中国信通院 | MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究（第一部分）
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
本文来自《信息通信技术与政策》杂志，是工业和信息化部主管、中国信息通信研究院主办的专业学术期刊，两位作者均为中国信息通信研究院信息化与工业化融合研究所研究员。
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原文中强调在商业化的MEMS设计工具层面我国处在真空环境情况，进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导。国内MEMS封裝产业链在全世界范畴内位于比较先进的影响力，但高档检测设备仍被海外行业龙头垄断性。MEMS封裝成本费在传感器生产制造阶段中占成本的比例做到40%之上……
0 前言
微机电系统（Microelectro Mechanical System，MEMS）传感器是从微机械加工制造技术性生产的新式传感器，对比于传统式传感器元器件，MEMS传感器凭着品质轻，体型小，敏感度高，稳定性强，便于融合等优质特点，变成 促进传感器持续向小型化，智能化系统发展趋势的首要驱动力，与此同时MEMS技术性做为微电子技术生产技术的一个主要支系，也是超过克分子时期的主要发展前景之一。
1 MEMS传感器产业发展规划整体状况
当今，全世界传感器产业链正处在蓬勃发展的阶段，技术性更新迭代持续加速，产业链市场竞争日益猛烈。2018年，全世界传感器市场容量做到2059 亿美金，年平均增长率超出12%，在其中MEMS传感器占有率由2015年的8%快速上涨至25%，变成仅次图象传感器（CIS）的第二大传感器类别。
全世界MEMS传感器销售市场当前仍由欧美国家日等西方国家和地域核心，在其中美国，法国及其日本三国销售市场占有率做到50%之上，而在高档MEMS传感器领域，美国和法国的优点则更加显著。
美国博通在频射MEMS传感器领域处在一定领先水平，特别是在在MEMS过滤器领域，市场占有率达到87%。伴随着移动智能终端产业链的爆发式增长，博通的竞争优势将获得进一步推进。
BOSCH在健身运动类MEMS传感器层面一枝独秀，其产品在车辆及其智能机等领域已变成不可缺少的核心部件。在我国在声学材料MEMS传感器等领域具备一定竞争能力，但总体看来尚不具有核心工作能力。
伴随着MEMS生产技术的逐步完善，新式MEMS传感器产品五花八门，产品销售量也出现大幅度上升的发展趋势。
现阶段，MEMS公司已经根据持续的基本技术革新完成进一步的提升，产品商业化的周期时间和成本费减少周期时间得到大幅度减少，20世际60时代，传统式的工作压力传感器商业化的时间长达15年，而成本费减少時间一样必须 15年，而当今MEMS传感器的均值商业化的時间仅为6年，成本费减少時间也进一步减少至5年之内，因而迅速更替的产品促使MEMS传感器早已在诸多领域取得成功得到商业化的，并发生了很大的市場机遇。
2 MEMS传感器运用现况
MEMS传感器类型极多，可使用于物理学，有机化学，微生物等领域数据信号的检测，比较常用的类型有瞬时速度传感器，惯性力传感器，工作压力传感器，MEMS陀螺仪及其MEMS话筒等。现阶段，MEMS传感器在消费电子产品，诊疗，汽车电子产品及其工业生产等运用领域占有率最大，各自占有41.8%，28.1%，16.7%和9.1%。
在消费电子产品领域，出自于对容积，功能损耗及其费用等要素的考虑到，以手机上，平板电脑，可配戴，AR/VR机器设备等为意味着的ICT智能终端80%之上的传感器是根据MEMS加工工艺生产的，关键分成速度感测组成传感器，自然环境传感组成传感器，电子光学传感组成传感器等。
在其中，速度感测组成传感器关键包含加快计，陀螺仪和惯性力精确测量模块；自然环境传感组成传感器关键包含MEMS话筒，工作压力传感器等；电子光学传感组成传感器关键包含光线传感器，贴近传感器，RGB色调传感器，激光测距传感器，电子光学微生物传感器等。
