#每日一善[超话]##阳光信用#中华民族传统美德，倡导“格物、致知、诚意、正心、修身、齐家可巧手以继拙作，不可庸工以当精制、治国、平天下”的实现人生理想的步骤和模式。暖气掀动窗帘，其后模糊的窗框随光流移动，如缓缓行进的列车，把我带向远方这种为人处世的基本道德观念，是人类进行物质生产活动和自身生存发展的基本要求，也是人们共同生活的起码的行为准则在你的胸前，我已变成会唱歌的鸢尾花，你呼吸的轻风吹动我，在一片叮当响的月光下 ——《会唱歌的鸢尾花》 舒婷
上海儿童医院院长于广军：医疗机构的数字化转型之路
在2008年“智慧地球”概念被提出后，“智慧”概念被不断延伸至各个领域，如智慧交通、智慧银行、智慧电力等，对于高技术含量的医疗领域来说智慧医院也被提出，并将成为未来的发展趋势。
智慧医院的“智慧”需要体现在感知、传输、决策这三个关键词中。如果将这三方面比喻为人体的一部分，感知便是感觉器官，需要全方位的自动信息采集；传输是神经内分泌网络，需要进行及时有效的传输；决策为大脑中枢，要起到智能的决策支持作用。这样智慧医院才能体现以人为本的核心，达到因需而变、便捷高效、体现卓越价值的目标。
目前，我国的智慧医院建设尚处于初级阶段。物联网、第五代移动通信技术(5G)处于初步发展阶段，人工智能更是刚刚起步，但未来智慧医院的建设离不开新一代人工智能的支撑。这种新技术将在应用层面、基础层面、管理层面发挥重要作用，更会助力医院高质量发展。
医院的智慧发展将促使医学模式进化，比如精准医学、智能医学；促使服务模式优化，支撑医院能够全程连续为患者服务的同时，推动自身学科的整合和专科的细分；还能促使医院管理精益量化，从传统管理走向数据驱动、循证管理、精细管理、即时可视化的管理模式。可以说，向高质量转型发展是智慧医院建设的管理目标。
智慧医院的发展若想行稳致远，离不开国家政策的指引。2019年，《国家卫生健康委办公厅关于印发医院智慧服务分级评估标准体系(试行)的通知》发布，提出建立医院智慧服务分级评估标准体系，旨在指导医院以问题和需求为导向持续加强信息化建设、提供智慧服务，为进一步建立智慧医院奠定基础。医院智慧服务分级评估项目包括诊前服务、诊中服务、诊后服务、全程服务、基础与安全，各项目下又涵盖了细化的17个业务项目。其中，要达到第5级评审要求，需要9个基本项目达标，8个选择项目中要至少达标3个。
医院智慧服务是智慧医院建设的重要内容，是指医院针对患者的医疗服务需求，应用信息技术改善患者就医体验，加强患者信息互联共享，提升医疗服务智慧化水平的新时代服务模式。因此，评估标准让医院智慧服务的建设具有了指导性和方向性。
2021年，为落实《国家卫生健康委办公厅关于进一步完善预约诊疗制度加强智慧医院建设的通知》有关要求，指导医疗机构科学、规范地开展智慧医院建设，提升医院管理精细化、智能化水平，《国家卫生健康委办公厅关于印发医院智慧管理分级评估标准体系(试行)的通知》发布。
这项评估主要从医院智慧管理的功能和效果两方面进行，评估项目包括医疗护理管理、人力资源管理、财务资产管理、设备设施管理、药品耗材管理、运营管理、运行保障管理、教学科研管理、办公管理、基础与安全10个方面，各项目又细分为33项内容。与智慧服务评估不同的是，医院智慧管理信息系统达到某一等级时，其相应等级项目应全部达标，选择项目达标数量原则上应超过50%。
除了评估标准体系外，上海城市数字化转型也推动了智慧医院建设。2020年年底，上海市委、市政府印发《关于全面推进上海城市数字化转型的意见》，明确了上海城市数字化转型的总体要求。在“十四五”开局之年，“数字化转型”成为上海城市发展的重要发力点。
