蚀刻掩模及蚀刻溶液对InP微加工形成V 型槽的影响
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
名下“僵尸公司”注销难，律师排除干扰帮助当事人化解信誉危机。
承办律师 江苏道多律师事务所律师 吴慧玲
【导读】 甲出资开办公司丙，由乙实际掌控，数年后发现公司人去楼空，未免影响信誉故申请注销。指定的清算组却以甲无法提供资料可能抽逃出资为由对甲提出收费。吴慧玲律师向法院提出清算组在无资料情况下应依法作出终结强制清算程序的结论。最终，甲依法注销了丙公司。
【成功案例入选理由】 坚决不向无稽之谈让步，坚定履行律师的工作职责，排除干扰，帮助当事人注销“僵尸公司”。
【基本案情】 十年前，甲、乙双方共同出资开办了丙投资咨询公司（以下简称：丙公司）并各自足额履行了出资义务。根据丙公司的《公司章程》，①乙担任丙公司的执行董事；②甲任丙公司监事；③丙公司的经营时间为十年。丙公司完成注册后，丙公司由乙实际掌控，甲未参与丙公司的实际经营，而是到国外经商，和乙也基本没有联系。
十年后，甲想起自己名下有一个和乙共同注册的丙公司，遂到丙公司注册地观察，发现丙公司早已人去楼空，乙也失联。
甲认为丙公司经营时间十年届满后，应该有一个说法，否则，自己名下有一个经营时间届满且人去楼空的丙公司，很可能会对自己的社会信誉产生影响，甚至严重影响自己在国外经商的活动。遂向我们的律师咨询，如何才能依法圆满处理这个问题。
【我们对本案的分析意见及工作方法】 我们认为，一般情况下，公司营业期限届满会有两种后果，一是依法经过相应的清算程序后，解散（注销）公司；二是通过股东大会决议并办理相关法律手续后继续经营。
公司营业期限届满后，未在合理期限内依法注销或依法办理存续手续，继续长时间经营，是违法的。公司营业期限届满后，虽然没有继续长时间经营，但是，公司未在合理期限内依法注销或依法办理存续手续，也是违法的。因此产生的法律责任，是会因为公司股东（本案中的甲）与公司（本案中的丙公司）之间天然的联系，而对公司股东（本案中的甲）产生影响的。
所以，针对本案的具体案情，甲作为丙公司股东可以选择因为丙公司十年经营期限已经届满，乙又已经失联，而申请法院指定清算组对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司，从法律上割断甲和丙公司之间的关联，以免后顾之忧。
甲认为我们的建议是中肯的，遂委托我们的律师，帮助其向法院申请依法对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司。
我们具体承办本案的吴慧玲律师 ，向法院递交了“依法对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司”的申请后，法院指定丁清算组对丙公司进行清算。
丁清算组接受法院的指定后，对甲发出《法定代表人、股东履行义务通知书》，要求甲提供丙公司的印章和账簿、文书等资料，配合清算组接管丙公司的财产。
由于甲从来没有参与过丙公司的经营活动，甲客观上无法向清算组提供前述资料。
但是，在甲将自己客观上无法向丁清算组提供前述资料并向丁清算组进行说明以后，丁清算组通知甲，①因为甲无法向清算组提供前述资料，所以清算组怀疑甲有从丙公司抽逃出资的可能；②为了澄清甲是否有从丙公司抽逃出资的问题，甲需要向丁清算组缴纳K万元，协助清算组清算有关问题。③如果甲不能向清算组提供前述资料，清算组会认为甲拒不协助清算组接管丙公司财物。清算组会参照《民事诉讼法》第一百一十一条的规定，以甲隐匿、故意销毁会计凭证、会计账簿为由，依法向有关机关报案以追究其刑事责任；同时，由于甲不能向清算组提供前述资料，清算组还可以申请人民法院依据《出境入境管理法》第十二条的规定，对甲作出不准出境的决定。
甲接到清算组的通知后，感觉到了无法化解的委屈和压力，遂向吴慧玲律师通报了这个问题。