在诊疗领域，微生物MEMS传感器早已变成医药学检测中不能缺失的核心部件，关键分成微生物菌种传感器，酶传感器，体细胞传感器，机构传感器，蛋白传感器，免疫力传感器6类。
除此之外，MEMS传感器还使用于脑电精确测量，心电图检查检测，CT显像及其机器设备精准定位等别的非生物因素领域，将来伴随着元器件特性的持续提高及其进一步小型化，MEMS技术性还将在外骨骼，心血管支架，眼底黄斑嵌入等新起领域获得进一步运用。
在汽车电子产品领域，MEMS传感器总体展现持续增长的发展趋势，近5年汽车交易市场MEMS传感器复合型增长率超出7%，预估到2022年，市场容量将做到32 亿美金，销售量将超出20 亿颗。
汽车电子产品领域常见的传感器关键包含加快传感器，工作压力传感器，陀螺仪，总流量传感器，溫度传感器，液位仪传感器，部位传感器，汽体浓度值传感器等，关键运用于电子器件稳定性程序流程自动控制系统，汽车安全气囊，胎压监测装置，进排汽管肯定压力检测等领域。
在工业电子领域，MEMS传感器高可靠性，高精密的特点可达到工业控制系统领域几近“零误差”的规定，与此同时针对極限溫度，环境湿度和ph酸碱度等办公环境规定，MEMS传感器可根据封装类型，加工工艺等技术应用的变动开展达到。如使用在地质勘查等领域的ADI工业级陀螺仪，其使用寿命可以达到1000 h，耐冲击性达10 000 G，应用温度范围达-40℃~175℃ 。
3 优秀MEMS传感器技术性发展趋势最新消息
当今，MEMS传感器早已使用于每个领域当中，在其中技术性迭代更新更快，运用经营规模最高的就是健身运动传感器和工作压力传感器。
MEMS健身运动传感器是现阶段使用极其普遍的MEMS传感器，包括了陀螺仪，加速度传感器和惯性力精确测量模块等，现阶段早已在智能机，可佩戴智能产品及其平板等领域完成了大量运用。
当今，MEMS健身运动传感器已经朝着多用途集成化和高精密开展演变，为处理移动智能终端产品中的差异要求衍化出各种各样优秀的解决方法。
为完成多传感器中间的数据预处理，飞思卡尔等企业在其传感器产品中内嵌了微控制器及其储存器等控制模块，解决了结合外界感测器信息的难题。
博世公司运用系统封装（SiP）等技术性，将三轴12位加速度传感器，三轴地磁场传感器，三轴16位陀螺仪及其微处理器开展融合，进一步对增强现实技术，定位导航，本人运动健身及其其它对自然环境观念规定较高的情景的适用性开展了提升。
为完成无GPS数据信号状况下的精准惯性导航，现阶段现已有集成化了加速度传感器，陀螺仪，地磁场传感器及其插口专用型处理器的本人惯性导航系统软件被报导，该体系在功耗低CMOS集成电路芯片的协助下，与系统软件校正技术性完全融合，完成了在无GPS数据信号状况下，3 km徒步相距内偏差低于6 m的优势性能。
MEMS工作压力传感器一样是应用最普遍的MEMS传感器产品之一，一般运用于智能机，航天航空，车辆，生物技术及其加工工艺操纵等领域，依照工作压力检测方法能够分成压阻式，电容传感器，串联谐振感测器等，而最常见的是压阻式和电容传感器，因而这二种工作压力传感器的技术性迭代更新也较为活跃性。
为充足减少微压MEMS传感器中测定的敏感和线性中间的分歧，持续提升微压传感器测量精度，一种新式的FBBM构造应时而生，该构造包括了4个短梁和一个坐落于核心的正方形凸块，根据降低感测器膜结构工程偏移水平做到进一步减少工作压力的离散系统，并提升了压阻敏感度，做到了提高微压MEMS传感器精密度的总体目标。
为达到航天航空行业中在极端条件中的微波感应器无线网络压力传感要求，一种根据蓝色宝石的隔阂和建筑结构MEMS压力传感构造被明确提出，在施压时，传感器膈膜产生偏移，传感器的电串联谐振因此随工作压力膈膜的偏移而更改，完成了将轻度压力转换为信号的目地，该构造可在1000℃的高溫下正常的工作中，达到了极端条件下压力传感的要求。
4 在我国MEMS传感器高新产业现况
近些年，中国MEMS全产业链已产生从网站前端开发，制造到后面封装，检测的完善全产业链条[4]，瑞声科技，歌尔股份，耐威科技，中芯，长电科技等各全产业链行业龙头发展趋势快速。
