的。当务之急是各方保持必要克制,避免乌克兰现地事态继续恶化甚至走向失控。平民的生命财产安全应当得到有效保障,尤其要防止出现大规模人道主义危机。
第四,中方支持和鼓励一切有利于和平解决乌克兰危机的外交努力。中方欢迎俄罗斯和乌克兰尽快举行直接对话谈判。乌克兰问题的演变有着复杂历史经纬。乌克兰应当成为东西方沟通的桥梁,而不应沦为大国对抗的前沿。中方也支持欧方与俄罗斯就欧洲安全问题进行平等对话,秉持安全不可分割理念,最终形成平衡、有效、可持续的欧洲安全机制。
第五,中方认为联合国安理会应当为解决乌克兰问题发挥建设性作用,要以地区和平稳定为重,以各国普遍安全为重。安理会采取的行动应当给紧张局势降温而不是火上浇油,应当有利于推动外交解决而不是使局势进一步升级。鉴此,中方历来不赞成安理会决议动辄引用授权动武和制裁的第七章。
中国作为安理会常任理事国和负责任大国,始终忠实履行自身国际义务,为维护世界和平稳定发挥建设性作用。在和平与安全问题上,中国是纪录最好的大国。我们从未侵略他国、从不搞代理人战争、从不寻求势力范围、从不参与军事集团对抗。中国坚持走和平发展道路,致力于构建人类命运共同体。我们将继续坚定反对一切霸权强权,坚定维护广大发展中国家特别是中小国家的正当合法权益。(中国驻伊朗大使馆)
2022年3月6日,伊朗大学生通讯社发表对驻伊朗大使常华的书面采访。常大使就中伊关系、伊核问题、阿富汗问题、中美关系、乌克兰危机等回答了记者提问。主要内容如下:
问:你如何评价中伊双边关系?中伊合作计划现处于什么阶段?目前采取了什么落实措施?疫情期间,中国向伊方提供了大量援助和疫苗。下阶段如何推进联合生产疫苗?中方对伊疫苗援助的规模如何?中伊两国的军事合作处于什么水平?
答:中伊是全面战略伙伴,两国传统友谊深厚。在两国元首引领下,近年来中伊关系取得长足发展,双方在涉及彼此核心利益问题上相互坚定支持,各领域务实合作取得积极成果。
今年伊始,阿卜杜拉希扬外长成功访华。王毅国务委员兼外长与其举行深入会谈,双方共同宣布启动两国全面合作计划落实工作,一致同意加强能源、基础设施、产能、科技、医疗卫生合作,拓展农渔业、网络安全、三方合作,深化教育、电影、人才培训等人文交流,打造更多实实在在的合作成果。
面对新冠肺炎疫情,两国同舟共济、守望相助。中国人民全力抗击疫情时,得到伊朗人民暖心支持。疫情在伊朗蔓延后,中方克服重重困难,全力向伊方提供医疗物资和疫苗。中伊抗疫合作取得积极成效,共同谱写了团结抗疫的佳话。
中国主张总体国家安全观,努力维护世界和平稳定。今年1月,中伊俄三方在阿曼湾海域举行海上联合演习,深化了中伊俄三国海军之间的交流合作,展示了三方共同维护世界和平与海上安全、积极构建“海洋命运共同体”的良好意愿和能力。
问:中方始终在伊核问题上支持伊。伊新一届政府上台后重启谈判,中国在谈判中做了哪些工作?对推动谈判获得结果有何建议?美国是否会对中方在这一领域的立场和政策进行干涉?中方将会做出什么反应?
答:中方始终秉持客观公正立场,建设性参与伊核问题相关谈判,在难点问题上积极斡旋,推动各方寻求解决方案。我们将继续同有关各方一道,推进全面协议恢复履约谈判进程,同时坚定维护自身正当合法权益。中方将继续从维护伊核全面协议、维护多边主义和全球防扩散体系角度出发,与各方共同推动协议及早达成。
当前,谈判已进入冲刺阶段。同时谈判越是到了最后,各方越要保持定力,充分重视遗留问题的解决,相互显示灵活,寻求合理解决方案,作出政治决断,推动谈判圆满收官。中方将继续主持公道,坚定推进伊核问题政治外交解决进程。作为伊核危机的始作俑者,美方理应进一步采取积极举措,早日解决所有遗留问题。
问:当前美国制裁对中伊疫苗运输和其他领域合作有何影响?