吴慧玲律师认为，清算组的通知，纯属偏离清算职能的无稽之谈。为此，吴慧玲律师向法院严肃提出：
1、清算组自己为自己编造收费的理由是一种极其不正当的行为。
甲从来没有参与过丙公司的经营活动，所以，甲客观上无法向清算组提供前述资料。这和甲隐匿、故意销毁这些资料，是性质完全不同的二个问题。清算组因为甲客观上无法向清算组提供前述资料，无端编派“甲有从丙公司抽逃出资的可能”，继而以帮助甲排除这种无端的编派为借口，要求甲向丁清算组缴纳K万元，这是清算组自己为自己收费编造理由的、极其不正当的行为。
2、清算组应该清楚自己的工作职能，应该依法履行自己的工作职能。
根据最高人民法院印发《关于审理公司强制清算案件工作座谈会纪要》的通知第28条之规定（以下简称：“第28条”）：“对于没有任何财产、账册、重要文件，被申请人人员下落不明的，应当以无法清算为由终结强制清算程序”。
所以，在丙公司已人去楼空、经营者下落不明，没有了任何财产、账册、重要文件等作为清算依据的情况下，清算组应当按照“第28条”的规定，依法以无法清算为由，终结强制清算程序。而不是置“第28条”的规定于不顾，编造自己不正当收费理由，对当事人进行恐吓。
同时，吴慧玲律师还向法院提出，根据最高人民法院关于适用《中华人民共和国公司法》若干问题的规定（二）第十六条“人民法院组织清算的，清算组应当自成立之日起六个月内清算完毕。因特殊情况无法在六个月内完成清算的，清算组应当向人民法院申请延长”。
现在，自法院指定丁清算组对丙公司进行清算后，早已超过前述六个月的时间，清算组并未向法院提出延长清算的特殊情况，因此，法院有责任督促丁清算组依法作出终结强制清算程序的结论。
3、清算组只有依法作出终结强制清算程序的结论，才能保证本案的审理工作顺利进行。
根据最高人民法院印发《关于审理公司强制清算案件工作座谈会纪要》的通知第30条之规定（以下简称：“第30条”）“公司依法清算结束，清算组制作清算报告并报人民法院确认后，人民法院应当裁定终结清算程序。公司登记机关依清算组的申请注销公司登记后，公司终止。”
因此，清算组只有依法作出终结强制清算程序的结论，才能保证本案的审理工作顺利进行。如果清算组不依法作出终结强制清算程序的结论，那就不是要探讨甲是否妨碍诉讼秩序的问题这么简单了。
法院对吴慧玲律师的意见，给予了高度的重视并将吴慧玲律师的意见通报了丁清算组以后，丁清算组改变了态度，认同了甲未参与公司经营，公司财产已经下落不明的事实，向法院表示“清算组无法对丙公司继续清算，请求法院终结强制清算程序”。
法院裁定终结了对丙公司的强制清算程序。
【案件处理结果】 法院裁定终结了对丙公司的强制清算程序后，甲依法到公司登记机关注销（解散）了丙公司。#法律##法律咨询##公司注销##清算#
承办律师 江苏道多律师事务所律师 吴慧玲
【导读】 甲出资开办公司丙，由乙实际掌控，数年后发现公司人去楼空，未免影响信誉故申请注销。指定的清算组却以甲无法提供资料可能抽逃出资为由对甲提出收费。吴慧玲律师向法院提出清算组在无资料情况下应依法作出终结强制清算程序的结论。最终，甲依法注销了丙公司。
【成功案例入选理由】 坚决不向无稽之谈让步，坚定履行律师的工作职责，排除干扰，帮助当事人注销“僵尸公司”。
【基本案情】 十年前，甲、乙双方共同出资开办了丙投资咨询公司（以下简称：丙公司）并各自足额履行了出资义务。根据丙公司的《公司章程》，①乙担任丙公司的执行董事；②甲任丙公司监事；③丙公司的经营时间为十年。丙公司完成注册后，丙公司由乙实际掌控，甲未参与丙公司的实际经营，而是到国外经商，和乙也基本没有联系。
十年后，甲想起自己名下有一个和乙共同注册的丙公司，遂到丙公司注册地观察，发现丙公司早已人去楼空，乙也失联。
甲认为丙公司经营时间十年届满后，应该有一个说法，否则，自己名下有一个经营时间届满且人去楼空的丙公司，很可能会对自己的社会信誉产生影响，甚至严重影响自己在国外经商的活动。遂向我们的律师咨询，如何才能依法圆满处理这个问题。
