#军事新闻# 谈军费还得先看购买力，中美俄三国横向对比，排行垫底的当属美军。
前不久分析过一则关于美国海军规模垮塌的消息，我在当时说美军现在实际上已经穷到连舰队规模的维持不住，在加上造船业已经完全萧条，到2030年就必然会走向总崩溃；结果当时就很多人出来杠，什么美国怎么可能没钱呢，他的军费比中俄等等后面的国家合起来还高呢，你这是拿了美国钱出来战略忽悠。
只能说，这种观念属于被纸面数据迷惑了，觉得军费可以直接用来代表一个国家军队有钱的程度，而完全不考虑因为汇率与实际国内物价的差距导致中俄的军费在换算美元之后被低估，也没有考虑到美国军费的实际购买力水平远不如中俄两国，实际上直面虚高数倍的美国军费，在更高的美军装备价格之下，是被无价值损耗并不能转化为账面上实际装备资产的。
最简单的一个例子就是美国海军资产当中占比最大的装备，也就是潜艇；核潜艇既是美国海军当中按总量算最贵的大头，也是美国海军未来多年新舰投资当中最值钱的一个部分；美军目前在重点推进俄亥俄级弹道导弹核潜艇的换代计划，以淘汰快要到寿命末期的俄亥俄，并且追回因为俄军的北风之神级核潜艇批量服役而带来的潜艇性能差距；这型新的战略核潜艇可谓是集美国海军的众多先进科技于一身，啥都好但就是有点贵，贵到每艘的造价达到了150亿美元还要多点，建造周期要长达11年每艘，直接吃空了美国海军多年的研发与采购预算。
150亿美元的超级贵物，美国海军陷入系列研发经费困难的罪魁祸首，超级金鱼哥伦比亚级弹道导弹核潜艇
美军的一艘新潜艇是贵到150亿美元去了，那俄军的北风之神呢？回收了部分971艇壳进行再利用的955基本型我们不算，就说这几年在开工从头新建的955A型，按照俄罗斯媒体的说法，首艘955A的造价在7亿美元出头，而后续量产的几艘则更是低到了7亿美元以下；略微平均以下，也就是说，同样是新一代弹道导弹核潜艇，美国海军造1艘的钱够俄罗斯海军建造20艘，给自己的弹道导弹核潜艇部队规模直接翻倍。
攻击型核潜艇的情况倒是好一些，美军一艘全新的弗吉尼亚这两年在造价大概在35亿美元出头的地步，算是因为量产多年已经平稳下来摊薄了成本；而俄军最新的855M亚森，按照说法是与北风之神级造价差不多，不考虑卢布现在贬值的话，也在7亿美元左右的水平，也就是说美军造一艘攻击型核潜艇的投资，够俄军造上五艘性能差不多的水平。
俄海军的955A，7亿美元的造价堪称最便宜的第4代核潜艇，哥伦比亚1艘造价够俄军北风之神全级10艘的总造价了
也就是说如果按都建造核潜艇来计算的话，美军所谓的7000亿美元预算，实际购买力差不多也就俄军的1000亿美元。当然，俄军现在一年军费还远没到这个数字，那是另一回事；但是这个示例已经足够说明，决定军队有钱还是没钱的不是军费上的纸面数字，而是当他进行装备采购时的实际购买力，论购买力来计算，美军其实反而是穷的那一个。
美军和人民海军之间有没有哥伦比亚与北风之神两种类似型号造价差距那么大的时候呢？也不是没有。圣安东尼奥级船坞登陆舰就是一个典型，和吨位差不多，武器和船电配置也差不多的071型船坞登陆舰比起来，圣安东尼奥级的新批次造价已经高达22亿美元一艘，而相比之下我们向泰国出口的071E型，那是算上了造船企业的利润之后才要不到2亿美元，美国海军采购一艘船坞登陆舰的钱在我军这里至少能买11艘。
美国海军的另一位贵物，22亿美元造价的降配版第二批次圣安东尼奥级
为什么选择船坞登陆舰来做例子，主要是因为船坞登陆舰的武器和雷达装备都比较轻，造价主要都集中在那个一两万吨的壳子上面，最能体现出各国造船工业之间的成本差距；而在其他的主战舰艇造价上，美国海军的一艘濒海战斗舰采购价格够我军买2艘054A，一艘全新的星座级护卫舰造价则比我军一艘万吨大驱略微贵一点，而一艘全新的伯克级驱逐舰造价，那都够买3艘052D还有剩余了。