答:中方一贯认为制裁从来不是解决问题的根本有效途径,坚决反对任何非法单边制裁。单边制裁和霸凌行径不得人心,也注定不会持久。
美国出于霸权主义和单边主义,动辄对他国挥舞制裁大棒,在过去20年里美国实施的制裁数量增长了10倍,美国上一届总统任期内实施的制裁高达3800项。美方非法制裁给相关国家经济和民生造成严重困难,也给中伊务实合作造成了困难和障碍。但中方始终以实际行动坚定维护与伊经贸、能源等领域的正当合作,并推动国际社会保障伊方正当的经济红利。
问:中方对塔利班控制阿富汗有何看法?是否有同塔利班开展合作并正式承认其政权的计划?下一届阿富汗问题邻国外长会将在北京举行,中国对解决阿富汗问题有何计划或建议?
答:当前,阿富汗处在由乱及治的关键时期,阿富汗人民自身的前途命运正掌握在自己手中,同时也面临人道、经济、反恐、治理等多重挑战。克服这些困难,需要国际社会更多理解支持,并共同作出以下努力:
第一,济民生。当前阿富汗突出问题依然是人道危机。中方已向阿富汗提供价值近3亿元人民币的人道援助,包括粮食、医药、疫苗、越冬物资等,我们还将根据阿人民需求继续追加援助。中方将大力支持阿富汗提升自主发展能力。去年阿富汗上千吨松子畅销中国传为佳话。中方今后将进口更多阿优质农产品,帮助阿民众创收增收。从长远看,我们还愿同阿富汗加强治国理政经验交流和互联互通建设。
第二,促接触。要继续推进同阿富汗各方的理性交往对话。阿富汗形势剧变以来,中方同阿富汗有关方面保持接触,积极推动国际协调,帮助阿富汗维稳防乱。中方将坚持面向全体阿人民的友好政策,尊重阿主权、独立、领土完整,不干涉阿内政。现在越来越多的国家以不同形式同阿临时政府开展接触,这是好的趋向。国际社会应该在落实“阿人主导、阿人所有”原则基础上,以平等尊重、理性务实态度,同阿方进一步加强接触,引导阿富汗逐步走上良政善治之路。
第三,聚合力。要以人类命运与共、同舟共济的精神,增进涉及阿富汗的多边和地区协调。各方要维护联合国主渠道地位,推动各类涉阿富汗多边机制发挥作用。要关注阿富汗境内涉恐动向,推动国际社会群策群力,构建反恐统一战线,摒弃双重标准,绝不能让阿富汗再度成为恐怖主义的滋生地、庇护所和扩散源。中方将努力凝聚支持阿和平重建的国际合力,与地区国家密切合作,继续办好阿富汗邻国外长会,为阿富汗实现长治久安作出邻国贡献。
问:美国新政府上台后,一定程度上摒弃了特朗普时期的政策。其对华政策和战略是否有变化?
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我们要求美方坚持一中原则,恪守对中国作出的政治承诺,停止纵容支持“台独”行径,停止策划“以台制华”的图谋,停止任何干涉中国内政的言行,维护中美关系大局。
我们要求美方坚持相互尊重,把握中美关系正确方向。美国应当尊重中国的发展道路,放下围堵遏制中国的执念。
我们要求美方坚持合作共赢,促进中美各自发展繁荣。美方应该为建设开放型世界经济作出表率,带头遵守国际经贸规则,为包括中国在内的各国企业提供公平、公正、非歧视的市场环境。
我们要求美方坚持大国责任,为世界提供更多公共产品。中国过去现在今后都不会谋求任何霸权,美方也应该这么做。美国应该停止在地区搞阵营对立、封闭排他的小圈子。
问:中国对乌克兰危机的立场是什么?