【我们对本案的分析意见及工作方法】 我们认为，一般情况下，公司营业期限届满会有两种后果，一是依法经过相应的清算程序后，解散（注销）公司；二是通过股东大会决议并办理相关法律手续后继续经营。
公司营业期限届满后，未在合理期限内依法注销或依法办理存续手续，继续长时间经营，是违法的。公司营业期限届满后，虽然没有继续长时间经营，但是，公司未在合理期限内依法注销或依法办理存续手续，也是违法的。因此产生的法律责任，是会因为公司股东（本案中的甲）与公司（本案中的丙公司）之间天然的联系，而对公司股东（本案中的甲）产生影响的。
所以，针对本案的具体案情，甲作为丙公司股东可以选择因为丙公司十年经营期限已经届满，乙又已经失联，而申请法院指定清算组对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司，从法律上割断甲和丙公司之间的关联，以免后顾之忧。
甲认为我们的建议是中肯的，遂委托我们的律师，帮助其向法院申请依法对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司。
我们具体承办本案的吴慧玲律师 ，向法院递交了“依法对丙公司进行清算，依法解散（注销）丙公司”的申请后，法院指定丁清算组对丙公司进行清算。
丁清算组接受法院的指定后，对甲发出《法定代表人、股东履行义务通知书》，要求甲提供丙公司的印章和账簿、文书等资料，配合清算组接管丙公司的财产。
由于甲从来没有参与过丙公司的经营活动，甲客观上无法向清算组提供前述资料。
但是，在甲将自己客观上无法向丁清算组提供前述资料并向丁清算组进行说明以后，丁清算组通知甲，①因为甲无法向清算组提供前述资料，所以清算组怀疑甲有从丙公司抽逃出资的可能；②为了澄清甲是否有从丙公司抽逃出资的问题，甲需要向丁清算组缴纳K万元，协助清算组清算有关问题。③如果甲不能向清算组提供前述资料，清算组会认为甲拒不协助清算组接管丙公司财物。清算组会参照《民事诉讼法》第一百一十一条的规定，以甲隐匿、故意销毁会计凭证、会计账簿为由，依法向有关机关报案以追究其刑事责任；同时，由于甲不能向清算组提供前述资料，清算组还可以申请人民法院依据《出境入境管理法》第十二条的规定，对甲作出不准出境的决定。
甲接到清算组的通知后，感觉到了无法化解的委屈和压力，遂向吴慧玲律师通报了这个问题。
吴慧玲律师认为，清算组的通知，纯属偏离清算职能的无稽之谈。为此，吴慧玲律师向法院严肃提出：
1、清算组自己为自己编造收费的理由是一种极其不正当的行为。
甲从来没有参与过丙公司的经营活动，所以，甲客观上无法向清算组提供前述资料。这和甲隐匿、故意销毁这些资料，是性质完全不同的二个问题。清算组因为甲客观上无法向清算组提供前述资料，无端编派“甲有从丙公司抽逃出资的可能”，继而以帮助甲排除这种无端的编派为借口，要求甲向丁清算组缴纳K万元，这是清算组自己为自己收费编造理由的、极其不正当的行为。
2、清算组应该清楚自己的工作职能，应该依法履行自己的工作职能。
根据最高人民法院印发《关于审理公司强制清算案件工作座谈会纪要》的通知第28条之规定（以下简称：“第28条”）：“对于没有任何财产、账册、重要文件，被申请人人员下落不明的，应当以无法清算为由终结强制清算程序”。
所以，在丙公司已人去楼空、经营者下落不明，没有了任何财产、账册、重要文件等作为清算依据的情况下，清算组应当按照“第28条”的规定，依法以无法清算为由，终结强制清算程序。而不是置“第28条”的规定于不顾，编造自己不正当收费理由，对当事人进行恐吓。
同时，吴慧玲律师还向法院提出，根据最高人民法院关于适用《中华人民共和国公司法》若干问题的规定（二）第十六条“人民法院组织清算的，清算组应当自成立之日起六个月内清算完毕。因特殊情况无法在六个月内完成清算的，清算组应当向人民法院申请延长”。
现在，自法院指定丁清算组对丙公司进行清算后，早已超过前述六个月的时间，清算组并未向法院提出延长清算的特殊情况，因此，法院有责任督促丁清算组依法作出终结强制清算程序的结论。