上海城市数字化转型的总体要求主要有三个方面：率先探索新经验，用数字化方式创造性解决超大城市治理和发展难题；率先应用新技术，用数字化场景牵引技术创新和扩大市场空间；率先转换新动能，用数据要素配置链接全球资源、大力激发社会创造力和市场潜力，全面提升城市治理能力和治理水平现代化。其核心内涵是整体性转变、全方位赋能、革命性重塑，其中整体性转变是要推动“经济、生活、治理”全面数字化转型，这就包括要结合新技术和新制度的供给，以数字化推动公共卫生、健康、养老等基本民生保障更均衡、更精准、更充分，还要打造智慧医院、社区生活服务等数字化示范场景，从而提高生活品质。
医院数字化转型探索实践
上海城市数字化转型的理念应用于智慧医院建设同样适用。在医院数字化转型中，首先要通过智慧服务、智慧医疗、智慧管理来探索新的经验；其次要采用人工智能、5G、大数据、区块链等新技术；再次要转换新动能，例如在运营管理的数字化与精细化、全人员管理、医疗质量监管、科教管理、财务运营绩效管理、医疗设备管理、后勤保障管理等方面有所体现。
此外，医院数字化转型还需要有三重保障。一是观念更新，要推动医院由人力密集型向人机交互型转变，由经验判断型向数据分析型转变，由被动处置型向主动发现型转变。二是组织保障，智慧医院建设需要有诸如大数据中心、创新中心、信息委员会等组织的共同推进，同时加强相关培训，营造良好的氛围，让智慧医院建设工作落到实处。三是要筑牢新基建的数字底座，在智慧病房、智能楼宇建设方面加大投入。只有将这些理念内化于心，外化于行，才能实现真正的医院数字化转型。
在新时代发展智慧医院也需要有三个“新”，即“新基建+新预见+新发展”。要牢牢把握新基建的机遇，加快新兴技术在医疗卫生领域的应用。要将现有互联网医院升级为互联网医院2.0版，目前的互联网医院已实现便捷就医、在线复诊和配药功能，未来将要进一步推动便捷就医，实现智能导诊问诊、互联网智能客服、精准健康教育、专科慢病管理、互联网随访等7大场景。还要实现专科疾病的全流程管理和单一互联网医院向互联网医联体的转变。
上海市儿童医院围绕“以人为本”的核心，在智慧医院建设方面开展了诸多探索。
第一，升级打造互联网医院2.0版。具体到诊前服务，通过互联网在线预约已成为患者就诊的首选，通过将多渠道预约一体化，上海市儿童医院已做到精准预约，预约患者平均候诊时长缩短至21分钟。此外，基于自然语言处理、知识图谱、智能交互等人工智能技术，模拟临床医师诊疗思维，通过智能预问诊采集患者症状、体征、病史等信息，并将患者病史信息自动匹配到门诊电子病历系统。这将大大提升医师工作效率，节省书写病历的时间，也有助于改善医患沟通。目前，智能预问诊已在上海市儿童医院皮肤科、呼吸科、儿保科、神经内科、内分泌科等多个专科试点应用。
在患者随访及连续服务方面，上海市儿童医院建立了诊前诊后、术前术后和院内多途径、智能化、连续性的健康管理和随访模式，让医师随访更高效、让健康管理更智能，并且贯穿于患者就医和康复的各个场景。
第二，建设以人工智能与线上线下融合为特点的新一代临床信息系统。实现对门诊、住院、护理等临床场景数字化转型升级，强化医院内部业务互联一体，提高医疗服务能力。探索实现临床业务系统云化部署和管理，建立多院区、多业务、线上线下等诊疗一体化模式。
具体来说，是将病历文书、影像数据、病理报告、实验室数据等通过人工智能的多种技术应用于相似病例服务、疾病相关性分析、智能辅助、疾病预测分析、治疗有效性分析。不仅如此，各类基于人工智能的临床辅助决策支持系统也竞相迸发。例如，骨龄人工智能辅助诊断系统将医师的平均阅片时间从22分钟缩短至3秒钟，时间成本的节约带来了直接或间接的经济效益。