此外，近些年中国MEMS销售市场增长速度一直高过全世界销售市场提高水准，这一方面归功于中国MEMS销售市场发展趋势开始相比比较晚，销售市场数量较小，因而销售市场增长率较快；另一方面，近些年中国消费电子产品产品及其汽车电子产品产品始终保持较快增长势头，加上全世界电子器件整个机械产业链不断向中国迁移，促使MEMS要求持续释放出来，中国MEMS销售市场因而展现较好快速发展趋势，占全世界的市场占有率也不断地提升。
殊不知因为发展比较晚，在我国公司仍存有生产能力不够，关键技术缺乏等薄弱点。总而言之，当今中国仍需在关键技术科技攻关，全产业链配套设施水准提高等领域做工作中，从源头上提高当地MEMS传感器产业链的竞争优势。
4.1 设计方案
MEMS传感器设计方案是一项集基础知识，应用技术及其例如通讯，有机化学，微生物等学科交叉有关新技术的繁杂工作中，包含覆盖面广，综合型强，因而相较于传统式传感器，MEMS传感器产品线开发设计难度系数大，时间长，且成本费一直持续上升。
整体而言，在我国在MEMS传感器设计方案水平及其基础研究等领域与海外领先水准仍存有一定差别。
在制定实力层面，在我国MEMS产业链通过20很多年的发展趋势，现阶段早已不断涌现歌尔股份，瑞声科技，敏芯高新科技等行业龙头，在其中歌尔股份的MEMS话筒产品早已进到iPhone，三星等国际性一流生产商的供应链管理，销售量位列全世界第二，且于2018年营业收入经营规模做到50 亿美金。
但与霍尼韦尔，BOSCH等全球领头生产商对比，在我国公司仍存有产品线单一，总体经营规模偏小等难题，现阶段中国除歌尔股份和瑞声科技等极少数行业龙头外，别的公司年营业收入仍难以实现1 亿美金。
在基础研究层面，现阶段中国在商业化的MEMS设计工具层面处在真空环境情况，一般选用Coventorware，IntelliSuite和Ansys等海外专用工具开展MEMS模拟仿真，而且欠缺高质量的MEMS和ASIC设计服务（如IP库等），进而引起诸多MEMS工程设计公司的产品产品研发周期时间太长，且以效仿海外完善产品为主导，欠缺助推行业市场的自主创新产品，不能满足日新月异的市场的需求。
4.2 制造
MEMS制造工艺是集成电路芯片IC制造工艺的一支，但与传统式IC制造工艺对比具有显著差别。
传统式IC制造的目标是在企业范围上集成化尽量多的晶体三极管，如intel全新i7CPU可集成化数十亿只晶体三极管，与之对比，MEMS传感器件集成化元器件数目少，单独元器件容积比较大，因而MEMS制造工艺并不是一味追求完美更小的制造连接点与更多的处理速度，只是更为重视原料的构造机械设备特点，材料有机化学特点及其离子注入深度1，精密度，地应力操纵等每一步工艺的精确完成。
除此之外，因为MEMS元器件中存有例如固支梁等独特构造，因而相较于传统式的IC制造工艺，MEMS工艺存有大量完成困难很大的独特技术性，如形槽离子注入，放弃层释放出来技术性，LIGA工艺，引线键合技术性等。
中国流行的MEMS代工生产生产线现阶段以6 英尺和8 英尺集成ic为主导，伴随着近些年罕王高新科技，耐威科技等优秀生产线依次落地式，在我国的MEMS生产能力获得了一定程度上的提高，且生产量也从2015年的不够20%提高到现今的80%之上。
但现在我国内线仅能制取以工作压力传感器，MEMS话筒，加速度传感器等为核心的中低端产品，制造工艺水准与世界领跑代工企业的差异显著，例如压电材料（AlN，PZT等）等高档制造工艺线并未创建，没法生产制造塑料薄膜体声波频率过滤器，压阻式喷墨打印机打印机喷头和超音波传感器等产品。
虽然中国MEMS代工企业也有着体微生产加工技术性，表层微生产工艺和CMOS MEMS技术性，但因为产品销售量都相对比较小，因而在批量生产合格率，稳定性和可靠性等领域存在的问题。
#重点关注#【刚刚，市安委办发布紧急通知！】刚刚，徐州市安全生产委员会办公室发布《关于做好寒潮大风降温天气安全防范工作的紧急通知》。
各县（市）区人民政府，徐州经济技术开发区、徐州高新技术产业开发区、徐州淮海国际港务区管委会，市各有关部门和单位：