3、清算组只有依法作出终结强制清算程序的结论，才能保证本案的审理工作顺利进行。
根据最高人民法院印发《关于审理公司强制清算案件工作座谈会纪要》的通知第30条之规定（以下简称：“第30条”）“公司依法清算结束，清算组制作清算报告并报人民法院确认后，人民法院应当裁定终结清算程序。公司登记机关依清算组的申请注销公司登记后，公司终止。”
因此，清算组只有依法作出终结强制清算程序的结论，才能保证本案的审理工作顺利进行。如果清算组不依法作出终结强制清算程序的结论，那就不是要探讨甲是否妨碍诉讼秩序的问题这么简单了。
法院对吴慧玲律师的意见，给予了高度的重视并将吴慧玲律师的意见通报了丁清算组以后，丁清算组改变了态度，认同了甲未参与公司经营，公司财产已经下落不明的事实，向法院表示“清算组无法对丙公司继续清算，请求法院终结强制清算程序”。
法院裁定终结了对丙公司的强制清算程序。
【案件处理结果】 法院裁定终结了对丙公司的强制清算程序后，甲依法到公司登记机关注销（解散）了丙公司。#法律##法律咨询##公司注销##清算#
智仁矩阵 | “三期”女工企业日常管理十问十答——以浙江政策为例
周佳
编者按
各位读者大家好，智仁“微矩阵榜”每周挑选一篇精品文章推送给广大读者：
本周推送：【管鲍断金】的《“三期”女工企业日常管理十问十答——以浙江政策为例》
2021年5月31日，中央决定实施一对夫妇可以生育三个子女政策及相关配套措施，这是自继2015年二孩政策后我国人口政策又一重大变化。那从企业经营及人力资源管理的角度看，三孩政策对企业劳动用工管理，特别是“三期”女职工的管理无疑有着极大的影响。而“三期”女职工的管理原本在人力资源管理领域中已经颇为令人头疼，那放开三孩后，可预见“三期”女职工在一定时期会增加。同时，随着《浙江省人口与计划生育条例》于2021年12月25日的正式实施，企业对于“三期”女职工在日常管理过程中凸显的问题越来越多，下面笔者将就最问及的十个话题作一一论述解答。
一，现在女职工的产假依法能休多长？
在2021年11月25日（包含25日）之后，产假尚未结束的，可以按照新《浙江省人口与计划生育条例》中规定的不同情形享受对应的产假天数（如下图所示）。
二，98天法定产假期间，用人单位要发工资吗？
根据《女职工劳动保护特别规定》第八条及《浙江省女职工劳动保护办法》第十六条的规定，女职工产假期间的生育津贴，对已经参加生育保险的，按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付；对未参加生育保险的，按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
换而言之，用人单位不需要支付产假期间工资。因为企业若为劳动者缴纳了生育保险的，那么女职工产假期间的工资即转化成生育津贴。生育津贴按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付。
但是，若用人单位未参加生育保险的，则女职工生育津贴按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
三，超出98天法定产假外的奖励假期间，用人单位要发工资吗？
我们认为，如上述第1点所述，2021年11月25日以后符合法律、法规规定生育子女的夫妻，女方法定98天产假期满后，按照《浙江省人口与计划生育条例》规定还可以享受不同天数的奖励假。而依据《浙江省女职工劳动保护办法》的规定，该奖励假的性质为产假，即奖励假期间也享受生育津贴。
故，用人单位若为劳动者缴纳生育保险的，奖励假期间的生育津贴则按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付。若未参加生育保险的，则女职工生育津贴按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
