拨开绿塑的迷雾——可堆肥、可生物降解、生物塑料有什么区别？
我国包装行业已进入升级提质和深度转型的关键发展时期，实现包装工业的“可持续发展”，还存在诸多共性问题和制约瓶颈。研究全球包装领域最新趋势和驱动因素，对我国包装行业未来走向有着重要的借鉴意义。
可持续性（Sustainability）对于包装行业来说并不陌生了，不过您是否对包装的可持续性的某些定义感到困惑？老实讲，您也许并不是一个人。可持续发展中最令人困惑的领域之一：『可堆肥』（Compostable）、『可生物降解』（Biodegradable）和『生物塑料』（Bioplastic）包装的交叉问题。虽然这三个名词在循环经济话题的讨论中总是被一同提及，但它们并不是同义词。
举个例子，很多人可能不知道，以植物为原料的包装材料本身并不一定是可堆肥或可生物降解的；而某些可堆肥的材料则来自于油基资源；另外，可堆肥的材料，它也不一定是可生物降解的。
是不是开始有点绕晕了？很多关于如何正确处理包装的重要信息就是被淹没在这些弯弯绕绕的专业知识旋涡当中去了。因此，如果消费者没有得到清晰、妥当的引导和科普，可持续性发展的努力可能就会因此付之东流。
虽然不一定需要我们以成为专家的程度来理解可持续性发展“光谱”中，各类 “绿色”色调的细微差别，但多了解些知识总是有益的，不是吗？本周，小编就对这三个可持续领域的基本术语的差异和区别进行了梳理。
『生物塑料』是由天然材料制成的，最常见的是淀粉、纤维素、乳酸等糖类，比如大豆、玉米、藻类、羽毛和木材等材质。玉米淀粉是最常见的被用来制成生物塑料的材质——聚乳酸（PLA）；还有另一种流行的生物塑料，是由马铃薯和油菜籽制造而成的聚羟基脂肪酸酯（PHA）。此外，天然材料也可以通过发酵形成传统油基塑料的生物基版本，例如生物PET（涤纶树脂）。
『可堆肥』的材料指的是能随着时间的推移自然分解成有营养、农业用途的肥料，是使用真菌、细菌、动物蛋白和其他生物制作而成的。目前有两种类型的可堆肥材料——「家用堆肥」（Home Compostable）和「工业堆肥」（Industrial Compostable）。「家用堆肥」材料是指可以在自然环境温度下与食物残渣、草屑、树叶或其他有机材料一起降解。家用堆肥材料的认证标准很严格，必须在6个月内降解（物理分解），并在12个月内形成堆肥（化学分解）才能够被认证为家用堆肥。「工业堆肥」材料需要更高的温度和特定标准水平的碳、氧、氮来降解，不过它们的分解速度更快。此外，工业堆肥材料的认证是必须在180天内进行生物降解并形成堆肥。
『可生物降解』的材料指的是用生物分解技术，使材料可以在土壤或水中被微生物代谢分解成自然物质（水、甲烷），而不需要外界的干预。能被认证的土埋可生物降解材料必须是厌氧降解，或者无氧降解。为了达到海洋生物降解的标准，材料必须在3个月内进行物理分解，并在水中6个月内进行生物降解。
可堆肥和可生物降解材料之间还有几个关键的区别——可堆肥材料不能像垃圾场填埋的可生物降解材料一样被无氧降解，也不能像海洋生物降解材料一样在水中降解；同样，由于它们的分解环境不同，可生物降解材料也不能形成堆肥。
当供应商、加工商和品牌商在确定哪些材料能作为一个行业可持续性发展的目标而努力寻求一致时，起初因语焉不详而导致的定义模糊问题很快就会演变成一个商业问题。例如，大多数公司都在寻找方法来减少整个供应链环节的温室气体（GHG）排放量。与石油基塑料相比，生物塑料的生产需要的碳更少，有时甚至可以抵消包装生产过程中产生的碳。然而，在材料收货和运输的过程中涉及的范围三排放（Scope 3 Emissions）有时会产生比传统塑料更大的碳足迹。范围三排放是指公司在整个供应链环节（从原材料的收获到物流运输）中没有直接控制的间接排放，它是一个公司的碳足迹占比最大的部分，通常占温室气体排放的80%，甚至更多。
而且，如果业内人士对这个问题也感到迷惑，我们怎么能指望消费者们能够正确地处理他们手中的新型材料包装呢？
可堆肥和可生物降解的塑料是不可回收的，在进入最终回收流之前都会被扔掉。这样一来，本属于可持续性包装的好处被否定了，而塑料垃圾却在不断增加。每年，全世界只有9%的塑料被回收，因此，任何可持续性包装的处理方式都不应是简单粗暴地填埋或者丢到海洋中，这只会助长『白色污染』现象。
业内人士应当做的，第一步就是了解生物塑料、可生物降解和可堆肥的材料特性、生命周期、采购方式和转换挑战。接下来，品牌方必须考虑其包装的要求。比方说，品牌是想要解决一次性食品容器的食品污染隐患问题？还是想要寻求既安全又耐用的皮肤护理产品包装方案？塑料应该是选择柔性的还是耐热的？等等细节性问题。