根据最新气象资料分析，目前北方有一股强冷空气正在东移南下，今天开始自北向南影响我市，48小时内大部分地区最低气温将下降10～12℃，可达到寒潮。17-18日早晨最低气温3～4℃，有霜或霜冻。16日上午，江苏省气象台发布大风蓝色预警，预计未来24小时内我市将有7-8级阵风。为做好寒潮大风降温安全防范工作，现将有关事项通知如下：
一、强化政治担当，确保责任落实到位
此次寒潮天气，降温幅度大，伴有明显大风，将会对农业生产、能源供应、室外作业、人体健康造成不利影响。各地、各有关部门必须高度重视寒潮天气期间安全防范工作，牢固树立红线意识和底线思维，层层压实责任，结合季节特点和各行业领域实际，多渠道加强大风、降温等天气监测预警，迅速安排部署好相关工作，认真分析研判寒潮天气可能带来的不利影响，突出重点行业领域，超前开展风险分析辨识，制定并落实有效的管控措施，全面加强应急准备，坚决防范遏制各类事故发生，确保人民群众生命财产安全。
二、强化重点监管，确保安全防范到位
为切实做好寒潮降温安全防范工作，严防各类事故发生，各级各有关部门要认真做好应对恶劣天气的准备工作。
气象部门要加强监测预报，加密会商研判，特别是加强短临预警预报，及时会同市安委办、市减灾办通过广播、电视、手机短信、微信公众号、电子显示屏等各类媒介载体，及时发布预警信息，提醒广大企业、社会公众做好安全防范。
农业部门要加强灾害性天气应对技术指导，组织农技人员深入一线，指导群众做好防风、防低温和防冻工作，及时加固蔬菜大棚、禽舍，减少和避免灾害损失。
资规部门要严防寒潮来临后森林火灾风险陡升，应当采取多种方式提高对杂草、枯枝败叶等易燃物的清理力度，建立人防和技防相结合的工作模式，强化森林防火巡查，全力以赴做好秋冬季节防火工作。
住建部门重点抓好建筑工地防风、防高处坠落等措施落实，蓝色大风预警期间立即停用塔吊、升降机等机械设备，严禁从事各种室外、露天施工作业。提前筹备部署城市老旧小区燃气管线的隐患排查治理。
城管部门要指导督促相关企业、单位加固城市棚架、广告牌等搭建物。
文旅部门及时关注天气情况，在大风蓝色预警期间及时停止索道、高空游乐项目运行。
教育部门要及时督促各地学校做好师生防寒保暖工作。
交通运输、公安部门要按照职责分工加强水上交通动态监管，严禁恶劣天气各类船舶违规作业；做好“两客一危一货”、校车、公交车等重点交通工具以及车站、机场、桥梁等重点设施的隐患排查治理，严厉查处“三超一疲劳”、非法载客、客货混装等严重违法违规行为，防止因寒潮大风影响出现交通事故；加强对事故易发路段的巡逻，及时消除隐患，确保公路安全畅通。其他行业领域也要结合实际，提前落实安全防范措施，防止发生各类安全事故。
基层镇、街道要关注孤寡老人、留守儿童等特殊困难群体，及时做好帮扶工作。
三、落实主体责任，防范生产隐患
各类企业要严格落实企业安全生产主体责任，认真排查低温天气对生产工作带来的安全隐患。
危险化学品企业要着重加强对生产装置、罐区、气柜等重点部位安全管控，重点排查涉易燃易爆有毒有害的危险化学品生产装置和储存设施的安全风险，加强动火等特殊作业管理，确保防冻、防凝、防火、防爆、防泄漏、防静电等安全防护措施执行到位。
工贸企业要强化冶金煤气、高温熔融金属、粉尘涉爆、涉氨制冷、有限空间作业等方面安全风险管控和隐患治理。
煤矿和非煤地下矿山要切实加强井下通风、动火管理，落实防冰冻措施，强化用电安全管理，消除火灾、中毒等事故隐患。露天矿山要强化安全巡查，完善冰雪天气车辆防滑措施，加强运输安全管理，对因低温雨雪极端恶劣天气影响安全的，要坚决实行停工停产，严防雨雪、冰冻、霜冻等极端自然灾害造成次生事故。
各级供水、供电、供气、通信等单位要加强各类管网、线路、设施的检查，成立应急抢修队伍，加强全天候应急值班，切实做好供水、供电、供气和通讯等设施的安全巡查、维护，保证各类线路管网正常运行，确保广大城乡居民正常生产生活。
四、强化值班值守，确保应急保障
各地、各有关部门要严格落实值班值守制度，认真落实24小时值班制度和领导干部在岗带班，确保信息联络畅通。严格执行事故报告程序和时限规定，因恶劣天气造成生产安全事故及其他突发事件，要立即报告，并稳妥做好舆情应对等各项处置工作。进一步完善应对极端恶劣天气应急预案，切实增强预案的科学性、针对性，确保各环节工作到位，确保险情灾情发生后，第一时间响应，全力有效应对处置，最大限度减少损失， 维护社会安全稳定。