四，对于2021年11月25日起新增的奖励假，目前对应的生育津贴暂无法申领，用人单位有强制义务预先补发吗？
我们认为，如上述第3点所述，对于2021年11月25日起新增的奖励假对应的生育津贴，只是因政策暂时衔接问题，导致目前执行不到位。
因此，用人单位并没有强制义务预先补发。可采取以下措施替代：A、告知相关女职工，待生育津贴政策明确后，享受相应的生育津贴待遇；B、可与相关女职工签订协议，由单位先行垫付相当于生育津贴款项，待生育津贴发放时直接抵扣。
五，生育津贴和产假前工资的标准不一样时，用人单位应如何做？
按照《浙江省女职工劳动保护办法》第十六条的规定，即生育津贴按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付，用人单位不再支付产假期间工资。生育津贴计发标准高于女职工产假前工资标准的，用人单位不得克扣差额部分；低于女职工产假前工资标准的，有条件的用人单位可以对差额部分予以补足。
六，女职工提前结束产假，是否可获得双份工资？
依据《浙江省劳动争议仲裁委员会关于印发关于劳动争议案件处理若干问题的指导意见（试行）的通知》（浙仲【2009】2号）第37条的明确规定，女职工产假期间，用人单位经本人同意安排女职工工作的，按以下情形支付工资：已参加生育保险的，女职工领取生育津贴外，用人单位应支付正常上班的工资；未参加生育保险的，用人单位应参照生育保险待遇支付生育津贴，同时支付正常上班的工资。
由此可见，符合条件的女职工依法可享受产假及生育假，用人单位不得要求女员工提前返岗工作。若经双方协商，女员工同意提前返岗工作的，女员工除领取生育津贴外，用人单位还应支付员工正常出勤期间的工资。
七，用人单位注册地和劳动合同履行地的产假标准不一致，以哪个为准？
根据《劳动合同法实施条例》第十四条规定：劳动合同履行地与用人单位注册地不一致的,有关劳动者的最低工资标准、劳动保护、劳动条件、职业危害防护和本地区上年度职工月平均工资标准等事项，按照劳动合同履行地的有关规定执行；用人单位注册地的有关标准高于劳动合同履行地的有关标准,且用人单位与劳动者约定按照用人单位注册地的有关规定执行的，从其约定。
而产假属于女职工的劳动保护假期，则应按照劳动合同履行地的有关规定执行。但育儿假、独生子女陪护假和男职工护理假属于福利待遇，则执行用人单位注册地标准。
八，用人单位可以制度规定男方所享受的护理假只能是从配偶生产之日起一次性使用吗？
我们认为，这样的规定是不合法的。
根据浙江省卫生健康委员会于2021年11月30日发布的针对《浙江省人口与计划生育条例》的有关问题解答，男职工护理假是指在妇女围产期和产假期间，男方可以享受总计十五天的护理假，不包含国家法定节假日、休息日和职业假。护理假的期限不按照生育子女数量进行叠加。护理假可以一次性使用，也可以分次使用。护理假期间的工资、奖金和其他福利待遇由用人单位照发。
九，员工提出育儿假的申请，用人单位必须同意吗？
根据《浙江省人口与计划生育条例》第二十二条的规定，符合法律、法规规定生育子女的夫妻，在子女三周岁内，夫妻双方每年各享受十天育儿假，育儿假期间的工资、奖金和其他福利待遇由用人单位照发。
我们认为，育儿假应当由符合条件的员工主动向用人单位申请，并提供子女的医学出生证明和户口薄（户籍证明）等证明资料，然后审核后符合休假条件的，用人单位应当安排员工休假。
而且，育儿假不包含国家法定节假日、休息日、职业假。育儿假的期限不按照子女数量叠加享受。夫妻双方每年享受的育儿假应当在当年内使用，不能结转到下一年使用，可以一次性使用，也可以分次使用。
十，劳动合同期限女职工处于产假期间届满，用人单位可以终止劳动关系吗？
根据《浙江省女职工劳动保护办法》第九条规定，劳动合同或者聘用合同期满而孕期、产期、哺乳期未满的，除女职工提出解除劳动合同或者聘用合同的外，劳动合同或者聘用合同应当顺延至孕期、产期、哺乳期满。