第三，参考国际标准，遵循国家和行业标准，建立涵盖医疗、教育、科研、管理的大数据平台，支撑医院科研能力及医学转化能力提升。具体表现为：通过互联网技术开展科室之间的医疗协同，比如远程医疗、预约转诊、疾病管理等；通过远程、知识库等技术，开展医师培训、带教、指导等工作，进行课件点播、信息发布、培训管理等在线教学，或是远程示教、教学指导、学术分享等远程教育；通过信息互联互通、移动通信等技术，开展科研数据采集和数据分析。而专病数据库的建立，能挖掘临床数据的潜在价值，推行疾病注册研究和比较效果研究，形成临床科研一体化研究与转化模式，助力儿童精准医疗。
第四，建设基于智慧大脑的一网统管，以绩效管理为核心，以智能楼宇、智慧病房、智能后勤、智能安防为基础的智慧运营管理平台。管理平台又细分为三个方面：一是建设全方位、多维立体，以医院运营管理及质量管理为核心的医院运营管理平台；二是对医院数据的一致性、完整性、整合性和及时性等进行管理的医疗质量管理平台；三是有机整合人力、财务、资产和业务资源，发挥资金效用，提高管理水平的资源管理平台。
第五，建设“5G+区块链”的区域医疗信息协同平台。上海市儿童医院将持续推进儿科医联体平台升级，建设远程医疗信息协同平台，构建“长三角”专科联盟平台。将互联网医院与儿科医联体“长三角”联盟平台深度融合，实现医联体内数据互联互通和远程业务协同，满足互联网医院业务从“点”到“线”再到“面”的全面发展。打造互联、融合、动态、循环、创新的互联网医院服务生态圈。此外，5G凭借大容量、大连接、低时延的特点，实现在医疗领域的应用快速落地，不断创新医疗场景，比如应急救治、移动重症监护、移动医疗设备管理、远程超声检查等。5G应用范围的不断扩大，将有助于打造面向重大突发公共卫生事件的智慧医疗系统。
科技改变未来是必然。通过人工智能的广泛应用，从购买资产到购买服务的转变，再到信息资源的共享和业务的重塑，智慧医院的建设将迎来高质量发展。
原文来源https://t.cn/A6XtVTPI
在2008年“智慧地球”概念被提出后，“智慧”概念被不断延伸至各个领域，如智慧交通、智慧银行、智慧电力等，对于高技术含量的医疗领域来说智慧医院也被提出，并将成为未来的发展趋势。
智慧医院的“智慧”需要体现在感知、传输、决策这三个关键词中。如果将这三方面比喻为人体的一部分，感知便是感觉器官，需要全方位的自动信息采集；传输是神经内分泌网络，需要进行及时有效的传输；决策为大脑中枢，要起到智能的决策支持作用。这样智慧医院才能体现以人为本的核心，达到因需而变、便捷高效、体现卓越价值的目标。
目前，我国的智慧医院建设尚处于初级阶段。物联网、第五代移动通信技术(5G)处于初步发展阶段，人工智能更是刚刚起步，但未来智慧医院的建设离不开新一代人工智能的支撑。这种新技术将在应用层面、基础层面、管理层面发挥重要作用，更会助力医院高质量发展。
医院的智慧发展将促使医学模式进化，比如精准医学、智能医学；促使服务模式优化，支撑医院能够全程连续为患者服务的同时，推动自身学科的整合和专科的细分；还能促使医院管理精益量化，从传统管理走向数据驱动、循证管理、精细管理、即时可视化的管理模式。可以说，向高质量转型发展是智慧医院建设的管理目标。
智慧医院的发展若想行稳致远，离不开国家政策的指引。2019年，《国家卫生健康委办公厅关于印发医院智慧服务分级评估标准体系(试行)的通知》发布，提出建立医院智慧服务分级评估标准体系，旨在指导医院以问题和需求为导向持续加强信息化建设、提供智慧服务，为进一步建立智慧医院奠定基础。医院智慧服务分级评估项目包括诊前服务、诊中服务、诊后服务、全程服务、基础与安全，各项目下又涵盖了细化的17个业务项目。其中，要达到第5级评审要求，需要9个基本项目达标，8个选择项目中要至少达标3个。