各地、各有关部门今后如遇到类似极端恶劣天气，请参照本文并结合实际情况，采取有针对性的安全措施，坚决防范各类事故发生。
徐州市安全生产委员会办公室
2021年10月16日
各县（市）区人民政府，徐州经济技术开发区、徐州高新技术产业开发区、徐州淮海国际港务区管委会，市各有关部门和单位：
根据最新气象资料分析，目前北方有一股强冷空气正在东移南下，今天开始自北向南影响我市，48小时内大部分地区最低气温将下降10～12℃，可达到寒潮。17-18日早晨最低气温3～4℃，有霜或霜冻。16日上午，江苏省气象台发布大风蓝色预警，预计未来24小时内我市将有7-8级阵风。为做好寒潮大风降温安全防范工作，现将有关事项通知如下：
一、强化政治担当，确保责任落实到位
此次寒潮天气，降温幅度大，伴有明显大风，将会对农业生产、能源供应、室外作业、人体健康造成不利影响。各地、各有关部门必须高度重视寒潮天气期间安全防范工作，牢固树立红线意识和底线思维，层层压实责任，结合季节特点和各行业领域实际，多渠道加强大风、降温等天气监测预警，迅速安排部署好相关工作，认真分析研判寒潮天气可能带来的不利影响，突出重点行业领域，超前开展风险分析辨识，制定并落实有效的管控措施，全面加强应急准备，坚决防范遏制各类事故发生，确保人民群众生命财产安全。
二、强化重点监管，确保安全防范到位
为切实做好寒潮降温安全防范工作，严防各类事故发生，各级各有关部门要认真做好应对恶劣天气的准备工作。
气象部门要加强监测预报，加密会商研判，特别是加强短临预警预报，及时会同市安委办、市减灾办通过广播、电视、手机短信、微信公众号、电子显示屏等各类媒介载体，及时发布预警信息，提醒广大企业、社会公众做好安全防范。
农业部门要加强灾害性天气应对技术指导，组织农技人员深入一线，指导群众做好防风、防低温和防冻工作，及时加固蔬菜大棚、禽舍，减少和避免灾害损失。
资规部门要严防寒潮来临后森林火灾风险陡升，应当采取多种方式提高对杂草、枯枝败叶等易燃物的清理力度，建立人防和技防相结合的工作模式，强化森林防火巡查，全力以赴做好秋冬季节防火工作。
住建部门重点抓好建筑工地防风、防高处坠落等措施落实，蓝色大风预警期间立即停用塔吊、升降机等机械设备，严禁从事各种室外、露天施工作业。提前筹备部署城市老旧小区燃气管线的隐患排查治理。
城管部门要指导督促相关企业、单位加固城市棚架、广告牌等搭建物。
文旅部门及时关注天气情况，在大风蓝色预警期间及时停止索道、高空游乐项目运行。
教育部门要及时督促各地学校做好师生防寒保暖工作。
交通运输、公安部门要按照职责分工加强水上交通动态监管，严禁恶劣天气各类船舶违规作业；做好“两客一危一货”、校车、公交车等重点交通工具以及车站、机场、桥梁等重点设施的隐患排查治理，严厉查处“三超一疲劳”、非法载客、客货混装等严重违法违规行为，防止因寒潮大风影响出现交通事故；加强对事故易发路段的巡逻，及时消除隐患，确保公路安全畅通。其他行业领域也要结合实际，提前落实安全防范措施，防止发生各类安全事故。
基层镇、街道要关注孤寡老人、留守儿童等特殊困难群体，及时做好帮扶工作。
三、落实主体责任，防范生产隐患
各类企业要严格落实企业安全生产主体责任，认真排查低温天气对生产工作带来的安全隐患。
危险化学品企业要着重加强对生产装置、罐区、气柜等重点部位安全管控，重点排查涉易燃易爆有毒有害的危险化学品生产装置和储存设施的安全风险，加强动火等特殊作业管理，确保防冻、防凝、防火、防爆、防泄漏、防静电等安全防护措施执行到位。
工贸企业要强化冶金煤气、高温熔融金属、粉尘涉爆、涉氨制冷、有限空间作业等方面安全风险管控和隐患治理。
煤矿和非煤地下矿山要切实加强井下通风、动火管理，落实防冰冻措施，强化用电安全管理，消除火灾、中毒等事故隐患。露天矿山要强化安全巡查，完善冰雪天气车辆防滑措施，加强运输安全管理，对因低温雨雪极端恶劣天气影响安全的，要坚决实行停工停产，严防雨雪、冰冻、霜冻等极端自然灾害造成次生事故。