由此可见，在海军上美军不管是与我军相比还是俄军相比，都有明显的军费购买力差距，这个差距由于舰种的不同浮动于两三倍到二十倍之间，如果按照海军军费购买力来计算的话，中俄两军的实际军费水平要乘上一个5左右系数，才能体现出相对美军真实的穷富水平，以购买力计价的话，我军的军费目前实际上已经实现了对美国的赶超，甚至充裕了数千亿美元之多，说美军尤其是美国海军现在很穷，那是一点都没有错的；说俄军没有看上去那么缺钱，显然也不是强行给俄军洗地。
和他一个吨位的071，虽说缺装了个海红旗-10吧，比上面那位差不多便宜了2艘万吨大驱的造价（20亿美元）
相比之下，美国空军的军费购买力就要正常许多，不管是大型机还是战术战斗机，采购价格虽然可能会比中俄略贵，但是总的来说水平差不多的飞机，造价也处在类似水平，除了B-2这种建造数量太少，技术跃进太大的白象产品。
这主要是因为航空工业目前暂且还是美国去工业化大潮之下极少数还能维持优势，有规模有市场，还在正向发展之中的工业；所以战斗机也好，大型平台机也罢，美国空军的装备采购和维护成本都还没有和中俄之间拉开差距，更有F-35A这种已经便宜到飞离成本不足8000万吗，和中俄两国高配重型四代半（苏-35/歼-16）一个价格的位置的杰作机，所以美国空军也成了美军当中唯一一个相对来说还不缺钱，能继续维持对中俄的规模和技术优势一段时间的军种。
价值一艘南昌舰的星座级，美国账面军费再多有用吗？都是7000亿时候买到的东西一样吗？
美军的军费多吗？从数字上来看确实还是很多的，今年7000余亿的军费计划依然是剩下所有国家的军费总和还要翻个倍才能追上的水平；但是美军真的有钱到能拉开和中俄等竞争对手的差距吗？按照美军军费的实际购买能力来看，不光是不能，应该说能不被反超就已经很不错了。这也解释了为什么美军的军费是解放军的数倍，是俄军的十倍有余，为什么在高超音速导弹等先进装备领域反而会被中俄两国拉开显著差距，而传统装备的规模和实力上也被中俄越追越近。
前不久分析过一则关于美国海军规模垮塌的消息，我在当时说美军现在实际上已经穷到连舰队规模的维持不住，在加上造船业已经完全萧条，到2030年就必然会走向总崩溃；结果当时就很多人出来杠，什么美国怎么可能没钱呢，他的军费比中俄等等后面的国家合起来还高呢，你这是拿了美国钱出来战略忽悠。
只能说，这种观念属于被纸面数据迷惑了，觉得军费可以直接用来代表一个国家军队有钱的程度，而完全不考虑因为汇率与实际国内物价的差距导致中俄的军费在换算美元之后被低估，也没有考虑到美国军费的实际购买力水平远不如中俄两国，实际上直面虚高数倍的美国军费，在更高的美军装备价格之下，是被无价值损耗并不能转化为账面上实际装备资产的。
最简单的一个例子就是美国海军资产当中占比最大的装备，也就是潜艇；核潜艇既是美国海军当中按总量算最贵的大头，也是美国海军未来多年新舰投资当中最值钱的一个部分；美军目前在重点推进俄亥俄级弹道导弹核潜艇的换代计划，以淘汰快要到寿命末期的俄亥俄，并且追回因为俄军的北风之神级核潜艇批量服役而带来的潜艇性能差距；这型新的战略核潜艇可谓是集美国海军的众多先进科技于一身，啥都好但就是有点贵，贵到每艘的造价达到了150亿美元还要多点，建造周期要长达11年每艘，直接吃空了美国海军多年的研发与采购预算。
150亿美元的超级贵物，美国海军陷入系列研发经费困难的罪魁祸首，超级金鱼哥伦比亚级弹道导弹核潜艇
美军的一艘新潜艇是贵到150亿美元去了，那俄军的北风之神呢？回收了部分971艇壳进行再利用的955基本型我们不算，就说这几年在开工从头新建的955A型，按照俄罗斯媒体的说法，首艘955A的造价在7亿美元出头，而后续量产的几艘则更是低到了7亿美元以下；略微平均以下，也就是说，同样是新一代弹道导弹核潜艇，美国海军造1艘的钱够俄罗斯海军建造20艘，给自己的弹道导弹核潜艇部队规模直接翻倍。