若用人单位径直以劳动合同期限届满为由终止劳动关系，则将构成违法解除，劳动者有权选择主张违法解除的经济赔偿金，亦或者选择主张要求继续履行劳动合同至哺乳期届满之日止。
作者简介
周佳
浙江智仁律师事务所
专职律师
杭州市律师协会第九届企业法律顾问（公司法务）专业委员会的副秘书长、杭州市西湖区公司、国际投资与贸易专委会委员
擅长企业法律、劳动用工、婚姻家事类纠纷的处理，在非诉领域，协助团队为多家顾问单位设计、制定和建立公司规章制度、风控体系。在诉讼领域，尤其在处理公司诉讼、企业用工、婚姻家事等领域中积累了较为丰富的办案经验。
周佳
编者按
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2021年5月31日，中央决定实施一对夫妇可以生育三个子女政策及相关配套措施，这是自继2015年二孩政策后我国人口政策又一重大变化。那从企业经营及人力资源管理的角度看，三孩政策对企业劳动用工管理，特别是“三期”女职工的管理无疑有着极大的影响。而“三期”女职工的管理原本在人力资源管理领域中已经颇为令人头疼，那放开三孩后，可预见“三期”女职工在一定时期会增加。同时，随着《浙江省人口与计划生育条例》于2021年12月25日的正式实施，企业对于“三期”女职工在日常管理过程中凸显的问题越来越多，下面笔者将就最问及的十个话题作一一论述解答。
一，现在女职工的产假依法能休多长？
在2021年11月25日（包含25日）之后，产假尚未结束的，可以按照新《浙江省人口与计划生育条例》中规定的不同情形享受对应的产假天数（如下图所示）。
二，98天法定产假期间，用人单位要发工资吗？
根据《女职工劳动保护特别规定》第八条及《浙江省女职工劳动保护办法》第十六条的规定，女职工产假期间的生育津贴，对已经参加生育保险的，按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付；对未参加生育保险的，按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
换而言之，用人单位不需要支付产假期间工资。因为企业若为劳动者缴纳了生育保险的，那么女职工产假期间的工资即转化成生育津贴。生育津贴按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付。
但是，若用人单位未参加生育保险的，则女职工生育津贴按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
三，超出98天法定产假外的奖励假期间，用人单位要发工资吗？
我们认为，如上述第1点所述，2021年11月25日以后符合法律、法规规定生育子女的夫妻，女方法定98天产假期满后，按照《浙江省人口与计划生育条例》规定还可以享受不同天数的奖励假。而依据《浙江省女职工劳动保护办法》的规定，该奖励假的性质为产假，即奖励假期间也享受生育津贴。
故，用人单位若为劳动者缴纳生育保险的，奖励假期间的生育津贴则按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付。若未参加生育保险的，则女职工生育津贴按照女职工产假前工资的标准由用人单位支付。
四，对于2021年11月25日起新增的奖励假，目前对应的生育津贴暂无法申领，用人单位有强制义务预先补发吗？
我们认为，如上述第3点所述，对于2021年11月25日起新增的奖励假对应的生育津贴，只是因政策暂时衔接问题，导致目前执行不到位。
因此，用人单位并没有强制义务预先补发。可采取以下措施替代：A、告知相关女职工，待生育津贴政策明确后，享受相应的生育津贴待遇；B、可与相关女职工签订协议，由单位先行垫付相当于生育津贴款项，待生育津贴发放时直接抵扣。
五，生育津贴和产假前工资的标准不一样时，用人单位应如何做？