各级供水、供电、供气、通信等单位要加强各类管网、线路、设施的检查，成立应急抢修队伍，加强全天候应急值班，切实做好供水、供电、供气和通讯等设施的安全巡查、维护，保证各类线路管网正常运行，确保广大城乡居民正常生产生活。
四、强化值班值守，确保应急保障
各地、各有关部门要严格落实值班值守制度，认真落实24小时值班制度和领导干部在岗带班，确保信息联络畅通。严格执行事故报告程序和时限规定，因恶劣天气造成生产安全事故及其他突发事件，要立即报告，并稳妥做好舆情应对等各项处置工作。进一步完善应对极端恶劣天气应急预案，切实增强预案的科学性、针对性，确保各环节工作到位，确保险情灾情发生后，第一时间响应，全力有效应对处置，最大限度减少损失， 维护社会安全稳定。
各地、各有关部门今后如遇到类似极端恶劣天气，请参照本文并结合实际情况，采取有针对性的安全措施，坚决防范各类事故发生。
徐州市安全生产委员会办公室
2021年10月16日
了解LCD驱动(FrameBuffer)的开发
开发环境
主 机：VMWare--Fedora 9
开发板：Mini2440--64MB Nand, Kernel:2.6.30.4
编译器：arm-linux-gcc-4.3.2
背景知识
1. LCD工作的硬件需求
一块LCD正常的显示文字或图像，首先需要LCD驱动器，还需要相应的LCD控制器。一般情况下，LCD驱动器会以COF/COG的形式与LCD玻璃基板制作在一起，而LCD控制器则是由外部的电路来实现，现在很多的MCU内部都集成了LCD控制器，如S3C2410/2440等。通过LCD控制器就可以产生LCD驱动器所需要的控制信号来控制STN/TFT屏了。
2. 例：S3C2440内部LCD控制器结构图1
我们根据数据手册来描述一下这个集成在S3C2440内部的LCD控制器：
1) LCD控制器：REGBANK、LCDCDMA、TIMEGEN、VIDPRCS寄存器组成；
2) REGBANK：17个可编程的寄存器组和一块256*16的调色板内存组成，用途-配置LCD控制器；
3) LCDCDMA：是一个专用的DMA，能自动把在侦内存中的视频数据传送至LCD驱动器，经过使用这个DMA通道，视频数据不需要CPU干预可以显示在LCD屏上；
4) VIDPRCS：接收来自LCDCDMA的数据，并转换为合适的数据格式，像4/8位单扫，4位双扫显示模式，之后通过数据端口VD[23:0]传送视频数据到LCD驱动器；
5) TIMEGEN：可以生成LCD驱动器需要的控制信号，（VSYNC、HSYNC、VCLK和LEND等），这些控制信号与REGBANK寄存器组中的LCDCON1/2/3/4/5的配置密切相关，经过不一样的配置，能产生不同形态，进而支持不同的LCD驱动器(STN/TFT屏)。
3. 常见TFT屏工作时序分析
上面时序图上各时钟延时参数的含义如下：图2
VBPD(verTIcal back porch)：表示在一帧图像开始时，垂直同步信号以后的无效的行数，对应驱动中的upper_margin；VFBD(verTIcal front porch)：表示在一帧图像结束后，垂直同步信号以前的无效的行数，对应驱动中的lower_margin；VSPW(vertical sync pulse width)：表示垂直同步脉冲的宽度，用行数计算，对应驱动中的vsync_len；HBPD(horizontal back porch)：表示从水平同步信号开始到一行的有效数据开始之间的VCLK的个数，对应驱动中的left_margin；HFPD(horizontal front porth)：表示一行的有效数据结束到下一个水平同步信号开始之间的VCLK的个数，对应驱动中的right_margin；HSPW(horizontal sync pulse width)：表示水平同步信号的宽度，用VCLK计算，对应驱动中的hsync_len；
4、LCD提供的外部接口信号：图3