攻击型核潜艇的情况倒是好一些，美军一艘全新的弗吉尼亚这两年在造价大概在35亿美元出头的地步，算是因为量产多年已经平稳下来摊薄了成本；而俄军最新的855M亚森，按照说法是与北风之神级造价差不多，不考虑卢布现在贬值的话，也在7亿美元左右的水平，也就是说美军造一艘攻击型核潜艇的投资，够俄军造上五艘性能差不多的水平。
俄海军的955A，7亿美元的造价堪称最便宜的第4代核潜艇，哥伦比亚1艘造价够俄军北风之神全级10艘的总造价了
也就是说如果按都建造核潜艇来计算的话，美军所谓的7000亿美元预算，实际购买力差不多也就俄军的1000亿美元。当然，俄军现在一年军费还远没到这个数字，那是另一回事；但是这个示例已经足够说明，决定军队有钱还是没钱的不是军费上的纸面数字，而是当他进行装备采购时的实际购买力，论购买力来计算，美军其实反而是穷的那一个。
美军和人民海军之间有没有哥伦比亚与北风之神两种类似型号造价差距那么大的时候呢？也不是没有。圣安东尼奥级船坞登陆舰就是一个典型，和吨位差不多，武器和船电配置也差不多的071型船坞登陆舰比起来，圣安东尼奥级的新批次造价已经高达22亿美元一艘，而相比之下我们向泰国出口的071E型，那是算上了造船企业的利润之后才要不到2亿美元，美国海军采购一艘船坞登陆舰的钱在我军这里至少能买11艘。
美国海军的另一位贵物，22亿美元造价的降配版第二批次圣安东尼奥级
为什么选择船坞登陆舰来做例子，主要是因为船坞登陆舰的武器和雷达装备都比较轻，造价主要都集中在那个一两万吨的壳子上面，最能体现出各国造船工业之间的成本差距；而在其他的主战舰艇造价上，美国海军的一艘濒海战斗舰采购价格够我军买2艘054A，一艘全新的星座级护卫舰造价则比我军一艘万吨大驱略微贵一点，而一艘全新的伯克级驱逐舰造价，那都够买3艘052D还有剩余了。
由此可见，在海军上美军不管是与我军相比还是俄军相比，都有明显的军费购买力差距，这个差距由于舰种的不同浮动于两三倍到二十倍之间，如果按照海军军费购买力来计算的话，中俄两军的实际军费水平要乘上一个5左右系数，才能体现出相对美军真实的穷富水平，以购买力计价的话，我军的军费目前实际上已经实现了对美国的赶超，甚至充裕了数千亿美元之多，说美军尤其是美国海军现在很穷，那是一点都没有错的；说俄军没有看上去那么缺钱，显然也不是强行给俄军洗地。
和他一个吨位的071，虽说缺装了个海红旗-10吧，比上面那位差不多便宜了2艘万吨大驱的造价（20亿美元）
相比之下，美国空军的军费购买力就要正常许多，不管是大型机还是战术战斗机，采购价格虽然可能会比中俄略贵，但是总的来说水平差不多的飞机，造价也处在类似水平，除了B-2这种建造数量太少，技术跃进太大的白象产品。
这主要是因为航空工业目前暂且还是美国去工业化大潮之下极少数还能维持优势，有规模有市场，还在正向发展之中的工业；所以战斗机也好，大型平台机也罢，美国空军的装备采购和维护成本都还没有和中俄之间拉开差距，更有F-35A这种已经便宜到飞离成本不足8000万吗，和中俄两国高配重型四代半（苏-35/歼-16）一个价格的位置的杰作机，所以美国空军也成了美军当中唯一一个相对来说还不缺钱，能继续维持对中俄的规模和技术优势一段时间的军种。
价值一艘南昌舰的星座级，美国账面军费再多有用吗？都是7000亿时候买到的东西一样吗？
美军的军费多吗？从数字上来看确实还是很多的，今年7000余亿的军费计划依然是剩下所有国家的军费总和还要翻个倍才能追上的水平；但是美军真的有钱到能拉开和中俄等竞争对手的差距吗？按照美军军费的实际购买能力来看，不光是不能，应该说能不被反超就已经很不错了。这也解释了为什么美军的军费是解放军的数倍，是俄军的十倍有余，为什么在高超音速导弹等先进装备领域反而会被中俄两国拉开显著差距，而传统装备的规模和实力上也被中俄越追越近。