一个品牌的可持续性发展目标对决定其包装的材料选择方面也发挥着作用。比如他们是想减少对化石燃料的使用？还是想提高包装报废时的可持续性？或者两者兼而有之？这些问题的答案将有助于指导品牌做出最终的决定。品牌还必须确保其包装可以通过正确的处置说明帮助消费者完成循环。包装上应该清楚地表明它们是否需要回收、堆肥（家用或工业），以及更进一步的处置说明。
大多数人确实想回收、利用包装物的。但有时人们在没有真正了解他们所在地区是否能处理这类材料包装的情况下就把这些东西扔进回收垃圾桶。当城市回收设施（MRF）不能接受、处理某种材料时（这种情况经常发生），它就被填埋了，这就失去了材料本身被创作出的目的。
其实，对于那些了解这些问题并致力于以最环保的方式处理包装的消费者来说，家用堆肥包装可以是一个很好的选择，比如拿来种点小葱、蒜头什么的，还能增添些生活情趣。
在整个包装产品领域，品牌正在采取措施来实现他们的可持续包装目标，这些都是有目共睹的，特别是对于包装物完成“包装”使命后，又该何去何从的问题。捷普公司（Jabil，美国）与新龙国际研究公司（SIS International Research，香港）进行的《2022年可持续包装趋势调查》（2022 Sustainable Packaging Survey Report）中显示，98%的受访者表示他们已经采取了一些使包装可持续化的行动，其中的23%表示已经有了一个完全成熟的计划与流程。受访者还表示「可堆肥」和「可生物降解」的包装非常能引起他们的兴趣，48%的受访者说他们正在结合或评估可堆肥和可生物降解材料在其可持续性包装计划中的使用。对于42%的参与者来说，这些新材料是他们最优先考虑的可持续性包装选择，仅次于纸质包装。
调查中另一个有趣的发现是，品牌们正表现出更多的意愿——即为了可持续性发展的收益而在产品保护要求上做出略微让步。在2019年，81%的调查对象表示，在产品保护力度方面，可持续性包装方案必须与非可持续性方案相同或更大；而在2021年，只有68%的人持相同看法。这可能表明，消费者可能愿意用较短的产品保质期来换取可堆肥、可生物降解、生物包装所提供的更积极向上的“绿色生活”。
我国包装行业已进入升级提质和深度转型的关键发展时期，实现包装工业的“可持续发展”，还存在诸多共性问题和制约瓶颈。研究全球包装领域最新趋势和驱动因素，对我国包装行业未来走向有着重要的借鉴意义。
可持续性（Sustainability）对于包装行业来说并不陌生了，不过您是否对包装的可持续性的某些定义感到困惑？老实讲，您也许并不是一个人。可持续发展中最令人困惑的领域之一：『可堆肥』（Compostable）、『可生物降解』（Biodegradable）和『生物塑料』（Bioplastic）包装的交叉问题。虽然这三个名词在循环经济话题的讨论中总是被一同提及，但它们并不是同义词。
举个例子，很多人可能不知道，以植物为原料的包装材料本身并不一定是可堆肥或可生物降解的；而某些可堆肥的材料则来自于油基资源；另外，可堆肥的材料，它也不一定是可生物降解的。
是不是开始有点绕晕了？很多关于如何正确处理包装的重要信息就是被淹没在这些弯弯绕绕的专业知识旋涡当中去了。因此，如果消费者没有得到清晰、妥当的引导和科普，可持续性发展的努力可能就会因此付之东流。
虽然不一定需要我们以成为专家的程度来理解可持续性发展“光谱”中，各类 “绿色”色调的细微差别，但多了解些知识总是有益的，不是吗？本周，小编就对这三个可持续领域的基本术语的差异和区别进行了梳理。
『生物塑料』是由天然材料制成的，最常见的是淀粉、纤维素、乳酸等糖类，比如大豆、玉米、藻类、羽毛和木材等材质。玉米淀粉是最常见的被用来制成生物塑料的材质——聚乳酸（PLA）；还有另一种流行的生物塑料，是由马铃薯和油菜籽制造而成的聚羟基脂肪酸酯（PHA）。此外，天然材料也可以通过发酵形成传统油基塑料的生物基版本，例如生物PET（涤纶树脂）。
『可堆肥』的材料指的是能随着时间的推移自然分解成有营养、农业用途的肥料，是使用真菌、细菌、动物蛋白和其他生物制作而成的。目前有两种类型的可堆肥材料——「家用堆肥」（Home Compostable）和「工业堆肥」（Industrial Compostable）。「家用堆肥」材料是指可以在自然环境温度下与食物残渣、草屑、树叶或其他有机材料一起降解。家用堆肥材料的认证标准很严格，必须在6个月内降解（物理分解），并在12个月内形成堆肥（化学分解）才能够被认证为家用堆肥。「工业堆肥」材料需要更高的温度和特定标准水平的碳、氧、氮来降解，不过它们的分解速度更快。此外，工业堆肥材料的认证是必须在180天内进行生物降解并形成堆肥。