答:近日,王毅国务委员兼外长阐述了中方对当前乌克兰危机的五点立场。
第一,中方主张尊重和保障各国的主权和领土完整,切实遵守联合国宪章宗旨和原则。这一立场是一贯的,也是明确的,在乌克兰问题上同样适用。
二是中方倡导共同、综合、合作、可持续的安全观。认为一国的安全不能以损害他国安全为代价,地区安全更不能以强化甚至扩张军事集团来保障。冷战思维应当彻底摒弃。各国的合理安全关切应予尊重。在北约连续五轮东扩情况下,俄罗斯在安全方面的正当诉求理应得到重视和妥善解决。
第三,中方一直关注乌克兰问题的演变,目前的局势是我们不愿看到的。当务之急是各方保持必要克制,避免乌克兰现地事态继续恶化甚至走向失控。平民的生命财产安全应当得到有效保障,尤其要防止出现大规模人道主义危机。
第四,中方支持和鼓励一切有利于和平解决乌克兰危机的外交努力。中方欢迎俄罗斯和乌克兰尽快举行直接对话谈判。乌克兰问题的演变有着复杂历史经纬。乌克兰应当成为东西方沟通的桥梁,而不应沦为大国对抗的前沿。中方也支持欧方与俄罗斯就欧洲安全问题进行平等对话,秉持安全不可分割理念,最终形成平衡、有效、可持续的欧洲安全机制。
第五,中方认为联合国安理会应当为解决乌克兰问题发挥建设性作用,要以地区和平稳定为重,以各国普遍安全为重。安理会采取的行动应当给紧张局势降温而不是火上浇油,应当有利于推动外交解决而不是使局势进一步升级。鉴此,中方历来不赞成安理会决议动辄引用授权动武和制裁的第七章。
中国作为安理会常任理事国和负责任大国,始终忠实履行自身国际义务,为维护世界和平稳定发挥建设性作用。在和平与安全问题上,中国是纪录最好的大国。我们从未侵略他国、从不搞代理人战争、从不寻求势力范围、从不参与军事集团对抗。中国坚持走和平发展道路,致力于构建人类命运共同体。我们将继续坚定反对一切霸权强权,坚定维护广大发展中国家特别是中小国家的正当合法权益。(中国驻伊朗大使馆)
(以下内容从浙商证券《碳化硅行业深度报告:碳化硅衬底:新能源车+光伏需求即将兴起,国产替代有望突破》研报附件原文摘录)
SiC碳化硅:产业化黄金时代已来;衬底为产业化突破的核心
1)高压、高功率应用场景下性能优越,适用于600V以上高压场景。相同规格的碳化硅基MOSFET与硅基MOSFET相比,尺寸减小至原来1/10,导通电阻降低至原来1/100,总能损耗降低70%,能源转换效率提高。下游应用新能源车、充电桩、光伏、风电、轨道交通等领域。
2)受益新能源车爆发,SiC产业化黄金时代将来临。Yole预计2026年SiC功率器件市场规模将达45亿美元,2020-2026年CAGR=36%。新能源汽车是碳化硅功率器件市场的主要增长驱动,应用端:解决续航痛点。成本端:单车可节省400-800美元的电池成本。客户端:特斯拉等车企相继布局。目前特斯拉仅使用在主逆变器上、未来有进一步应用提升空间。
3)性价比是决定SiC器件大批量使用的关键,衬底制备为碳化硅性价比提升的核心。在碳化硅器件的成本占比当中:衬底、外延、器件分别占比46%、23%、20%。衬底为碳化硅降本的核心、也是技术壁垒最高环节,是未来SiC降本、大规模产业化推进的核心关键。
SiC衬底:新能源车+光伏需求潜力巨大;国内外差距逐步缩小、国产替代可期
1)市场空间:预计2025年新能源车+光伏逆变器市场需求达261亿元,2021-2025年CAGR=79%。新能源车:目前单特斯拉Model3/Y一年需求量就能消耗全球SiC晶圆绝大产能。我们测算如2025年SiC在新能源车渗透率达60%,预计6英寸SiC衬底需求达587万片/年,市场空间达231亿元。光伏逆变器:“大组件、大逆变器、大组串”时代,光伏电站电压等级从1000V提升至1500V以上,碳化硅功率器件有望成为标配。我们假设2025年碳化硅渗透率提升至50%,对应SiC衬底市场达30亿元。行业核心瓶颈在于供给端不足。
2)竞争格局:国内外差距在逐步缩小,国产替代可期。目前海外龙头(Wolfspeed、II-VI占据60%以上市场份额)已实现6英寸规模化供应、向8英寸进军。国产厂家(天岳先进、天科合达、晶盛机电、露笑科技等)以小尺寸为主、向6英寸进军。但可观测到,国内外差距正在缩小、且整体差距小于传统硅基半导体。国内外差距已从过去的10-15年(4英寸)、缩小至5-10年以内(6英寸)。预计未来向8英寸进军过程中,差距有望进一步缩小。
3)生产工艺:较硅基半导体难度大幅增加;长晶环节是关键。碳化硅衬底属于技术密集型行业。核心难点在于:长晶工艺复杂(只有4H型等少数几种是所需的晶型),生长速度慢(每小时仅能生长0.2-0.3mm,较传统晶硅慢近百倍以上),产出良率低(硬度与金刚石接近,切磨抛难度大)。“产学研用”为国内碳化硅衬底发展的重要推进动力。国内高校和科研单位主要包括中科院物理所、山东大学、上海硅酸盐所等。