VSYNC/VFRAME/STV：垂直同步信号(TFT)/帧同步信号(STN)/SEC TFT信号；HSYNC/VLINE/CPV：水平同步信号(TFT)/行同步脉冲信号(STN)/SEC TFT信号；VCLK/LCD_HCLK：象素时钟信号(TFT/STN)/SEC TFT信号；VD[23:0]：LCD像素数据输出端口(TFT/STN/SEC TFT)；VDEN/VM/TP：数据使能信号(TFT)/LCD驱动交流偏置信号(STN)/SEC TFT 信号；LEND/STH：行结束信号(TFT)/SEC TFT信号；LCD_LPCOE：SEC TFT OE信号；LCD_LPCREV：SEC TFT REV信号；LCD_LPCREVB：SEC TFT REVB信号。
对于以上这些参数的值将分别保存到REGBANK寄存器组中的LCDCON1/2/3/4/5寄存器中：(对寄存器的操作请查看S3c2440数据手册LCD部分)
LCDCON1：17 - 8位CLKVAL 6 - 5位扫描模式(对于STN屏:4位单/双扫、8位单扫) 4 - 1位色位模式(1BPP、8BPP、16BPP等)LCDCON2：31 - 24位VBPD 23 - 14位LINEVAL 13 - 6位VFPD 5 - 0位VSPWLCDCON3：25 - 19位HBPD 18 - 8位HOZVAL 7 - 0位HFPDLCDCON4：7 - 0位HSPWLCDCON5：
5、帧缓冲(FrameBuffer)
帧缓冲是Linux为显示设备提供的一个接口，它把一些显示设备描述成一个缓冲区，允许应用程序通过FrameBuffer定义好的接口访问这些图形设备，从而不用去关心具体的硬件细节。对于帧缓冲设备而言，只要在显示缓冲区与显示点对应的区域写入颜色值，对应的颜色就会自动的在屏幕上显示。下面来看一下在不同色位模式下缓冲区与显示点的对应关系：
帧缓冲(FrameBuffer)设备驱动结构：图4
帧缓冲设备为标准的字符型设备，在Linux中主设备号29，定义在/include/linux/major.h中的FB_MAJOR，次设备号定义帧缓冲的个数，最大允许有32个FrameBuffer，定义在/include/linux/fb.h中的FB_MAX，对应于文件系统下/dev/fb%d设备文件。
帧缓冲设备驱动在Linux子系统中的结构如下：图5、图6
我们从上面这幅图看，帧缓冲设备在Linux中也可以看做是一个完整的子系统，大体由fbmem.c和xxxfb.c组成。向上给应用程序提供完善的设备文件操作接口(即对FrameBuffer设备进行read、write、ioctl等操作)，接口在Linux提供的fbmem.c文件中实现；向下提供了硬件操作的接口，只是这些接口Linux并没有提供实现，因为这要根据具体的LCD控制器硬件进行设置，所以这就是我们要做的事情了(即xxxfb.c部分的实现)。
帧缓冲设备作为平台设备： 在S3C2440中，LCD控制器被集成在芯片的内部作为一个相对独立的单元，所以Linux把它看做是一个平台设备，故在内核代码/arch/arm/plat-s3c24xx/devs.c中定义有LCD相关的平台设备及资源。
上面第一幅图是开发板原理图的LCD控制器部分，第二幅图是S3c2440数据手册中IO端口C和IO端口D控制器部分。原理图中使用了GPC8-15和GPD0-15来用做LCD控制器VD0-VD23的数据端口，又分别使用GPC0、GPC1端口用做LCD控制器的LEND和VCLK信号，S3C2440的各个IO口并不是单一的功能，都是复用端口，要使用他们首先要对他们进行配置。就是把GPC和GPD的部分端口配置成LCD控制功能模式。
开发环境
主 机：VMWare--Fedora 9
开发板：Mini2440--64MB Nand, Kernel:2.6.30.4
编译器：arm-linux-gcc-4.3.2
背景知识
1. LCD工作的硬件需求
一块LCD正常的显示文字或图像，首先需要LCD驱动器，还需要相应的LCD控制器。一般情况下，LCD驱动器会以COF/COG的形式与LCD玻璃基板制作在一起，而LCD控制器则是由外部的电路来实现，现在很多的MCU内部都集成了LCD控制器，如S3C2410/2440等。通过LCD控制器就可以产生LCD驱动器所需要的控制信号来控制STN/TFT屏了。
2. 例：S3C2440内部LCD控制器结构图1
