给摩尔定律续命,EUV光刻暂难当大任

2019-12-17 17:54:16 来源: 科技日报 作者: 张蕴

近年来,在半导体行业,极紫外光刻(Extreme Ultra-Violet,以下简称EUV光刻)成为备受众多企业关注的光刻技术之一。

前段时间,台湾积体电路制造股份有限公司宣布,已采用7纳米EUV工艺。今年,三星公司正式发布了7纳米EUV芯片Exynos 9825,该公司称此芯片将晶体管性能提高了20%至30%,将功耗降低了30%至50%。

之所以备受关注,一个重要的原因是,有传闻称,EUV光刻有望成为摩尔定律的“救星”。

半个多世纪以来,半导体行业按照摩尔定律不断发展,由此驱动了一系列的科技创新。随着芯片尺寸越来越逼近物理极限,摩尔定律在未来是否依旧奏效,成为现在全行业都在关注的问题。

那么,这项技术能否为摩尔定律“续命”?它又是否已经到了最好的应用节点?针对上述问题,科技日报记者采访了业内专家。

将电路图和电子元件“刻”到“底片”上

在认识EUV光刻前,让我们先来认识一下光刻技术。

“其实,光刻技术跟照相技术差不多,照相是将镜头里的图画‘印’到底片上,而光刻是将电路图和电子元件‘刻’到‘底片’上。”北京理工大学材料学院副研究员常帅在接受科技日报记者采访时介绍道,在光刻工艺中,通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”,电路图案经光刻机,缩微投射到“底片”上。制造芯片,要重复几十遍这个过程。

“光刻技术的主要作用,就是把芯片上的线路与功能区做出来。”曾在半导体行业工作多年的北京理工大学材料学院博士生孟令海对科技日报记者表示,利用光刻机发出的光,通过带有图形的光罩,对涂有光刻胶的薄片进行曝光,光刻胶见光后会发生化学反应,从而使光罩上的图形印到薄片上,线路和功能区随之显现。

常帅表示,在芯片加工过程中,光刻是其中一个重要的步骤,其甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤,决定着制造工艺的先进程度。

摩尔定律指出,芯片上可容纳的元器件数目每隔18个月翻1倍,同时芯片性能每隔18个月提高一倍,而价格下降一半。

“光刻技术的‘雕刻’精细度,直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而,光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术,如果没有光刻技术的进步,芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。”常帅说。

孟令海向记者说,随着芯片制造工艺由微米级向纳米级发展,光刻机所采用的光波波长也从近紫外(NUV)区间的436纳米、365纳米,进入深紫外(DUV)区间的248纳米、193纳米。

EUV光源波长为主流光源的1/14

EUV光刻所用的光波,是波长为13.5纳米的极紫外光。相比当前主流光刻机所采用的193纳米光源,EUV光源的波长约为前者的1/14,这使其能在硅片上“刻”出更细的痕迹。

“业内形容EUV光刻的精细程度,常打的一个比方是,好比从地球上射出的一缕手电筒光,其能精准地照到月球上的一枚硬币。”孟令海说。

为满足摩尔定律的要求,技术人员一直在研究、开发新的芯片制造技术,来缩小线宽并增大芯片的容量。“线宽是指芯片上最小导线的宽度,是衡量芯片制作工艺先进性的重要指标之一。”常帅说。

“如今,芯片制造商大多使用波长为193纳米的光刻技术,用其在‘底片’上‘描绘’出精细的图案。但实际上,193纳米光刻目前已经达到了技术极限,只能支持80纳米的线宽工艺,无法在芯片上实现更小线宽。”常帅说,由于光源更细,EUV光刻技术可以满足22纳米及更小线宽的集成电路生产要求。

“可以说,EUV是目前距离实际生产最近的一种深亚微米光刻技术。如果采用该光刻技术,可在芯片上实现10纳米以内的线宽。”孟令海说。

摩尔定律不只对性能提出要求,另一个要求是成本的降低。所以,“救星”还必须承担起省钱的重任。EUV光刻技术恰好能符合这个要求。

常帅介绍道,光刻机在工作过程中,要频繁地进行曝光。简单来说,就是用光线照射硅片,让未受掩模遮挡部分的光刻胶发生化学反应,这样才能将石英掩模上的电路图显影到硅片上,以便后续进行刻蚀、去胶等一系列工序。