『可生物降解』的材料指的是用生物分解技术，使材料可以在土壤或水中被微生物代谢分解成自然物质（水、甲烷），而不需要外界的干预。能被认证的土埋可生物降解材料必须是厌氧降解，或者无氧降解。为了达到海洋生物降解的标准，材料必须在3个月内进行物理分解，并在水中6个月内进行生物降解。
可堆肥和可生物降解材料之间还有几个关键的区别——可堆肥材料不能像垃圾场填埋的可生物降解材料一样被无氧降解，也不能像海洋生物降解材料一样在水中降解；同样，由于它们的分解环境不同，可生物降解材料也不能形成堆肥。
当供应商、加工商和品牌商在确定哪些材料能作为一个行业可持续性发展的目标而努力寻求一致时，起初因语焉不详而导致的定义模糊问题很快就会演变成一个商业问题。例如，大多数公司都在寻找方法来减少整个供应链环节的温室气体（GHG）排放量。与石油基塑料相比，生物塑料的生产需要的碳更少，有时甚至可以抵消包装生产过程中产生的碳。然而，在材料收货和运输的过程中涉及的范围三排放（Scope 3 Emissions）有时会产生比传统塑料更大的碳足迹。范围三排放是指公司在整个供应链环节（从原材料的收获到物流运输）中没有直接控制的间接排放，它是一个公司的碳足迹占比最大的部分，通常占温室气体排放的80%，甚至更多。
而且，如果业内人士对这个问题也感到迷惑，我们怎么能指望消费者们能够正确地处理他们手中的新型材料包装呢？
可堆肥和可生物降解的塑料是不可回收的，在进入最终回收流之前都会被扔掉。这样一来，本属于可持续性包装的好处被否定了，而塑料垃圾却在不断增加。每年，全世界只有9%的塑料被回收，因此，任何可持续性包装的处理方式都不应是简单粗暴地填埋或者丢到海洋中，这只会助长『白色污染』现象。
业内人士应当做的，第一步就是了解生物塑料、可生物降解和可堆肥的材料特性、生命周期、采购方式和转换挑战。接下来，品牌方必须考虑其包装的要求。比方说，品牌是想要解决一次性食品容器的食品污染隐患问题？还是想要寻求既安全又耐用的皮肤护理产品包装方案？塑料应该是选择柔性的还是耐热的？等等细节性问题。
一个品牌的可持续性发展目标对决定其包装的材料选择方面也发挥着作用。比如他们是想减少对化石燃料的使用？还是想提高包装报废时的可持续性？或者两者兼而有之？这些问题的答案将有助于指导品牌做出最终的决定。品牌还必须确保其包装可以通过正确的处置说明帮助消费者完成循环。包装上应该清楚地表明它们是否需要回收、堆肥（家用或工业），以及更进一步的处置说明。
大多数人确实想回收、利用包装物的。但有时人们在没有真正了解他们所在地区是否能处理这类材料包装的情况下就把这些东西扔进回收垃圾桶。当城市回收设施（MRF）不能接受、处理某种材料时（这种情况经常发生），它就被填埋了，这就失去了材料本身被创作出的目的。
其实，对于那些了解这些问题并致力于以最环保的方式处理包装的消费者来说，家用堆肥包装可以是一个很好的选择，比如拿来种点小葱、蒜头什么的，还能增添些生活情趣。
在整个包装产品领域，品牌正在采取措施来实现他们的可持续包装目标，这些都是有目共睹的，特别是对于包装物完成“包装”使命后，又该何去何从的问题。捷普公司（Jabil，美国）与新龙国际研究公司（SIS International Research，香港）进行的《2022年可持续包装趋势调查》（2022 Sustainable Packaging Survey Report）中显示，98%的受访者表示他们已经采取了一些使包装可持续化的行动，其中的23%表示已经有了一个完全成熟的计划与流程。受访者还表示「可堆肥」和「可生物降解」的包装非常能引起他们的兴趣，48%的受访者说他们正在结合或评估可堆肥和可生物降解材料在其可持续性包装计划中的使用。对于42%的参与者来说，这些新材料是他们最优先考虑的可持续性包装选择，仅次于纸质包装。
调查中另一个有趣的发现是，品牌们正表现出更多的意愿——即为了可持续性发展的收益而在产品保护要求上做出略微让步。在2019年，81%的调查对象表示，在产品保护力度方面，可持续性包装方案必须与非可持续性方案相同或更大；而在2021年，只有68%的人持相同看法。这可能表明，消费者可能愿意用较短的产品保质期来换取可堆肥、可生物降解、生物包装所提供的更积极向上的“绿色生活”。
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
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