4)行业趋势:降本是产业化核心,向大尺寸延伸。目前6英寸SiC衬底价格在1000美金/片,数倍于传统硅基半导体。未来降本方式包括:提升材料使用率(大尺寸化,由4英寸向6英寸、8英寸延伸)、降低制造成本(提升良率)、提升生产效率(更成熟长晶工艺)。
SiC衬底设备:与传统晶硅差异较小,工艺调教为核心壁垒
主要包括:长晶炉、切片机、研磨机、抛光机、清洗设备等。与传统传统晶硅设备具一定相通性、但工艺难度更高。碳化硅衬底第三方设备厂商较少,企业更多为设备+制造一体化布局为主,便于将核心工艺机密掌握自己手里。设备+工艺联合研发、形成互哺是关键。
投资建议
重点推荐:晶盛机电。重点关注上市公司:天岳先进、露笑科技、三安光电、东尼电子、天通股份、凤凰光学、华润微、天富能源等。关注非上市公司:天科合达、河北同光、山东烁科、瀚天天成、天域半导体、中科节能、泰科天润等。
风险提示:研发进度不及预期风险;国际贸易争端加剧风险。
SiC碳化硅:产业化黄金时代已来;衬底为产业化突破的核心
1)高压、高功率应用场景下性能优越,适用于600V以上高压场景。相同规格的碳化硅基MOSFET与硅基MOSFET相比,尺寸减小至原来1/10,导通电阻降低至原来1/100,总能损耗降低70%,能源转换效率提高。下游应用新能源车、充电桩、光伏、风电、轨道交通等领域。
2)受益新能源车爆发,SiC产业化黄金时代将来临。Yole预计2026年SiC功率器件市场规模将达45亿美元,2020-2026年CAGR=36%。新能源汽车是碳化硅功率器件市场的主要增长驱动,应用端:解决续航痛点。成本端:单车可节省400-800美元的电池成本。客户端:特斯拉等车企相继布局。目前特斯拉仅使用在主逆变器上、未来有进一步应用提升空间。
3)性价比是决定SiC器件大批量使用的关键,衬底制备为碳化硅性价比提升的核心。在碳化硅器件的成本占比当中:衬底、外延、器件分别占比46%、23%、20%。衬底为碳化硅降本的核心、也是技术壁垒最高环节,是未来SiC降本、大规模产业化推进的核心关键。
SiC衬底:新能源车+光伏需求潜力巨大;国内外差距逐步缩小、国产替代可期
1)市场空间:预计2025年新能源车+光伏逆变器市场需求达261亿元,2021-2025年CAGR=79%。新能源车:目前单特斯拉Model3/Y一年需求量就能消耗全球SiC晶圆绝大产能。我们测算如2025年SiC在新能源车渗透率达60%,预计6英寸SiC衬底需求达587万片/年,市场空间达231亿元。光伏逆变器:“大组件、大逆变器、大组串”时代,光伏电站电压等级从1000V提升至1500V以上,碳化硅功率器件有望成为标配。我们假设2025年碳化硅渗透率提升至50%,对应SiC衬底市场达30亿元。行业核心瓶颈在于供给端不足。
2)竞争格局:国内外差距在逐步缩小,国产替代可期。目前海外龙头(Wolfspeed、II-VI占据60%以上市场份额)已实现6英寸规模化供应、向8英寸进军。国产厂家(天岳先进、天科合达、晶盛机电、露笑科技等)以小尺寸为主、向6英寸进军。但可观测到,国内外差距正在缩小、且整体差距小于传统硅基半导体。国内外差距已从过去的10-15年(4英寸)、缩小至5-10年以内(6英寸)。预计未来向8英寸进军过程中,差距有望进一步缩小。
3)生产工艺:较硅基半导体难度大幅增加;长晶环节是关键。碳化硅衬底属于技术密集型行业。核心难点在于:长晶工艺复杂(只有4H型等少数几种是所需的晶型),生长速度慢(每小时仅能生长0.2-0.3mm,较传统晶硅慢近百倍以上),产出良率低(硬度与金刚石接近,切磨抛难度大)。“产学研用”为国内碳化硅衬底发展的重要推进动力。国内高校和科研单位主要包括中科院物理所、山东大学、上海硅酸盐所等。
4)行业趋势:降本是产业化核心,向大尺寸延伸。目前6英寸SiC衬底价格在1000美金/片,数倍于传统硅基半导体。未来降本方式包括:提升材料使用率(大尺寸化,由4英寸向6英寸、8英寸延伸)、降低制造成本(提升良率)、提升生产效率(更成熟长晶工艺)。
SiC衬底设备:与传统晶硅差异较小,工艺调教为核心壁垒
主要包括:长晶炉、切片机、研磨机、抛光机、清洗设备等。与传统传统晶硅设备具一定相通性、但工艺难度更高。碳化硅衬底第三方设备厂商较少,企业更多为设备+制造一体化布局为主,便于将核心工艺机密掌握自己手里。设备+工艺联合研发、形成互哺是关键。
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