“目前,主流制造商生产1枚芯片,可能需要进行4次,甚至更多次的曝光。若采用EUV光刻技术,只需1次曝光就够了,这样就可大幅降低生产制造成本。”孟令海说,换句话说,EUV光刻技术不仅提升了刻录的精细程度,也能让芯片的价格更便宜,符合摩尔定律对成本的要求。

不仅如此,EUV光刻技术之所以受到各大集成电路生产厂商的关注,还因为该光刻技术是传统光刻技术的拓展,能使现有生产工艺得以延续。

让摩尔定律至少再延续10年

既然EUV光刻技术好处多多,这么看来,为摩尔定律“续命”的重任,可以放心交给它了。

然而,事实并非如此。

常帅和孟令海介绍,目前来看,EUV光刻技术进展比较缓慢。同时,极紫外光刻光学系统的设计和制造也极其复杂,尚存在许多未被解决的技术难题。

据孟令海分析,EUV光刻技术目前主要面临三大挑战。

“首先是光源效率,即每小时能‘刻’多少片,按照量产工艺要求,光刻效率要达到每小时250片,而现在EUV光刻效率尚难达到这一要求,因此还需进一步提高,但实现难度相当大。其次是光刻胶,EUV光刻机和普通光刻机的技术原理不同,普通光刻机采用投影进行光刻,而EUV光刻机则是利用反射光,需要借助反光镜,这使得光子和光刻胶的化学反应变得不可控,有时会出现差错。最后是光刻机保护层的透光材料,要提高光刻机的刻录精度,就需要在其上面增加一个保护层,但现有保护层材料质量欠佳、透光性比较差。”孟令海说。

此外,据常帅分析,EUV光刻工艺的良品率也是阻碍EUV光刻发展的“绊脚石”。目前,采用一般光刻机生产的芯片,其良品率约为95%,而EUV光刻机的良品率仅为70%至80%。

“要想解决这些问题,关键是要提升市场订单数量,只有订单多了,厂商用得多了,才能吸引更多光源、材料等上下游企业共同参与研发,进而完善EUV光刻产业链。”常帅说。

即使在技术上达到要求,收益缺乏足够的吸引力,也很难让制造企业产生应用新技术的动力。目前看来,采用EUV光刻技术的生产成本十分高昂。

资料显示,最新的EUV光刻机价格或超过1亿欧元,是常规193纳米光刻机价格的2倍多。此外,由于功率极高,EUV光刻设备在生产时消耗的电量也远超现有同类机器。

那么,目前来看,EUV光刻技术能为摩尔定律的延续,起到哪些作用呢?

孟令海表示,在光刻线条宽度为5纳米及以下生产工艺中,EUV光刻技术具有不可替代性,在未来较长一段时间内,EUV光刻技术都可能成为延续摩尔定律发展的重要力量。“因此,如果解决了工艺技术和制造成本等难题,EUV光刻设备将是7纳米以下工艺的最佳选择,它可让摩尔定律至少再延续10年时间。”孟令海说。