医院智慧服务是智慧医院建设的重要内容，是指医院针对患者的医疗服务需求，应用信息技术改善患者就医体验，加强患者信息互联共享，提升医疗服务智慧化水平的新时代服务模式。因此，评估标准让医院智慧服务的建设具有了指导性和方向性。
2021年，为落实《国家卫生健康委办公厅关于进一步完善预约诊疗制度加强智慧医院建设的通知》有关要求，指导医疗机构科学、规范地开展智慧医院建设，提升医院管理精细化、智能化水平，《国家卫生健康委办公厅关于印发医院智慧管理分级评估标准体系(试行)的通知》发布。
这项评估主要从医院智慧管理的功能和效果两方面进行，评估项目包括医疗护理管理、人力资源管理、财务资产管理、设备设施管理、药品耗材管理、运营管理、运行保障管理、教学科研管理、办公管理、基础与安全10个方面，各项目又细分为33项内容。与智慧服务评估不同的是，医院智慧管理信息系统达到某一等级时，其相应等级项目应全部达标，选择项目达标数量原则上应超过50%。
除了评估标准体系外，上海城市数字化转型也推动了智慧医院建设。2020年年底，上海市委、市政府印发《关于全面推进上海城市数字化转型的意见》，明确了上海城市数字化转型的总体要求。在“十四五”开局之年，“数字化转型”成为上海城市发展的重要发力点。
上海城市数字化转型的总体要求主要有三个方面：率先探索新经验，用数字化方式创造性解决超大城市治理和发展难题；率先应用新技术，用数字化场景牵引技术创新和扩大市场空间；率先转换新动能，用数据要素配置链接全球资源、大力激发社会创造力和市场潜力，全面提升城市治理能力和治理水平现代化。其核心内涵是整体性转变、全方位赋能、革命性重塑，其中整体性转变是要推动“经济、生活、治理”全面数字化转型，这就包括要结合新技术和新制度的供给，以数字化推动公共卫生、健康、养老等基本民生保障更均衡、更精准、更充分，还要打造智慧医院、社区生活服务等数字化示范场景，从而提高生活品质。
医院数字化转型探索实践
上海城市数字化转型的理念应用于智慧医院建设同样适用。在医院数字化转型中，首先要通过智慧服务、智慧医疗、智慧管理来探索新的经验；其次要采用人工智能、5G、大数据、区块链等新技术；再次要转换新动能，例如在运营管理的数字化与精细化、全人员管理、医疗质量监管、科教管理、财务运营绩效管理、医疗设备管理、后勤保障管理等方面有所体现。
此外，医院数字化转型还需要有三重保障。一是观念更新，要推动医院由人力密集型向人机交互型转变，由经验判断型向数据分析型转变，由被动处置型向主动发现型转变。二是组织保障，智慧医院建设需要有诸如大数据中心、创新中心、信息委员会等组织的共同推进，同时加强相关培训，营造良好的氛围，让智慧医院建设工作落到实处。三是要筑牢新基建的数字底座，在智慧病房、智能楼宇建设方面加大投入。只有将这些理念内化于心，外化于行，才能实现真正的医院数字化转型。
在新时代发展智慧医院也需要有三个“新”，即“新基建+新预见+新发展”。要牢牢把握新基建的机遇，加快新兴技术在医疗卫生领域的应用。要将现有互联网医院升级为互联网医院2.0版，目前的互联网医院已实现便捷就医、在线复诊和配药功能，未来将要进一步推动便捷就医，实现智能导诊问诊、互联网智能客服、精准健康教育、专科慢病管理、互联网随访等7大场景。还要实现专科疾病的全流程管理和单一互联网医院向互联网医联体的转变。
上海市儿童医院围绕“以人为本”的核心，在智慧医院建设方面开展了诸多探索。