中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
图片
原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
【20条特色旅游线路带你“玩转”陕西】#秦小布分享# “五一”将至，陕西省文化和旅游厅以亲民性、参与性、体验性为基准，根据陕西文旅资源的主要特点，以专业团队研发为基础，为广大游客重磅推出“秦岭生态之旅”“黄河沿线之旅”“丝路风采之旅”“红色文化之旅”和“人文休闲之旅”等5大主题游。每一个主题游可分为旅行社团队游、自驾游两种类别的4条线路，共推出全新的20条旅游线路。
秦岭生态之旅
旅行社线路一：西岳华山2日拜谒之旅
日程安排：西安——华阴——仙峪景区——西岳庙景区——华山自驾露营地 ——华山景区——西安
旅行社线路二：秦岭商於古道2日游
日程安排：西安——棣花古镇——丹凤花庙/丹江漂流——丹凤（住宿）——金丝大峡谷——西安
自驾游线路一：环越秦岭古道行
线路方案：西安——蓝田王顺山国家森林公园——商洛（古武关道）——丹凤——柞水牛背梁景区（古子午道）——宁陕——洋县（古傥骆道）——华阳古镇——黄柏塬景区——太白（古褒斜道）——留坝紫柏山风景区（古连云栈道）——凤县通天河国家森林公园（古陈仓道）——宝鸡五丈原风景名胜区——西安
自驾游线路二：人文生态旅游度假环线
线路方案：西安——周至（黑河森林公园）——佛坪（熊猫谷）——洋县（朱鹮生态园）——城固（万亩桔园、五门堰遗址）——汉中（红寺湖景区）——西乡（午子山风景区）——石泉（燕翔洞、后柳古镇）——汉阴（漩涡镇凤堰古梯田）——安康（瀛湖生态旅游区）——旬阳（蜀河古镇）——西安
黄河沿线之旅
旅行社线路一：黄河湿地风情2日游
日程安排：西安——韩城（党家村、梁带村芮国遗址博物馆、黄河龙门大桥）——韩城（住宿）——司马迁祠——洽川（处女泉、莘国水城）——西安
旅行社线路二：黄河流域沃野乡村4日游
日程安排：延安——延川（梁家河、文安驿古镇）——乾坤湾景区——延安
自驾游线路一：“沿黄观光路”景观大道
线路方案：华阴 ——大荔（多彩渔村、丰图义仓）——洽川（黄河湿地）——韩城（司马迁祠、党家村、梁带村芮国遗址博物馆）——宜川（壶口瀑布）——延川乾坤湾（清水湾、会峰寨）——吴堡（吴堡石城、毛主席东渡纪念公园）——佳县（白云山、香炉寺、赤牛坬民俗村）——神木（“蒙汉天书”地质奇观）——府谷（府州古城）——墙头乡（莲花辿丹霞地貌、陕晋蒙三省交界碑、“沿黄观光路”零公里里程碑）
自驾游线路二：黄河流域沃野乡村游
线路方案：潼关（三河口黄河湿地公园、岳渎公园）——高陵（“泾渭分明”河口）——泾阳（郑国渠景区）——洛川——甘泉（雨岔大峡谷）——定边（无定河景观、盐湖生态旅游区）——靖边（龙洲水上丹霞）——米脂（姜氏庄园）——绥德（汉画像石馆）——清涧（无定河入黄河口、太极湾景区）——延安（延河景观）——西安
丝路风采之旅
旅行社线路一：汉唐文化遗产3日游
日程安排：西安——临潼（华清宫）——临潼（住宿）——乾县（乾陵景区）——宝鸡（住宿）——扶风（法门寺文化景区）——西安（汉景帝阳陵博物院）——西安
旅行社线路二：唐长安城1日游
日程安排：西安——小雁塔——大唐西市——大明宫国家遗址公园——大雁塔、唐城墙遗址公园、大唐不夜城
自驾游线路一：丝路起点观光游
线路方案：西安——城固（张骞墓）——兴教寺——大雁塔——陕西历史博物馆——西安碑林博物馆——小雁塔——大唐西市——大明宫国家遗址公园——汉长安城未央宫遗址——彬县（大佛寺石窟）——西安
自驾游线路二：追寻关中文化