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绿色发展提质增效激发新动能 上市公司跑出产业“加速度”
 ■本报记者 包兴安
  近年来,生态文明建设被提到前所未有的高度。作为中国经济的支柱力量之一,上市公司积极深入践行绿色发展理念,运用循环经济、节能环保等新技术,实现了可持续的发展,掀开了绿色高质量发展的新篇章。
  践行绿色发展理念
  “绿色发展是实现我国供给侧结构性改革的重要方针,上市公司作为资本市场的重要参与者,在落实环境保护责任方面责无旁贷。”中央财经大学绿色金融国际研究院院长王遥对《证券日报》记者表示,基于全球绿色发展理念以及政府对于绿色发展的扶持力度,我国上市企业也越来越重视公司的可持续性发展,在贯彻绿色发展理念,提高公司治理和规范化运作水平方面取得了一定成效。
  据中央财经大学绿色金融国际研究院统计,我国上市公司社会责任报告披露数量持续增长。以A股为例,披露社会责任报告的企业从2016年的801家,增长到2018年的934家,其中624家上市企业已连续5年发布了社会责任报告。
  同时,截至2019年9月份,有1402家企业入选绿色工厂,主要覆盖了电子、轻工、机械、建材、食品等十几个行业,积极推动环保技术和绿色制造领域的发展,以实际行动践行绿色发展的理念。此外,一些上市公司还积极应用绿色金融工具进行投融资,进一步丰富绿色金融产品市场。根据中央财经大学绿色金融国际研究院统计显示,2018年,我国共有24家上市企业发行了29只贴标绿色债券,金额达到1057.8亿元。
  据记者了解,目前我国在低消耗、低污染、低排放的绿色制造方面取得突破性进步,一批上市公司畅通了相关产业绿色生态链,实现绿色发展。
  “在垃圾分类、低碳环保、清洁能源等利好政策下,上市公司绿色发展成效显著,其业绩呈现出稳步增长态势。”盘古智库高级研究员盘和林对《证券日报》记者表示,绿色发展不仅作为一种环保理念在提倡深化,更为环保公司带来真金白银的经济效益。
  从披露的2019年上市公司半年报可以看出,在绿色发展理念下,部分公司营业收入和净利润均有较大增长。
  近日,盈峰环境发布2019年半年报显示,上半年公司实现营业收入61.15亿元,同比增长4.45%,实现归属于母公司股东的净利润6.36亿元,同比增长72.22%。盈峰环境称,上半年受益于垃圾分类、蓝天保卫战、农村人居环境整治等利好政策,环卫装备继续保持稳健增长态势。报告期,公司实现销售收入346393.90万元,同比增长8.49%,市场占有率稳居行业第一。随着垃圾分类在全国范围内的开展,公司充分抓住垃圾分类的契机,进一步扩大垃圾收转运准备的销售及市场份额。
  “垃圾分类、低碳环保、清洁能源等利好政策极大地推动了社会对环保技术、设备甚至整个产业链的市场需求。”盘和林表示,上市公司对环保设备、技术的成熟应用能够有效降低生产成本,提高资源利用效率,实现清洁、高效生产,带来长远的经济效益。
  海螺水泥发布的2019年半年报显示,上半年公司营业收入716亿元,同比增长56.63%;归属于上市公司股东的净利润153亿元,同比增长17.91%。基本每股收益2.88元。半年报显示,海螺水泥自1997年上市以来,集中精力做大做强水泥主业,注重自主创新、科技创新,大力推进节能环保技术应用,发展循环经济。
  近年来,海螺集团将目光投向了可循环清洁能源。例如,2018年11月8日,集团首条生物质燃料系统在柬埔寨马德望海螺水泥有限公司投入使用。据了解,该系统结合了当地水稻规模种植的优势,使用稻壳作为燃料,保证热量和余灰被完全利用,后期还计划在国内生产线推广替代燃料应用技术,实现废物回收利用循环发展。
  盘和林表示,循环经济、绿色发展符合社会可持续发展需要,在国家多项利好政策下,环保公司一方面在发展过程中能够享受税收优惠、政府补贴等直接支持政策。另一方面,在循环经济的发展趋势下,环保设备、产品的市场需求不断扩张,节能环保技术更加成熟,运维成本逐步降低,为环保公司创造了实实在在的经济效益,加速了环保产业的发展和完善。
  “上市公司坚持绿色发展,不仅是在践行国家的有关政策,也是其向高质量发展的必由之路。”王遥认为,上市公司进行科技创新、技术升级、精细管理不仅能够降低排放,减少污染,实现环境友好,提升企业的核心竞争力与公司的治理水平,为企业的可持续发展奠定基础。
  “大量国内外的学术研究成果已经证明,企业在环境方面的表现与其业绩是呈正相关关系。”据王遥介绍,中央财经大学绿色金融国际研究院研究团队先后对中国上市公司ESG表现与企业绩效以及债券违约率进行相关性研究,结果表明,公司的绿色绩效和ESG绩效与公司的市净率、市盈率呈现正相关,与系统性风险系数(Beta)呈现负相关。同时,绿色表现、ESG表现越好,企业债券违约或降级概率越低。