第一，升级打造互联网医院2.0版。具体到诊前服务，通过互联网在线预约已成为患者就诊的首选，通过将多渠道预约一体化，上海市儿童医院已做到精准预约，预约患者平均候诊时长缩短至21分钟。此外，基于自然语言处理、知识图谱、智能交互等人工智能技术，模拟临床医师诊疗思维，通过智能预问诊采集患者症状、体征、病史等信息，并将患者病史信息自动匹配到门诊电子病历系统。这将大大提升医师工作效率，节省书写病历的时间，也有助于改善医患沟通。目前，智能预问诊已在上海市儿童医院皮肤科、呼吸科、儿保科、神经内科、内分泌科等多个专科试点应用。
在患者随访及连续服务方面，上海市儿童医院建立了诊前诊后、术前术后和院内多途径、智能化、连续性的健康管理和随访模式，让医师随访更高效、让健康管理更智能，并且贯穿于患者就医和康复的各个场景。
第二，建设以人工智能与线上线下融合为特点的新一代临床信息系统。实现对门诊、住院、护理等临床场景数字化转型升级，强化医院内部业务互联一体，提高医疗服务能力。探索实现临床业务系统云化部署和管理，建立多院区、多业务、线上线下等诊疗一体化模式。
具体来说，是将病历文书、影像数据、病理报告、实验室数据等通过人工智能的多种技术应用于相似病例服务、疾病相关性分析、智能辅助、疾病预测分析、治疗有效性分析。不仅如此，各类基于人工智能的临床辅助决策支持系统也竞相迸发。例如，骨龄人工智能辅助诊断系统将医师的平均阅片时间从22分钟缩短至3秒钟，时间成本的节约带来了直接或间接的经济效益。
第三，参考国际标准，遵循国家和行业标准，建立涵盖医疗、教育、科研、管理的大数据平台，支撑医院科研能力及医学转化能力提升。具体表现为：通过互联网技术开展科室之间的医疗协同，比如远程医疗、预约转诊、疾病管理等；通过远程、知识库等技术，开展医师培训、带教、指导等工作，进行课件点播、信息发布、培训管理等在线教学，或是远程示教、教学指导、学术分享等远程教育；通过信息互联互通、移动通信等技术，开展科研数据采集和数据分析。而专病数据库的建立，能挖掘临床数据的潜在价值，推行疾病注册研究和比较效果研究，形成临床科研一体化研究与转化模式，助力儿童精准医疗。
第四，建设基于智慧大脑的一网统管，以绩效管理为核心，以智能楼宇、智慧病房、智能后勤、智能安防为基础的智慧运营管理平台。管理平台又细分为三个方面：一是建设全方位、多维立体，以医院运营管理及质量管理为核心的医院运营管理平台；二是对医院数据的一致性、完整性、整合性和及时性等进行管理的医疗质量管理平台；三是有机整合人力、财务、资产和业务资源，发挥资金效用，提高管理水平的资源管理平台。
第五，建设“5G+区块链”的区域医疗信息协同平台。上海市儿童医院将持续推进儿科医联体平台升级，建设远程医疗信息协同平台，构建“长三角”专科联盟平台。将互联网医院与儿科医联体“长三角”联盟平台深度融合，实现医联体内数据互联互通和远程业务协同，满足互联网医院业务从“点”到“线”再到“面”的全面发展。打造互联、融合、动态、循环、创新的互联网医院服务生态圈。此外，5G凭借大容量、大连接、低时延的特点，实现在医疗领域的应用快速落地，不断创新医疗场景，比如应急救治、移动重症监护、移动医疗设备管理、远程超声检查等。5G应用范围的不断扩大，将有助于打造面向重大突发公共卫生事件的智慧医疗系统。
科技改变未来是必然。通过人工智能的广泛应用，从购买资产到购买服务的转变，再到信息资源的共享和业务的重塑，智慧医院的建设将迎来高质量发展。
原文来源https://t.cn/A6XtVTPI
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
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