线路方案：西安——白鹿原（白鹿原影视城、白鹿仓）——富平（陶艺村）——泾阳（茯茶小镇、崇文塔）——礼泉（袁家村）——扶风（法门寺文化景区）——岐山（中国·周原景区、北郭民俗村）——凤翔（六营民俗村）——宝鸡（青铜器博物院、中华石鼓园）——周至（楼观中国道文化展示区）——关中民俗艺术博物院——西安
红色文化之旅
旅行社线路一：落脚陕北、进驻延安4日游
日程安排：延安——吴起（中央红军长征胜利纪念园）——吴起革命纪念馆——甘泉（住宿）——富县（直罗镇战役纪念馆）——甘泉（象鼻子湾、下寺湾会议旧址）——子长（住宿）——子长（瓦窑堡革命旧址）——志丹（保安革命旧址）——志丹（住宿）——延安（抗日军政大学旧址）——延安
旅行社线路二：古都西安 红色延安5日游
日程安排：西安——八路军西安办事处旧址——临潼（西安事变旧址）——临潼（住宿）——照金（薛家寨、陕甘边革命根据地照金纪念馆）——黄陵（住宿）——黄帝陵景区——宜川（壶口瀑布）——延安（宝塔山景区）——延安（住宿）——延川（梁家河）——乾坤湾景区（住宿）——南泥湾——延安——西安
自驾游线路一：红色遗址旅游线路
线路方案：西安——临潼（华清池五间厅、《12·12》演出）——铜川（照金薛家寨）——洛川（洛川会议旧址）——延安——圣地河谷·金延安（《延安保育院》演出）——延安鲁艺文化园区——西安
自驾游线路二：红色故事追忆游
线路方案：八路军西安办事处旧址——泾阳（安吴青训班革命旧址）——淳化（爷台山反击战纪念馆）——旬邑（马栏革命旧址）——铜川（陕甘边革命根据地照金纪念馆）——延安（南泥湾景区）——延川（梁家河、文安驿古镇）——清涧（北国风光景区）——黄龙（瓦子街战役遗址）——富平——西安
人文休闲之旅
线路一：关中休闲3日私家团
日程安排：西安——半坡遗址博物馆——大雁塔、大唐不夜城——西安（住宿）——秦始皇帝陵博物院——华清宫、《长恨歌》演出——临潼（住宿）——华阴（华山景区）——西安
线路二：三国文化体验休闲2日游
日程安排：西安——勉县（诸葛古镇、《出师表》演出）——汉中（住宿）——龙头山景区——西安 https://t.cn/AigLrQqN
秦岭生态之旅
旅行社线路一：西岳华山2日拜谒之旅
日程安排：西安——华阴——仙峪景区——西岳庙景区——华山自驾露营地 ——华山景区——西安
旅行社线路二：秦岭商於古道2日游
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黄河沿线之旅
旅行社线路一：黄河湿地风情2日游
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自驾游线路一：“沿黄观光路”景观大道
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丝路风采之旅
旅行社线路一：汉唐文化遗产3日游
日程安排：西安——临潼（华清宫）——临潼（住宿）——乾县（乾陵景区）——宝鸡（住宿）——扶风（法门寺文化景区）——西安（汉景帝阳陵博物院）——西安
旅行社线路二：唐长安城1日游
日程安排：西安——小雁塔——大唐西市——大明宫国家遗址公园——大雁塔、唐城墙遗址公园、大唐不夜城
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红色文化之旅
旅行社线路一：落脚陕北、进驻延安4日游
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旅行社线路二：古都西安 红色延安5日游
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自驾游线路一：红色遗址旅游线路
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