  王遥认为,上市公司通过践行绿色发展理念,提高自身绿色表现可以实现4个目的:一是符合监管要求。A股已经要求重点污染企业强制披露环境信息,未来预计将进一步出台强制全部上市公司进行环境信息披露的政策,对在A股上市的企业和拟上市企业来说要做好信息披露的准备。
  二是进行市值管理。随着MSCI进入中国市场,国内金融投资机构开始关注ESG风险,国内社保基金和养老基金也对ESG投资进行考量。越来越多的ESG投资需求对公司环境、社会和治理信息披露提出了更高要求,公司完善自身ESG信息披露可以提高市值管理能力。
  三是降低融资成本。国内很多金融机构已经开始把公司环境风险纳入授信流程,因此,加强绿色发展有助于企业通过绿色金融工具进行投融资,通过发行绿色债券可以获得更低利率,通过绿色信贷可以获得利率优惠,通过绿色票据可以获得再贴现优惠。
  四是提升企业品牌形象。通过提高企业自身对环境信息披露、ESG信息披露的重视,可以降低公司非财务风险,同时满足客户、供应商等利益相关方的诉求。
  资本市场支持绿色发展
  近年来,我国强化了资本市场支持绿色发展的职能,取得了显著的进展。
  上市公司环境信息披露等不断完善。我国上市公司的环境信息披露水平在相关政策的积极推动下不断提升。据中央财经大学绿色金融国际研究院统计数据显示,2018年,在生态环境部公布的重点排污单位的360多家上市公司名单中,超过90%的公司在年报中披露了环境信息;在近3100家非重点排污单位的上市公司中,超过60%的公司在年报中披露了相关的环境信息。
  绿色金融产品种类更加丰富。截至今年上半年,我国相关机构编制的可统计的绿色股票指数和绿色债券指数共有44条,以环保、低碳、新能源、清洁能源、可持续环境治理、社会责任、公司治理为主体的证券投资基金共计119只,规模近700亿元。
  据王瑶介绍,中央财经大学绿色金融研究院就先后推出了“中证-中财沪深100ESG领先股票指数”“中财-国证高等级绿色债券指数”“美好中国ESG100指数”等以绿色理念、ESG为核心的绿色债券和股票指数。
  中央财经大学绿色金融国际研究院发布的数据显示,绿色债券规模不断扩大。截至今年上半年,交易所绿色公司债券共发行1591亿元,2019年上半年绿色公司债券发行规模首次超过绿色金融债券,同比增长了900%以上。
  资本市场上国际绿色金融合作与交流步伐加大。2018年证监会加入国际证监会组织(IOSCO)可持续金融联络组及其指导小组,参与IOSCO新兴市场委员会可持续融资工作组;推动将“中法双方培育两国绿色债券市场发展、合作推动绿色资产证券化发展”列入第六次中法高级别经济财经对话。
  “虽然我国在资本市场上,绿色金融取得了相当的成绩,但是与国外发达资本市场相比仍存在差距。”王瑶表示,未来,应立足我国国情,出台相关政策与配套措施,进一步推动资本市场绿色金融的创新发展。为此,她给出了以下四个“药方”:
  一是进一步完善绿色金融基础设施建设。加强基础建设对绿色金融发展的支持,协调解决如绿色债券第三方认证市场规范等影响市场成熟度的问题,以充分发挥绿色债券、绿色资产支持证券等的作用。
  二是激励政策的出台与执行。国家有关部门应出台相应政策,进一步支持与鼓励资本市场绿色金融发展,并完善绿色金融外部的制度环境,强化法律与政策之间的协调度,进一步保证政策的持续性。同时,在地方执行层面做好金融与财税部门的互动,保证政策的执行效果。
  三是继续加强全球绿色金融合作。在各国建设绿色金融体系的共同目标下,中国可以通过积极参与不同形式的绿色金融国际政策与国际监管活动,推动国际绿色金融标准的制定和应用,从而促进国际最佳实践经验的传播。
  四是研究制定上市公司ESG披露细则。ESG信息披露有利于促进市场上绿色金融产品的创新,为投资者提供多元化的ESG投资工具,同时有助于推出针对性鼓励政策,进而推动证券市场绿色化。因此,应综合考虑多种因素,加快细则的制定和出台。
  盘和林认为,充分发挥资本市场对绿色发展的支持效应,降低绿色企业融资成本,对推动循环经济、绿色发展具有重要意义。一方面,资本市场应进一步支持环保企业上市融资、推动绿色债券市场发展,扩宽环保企业融资渠道,进一步为绿色发展融资提供便利;另一方面,监管部门应针对绿色发展细化信披要求,加强信披监督,确保资金用途与筹资初衷的一致性,严防对绿色企业、环保项目优惠政策的冒名滥用,确保资源投入和政策倾斜的规范落实。
  2019-9-24来源:证券日报


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