按照《浙江省女职工劳动保护办法》第十六条的规定，即生育津贴按照用人单位上年度职工月平均工资的标准由生育保险基金支付，用人单位不再支付产假期间工资。生育津贴计发标准高于女职工产假前工资标准的，用人单位不得克扣差额部分；低于女职工产假前工资标准的，有条件的用人单位可以对差额部分予以补足。
六，女职工提前结束产假，是否可获得双份工资？
依据《浙江省劳动争议仲裁委员会关于印发关于劳动争议案件处理若干问题的指导意见（试行）的通知》（浙仲【2009】2号）第37条的明确规定，女职工产假期间，用人单位经本人同意安排女职工工作的，按以下情形支付工资：已参加生育保险的，女职工领取生育津贴外，用人单位应支付正常上班的工资；未参加生育保险的，用人单位应参照生育保险待遇支付生育津贴，同时支付正常上班的工资。
由此可见，符合条件的女职工依法可享受产假及生育假，用人单位不得要求女员工提前返岗工作。若经双方协商，女员工同意提前返岗工作的，女员工除领取生育津贴外，用人单位还应支付员工正常出勤期间的工资。
七，用人单位注册地和劳动合同履行地的产假标准不一致，以哪个为准？
根据《劳动合同法实施条例》第十四条规定：劳动合同履行地与用人单位注册地不一致的,有关劳动者的最低工资标准、劳动保护、劳动条件、职业危害防护和本地区上年度职工月平均工资标准等事项，按照劳动合同履行地的有关规定执行；用人单位注册地的有关标准高于劳动合同履行地的有关标准,且用人单位与劳动者约定按照用人单位注册地的有关规定执行的，从其约定。
而产假属于女职工的劳动保护假期，则应按照劳动合同履行地的有关规定执行。但育儿假、独生子女陪护假和男职工护理假属于福利待遇，则执行用人单位注册地标准。
八，用人单位可以制度规定男方所享受的护理假只能是从配偶生产之日起一次性使用吗？
我们认为，这样的规定是不合法的。
根据浙江省卫生健康委员会于2021年11月30日发布的针对《浙江省人口与计划生育条例》的有关问题解答，男职工护理假是指在妇女围产期和产假期间，男方可以享受总计十五天的护理假，不包含国家法定节假日、休息日和职业假。护理假的期限不按照生育子女数量进行叠加。护理假可以一次性使用，也可以分次使用。护理假期间的工资、奖金和其他福利待遇由用人单位照发。
九，员工提出育儿假的申请，用人单位必须同意吗？
根据《浙江省人口与计划生育条例》第二十二条的规定，符合法律、法规规定生育子女的夫妻，在子女三周岁内，夫妻双方每年各享受十天育儿假，育儿假期间的工资、奖金和其他福利待遇由用人单位照发。
我们认为，育儿假应当由符合条件的员工主动向用人单位申请，并提供子女的医学出生证明和户口薄（户籍证明）等证明资料，然后审核后符合休假条件的，用人单位应当安排员工休假。
而且，育儿假不包含国家法定节假日、休息日、职业假。育儿假的期限不按照子女数量叠加享受。夫妻双方每年享受的育儿假应当在当年内使用，不能结转到下一年使用，可以一次性使用，也可以分次使用。
十，劳动合同期限女职工处于产假期间届满，用人单位可以终止劳动关系吗？
根据《浙江省女职工劳动保护办法》第九条规定，劳动合同或者聘用合同期满而孕期、产期、哺乳期未满的，除女职工提出解除劳动合同或者聘用合同的外，劳动合同或者聘用合同应当顺延至孕期、产期、哺乳期满。
若用人单位径直以劳动合同期限届满为由终止劳动关系，则将构成违法解除，劳动者有权选择主张违法解除的经济赔偿金，亦或者选择主张要求继续履行劳动合同至哺乳期届满之日止。
作者简介
周佳
浙江智仁律师事务所
专职律师
杭州市律师协会第九届企业法律顾问（公司法务）专业委员会的副秘书长、杭州市西湖区公司、国际投资与贸易专委会委员
擅长企业法律、劳动用工、婚姻家事类纠纷的处理，在非诉领域，协助团队为多家顾问单位设计、制定和建立公司规章制度、风控体系。在诉讼领域，尤其在处理公司诉讼、企业用工、婚姻家事等领域中积累了较为丰富的办案经验。
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