我们根据数据手册来描述一下这个集成在S3C2440内部的LCD控制器：
1) LCD控制器：REGBANK、LCDCDMA、TIMEGEN、VIDPRCS寄存器组成；
2) REGBANK：17个可编程的寄存器组和一块256*16的调色板内存组成，用途-配置LCD控制器；
3) LCDCDMA：是一个专用的DMA，能自动把在侦内存中的视频数据传送至LCD驱动器，经过使用这个DMA通道，视频数据不需要CPU干预可以显示在LCD屏上；
4) VIDPRCS：接收来自LCDCDMA的数据，并转换为合适的数据格式，像4/8位单扫，4位双扫显示模式，之后通过数据端口VD[23:0]传送视频数据到LCD驱动器；
5) TIMEGEN：可以生成LCD驱动器需要的控制信号，（VSYNC、HSYNC、VCLK和LEND等），这些控制信号与REGBANK寄存器组中的LCDCON1/2/3/4/5的配置密切相关，经过不一样的配置，能产生不同形态，进而支持不同的LCD驱动器(STN/TFT屏)。
3. 常见TFT屏工作时序分析
上面时序图上各时钟延时参数的含义如下：图2
VBPD(verTIcal back porch)：表示在一帧图像开始时，垂直同步信号以后的无效的行数，对应驱动中的upper_margin；VFBD(verTIcal front porch)：表示在一帧图像结束后，垂直同步信号以前的无效的行数，对应驱动中的lower_margin；VSPW(vertical sync pulse width)：表示垂直同步脉冲的宽度，用行数计算，对应驱动中的vsync_len；HBPD(horizontal back porch)：表示从水平同步信号开始到一行的有效数据开始之间的VCLK的个数，对应驱动中的left_margin；HFPD(horizontal front porth)：表示一行的有效数据结束到下一个水平同步信号开始之间的VCLK的个数，对应驱动中的right_margin；HSPW(horizontal sync pulse width)：表示水平同步信号的宽度，用VCLK计算，对应驱动中的hsync_len；
4、LCD提供的外部接口信号：图3
VSYNC/VFRAME/STV：垂直同步信号(TFT)/帧同步信号(STN)/SEC TFT信号；HSYNC/VLINE/CPV：水平同步信号(TFT)/行同步脉冲信号(STN)/SEC TFT信号；VCLK/LCD_HCLK：象素时钟信号(TFT/STN)/SEC TFT信号；VD[23:0]：LCD像素数据输出端口(TFT/STN/SEC TFT)；VDEN/VM/TP：数据使能信号(TFT)/LCD驱动交流偏置信号(STN)/SEC TFT 信号；LEND/STH：行结束信号(TFT)/SEC TFT信号；LCD_LPCOE：SEC TFT OE信号；LCD_LPCREV：SEC TFT REV信号；LCD_LPCREVB：SEC TFT REVB信号。
对于以上这些参数的值将分别保存到REGBANK寄存器组中的LCDCON1/2/3/4/5寄存器中：(对寄存器的操作请查看S3c2440数据手册LCD部分)
LCDCON1：17 - 8位CLKVAL 6 - 5位扫描模式(对于STN屏:4位单/双扫、8位单扫) 4 - 1位色位模式(1BPP、8BPP、16BPP等)LCDCON2：31 - 24位VBPD 23 - 14位LINEVAL 13 - 6位VFPD 5 - 0位VSPWLCDCON3：25 - 19位HBPD 18 - 8位HOZVAL 7 - 0位HFPDLCDCON4：7 - 0位HSPWLCDCON5：
5、帧缓冲(FrameBuffer)
帧缓冲是Linux为显示设备提供的一个接口，它把一些显示设备描述成一个缓冲区，允许应用程序通过FrameBuffer定义好的接口访问这些图形设备，从而不用去关心具体的硬件细节。对于帧缓冲设备而言，只要在显示缓冲区与显示点对应的区域写入颜色值，对应的颜色就会自动的在屏幕上显示。下面来看一下在不同色位模式下缓冲区与显示点的对应关系：
帧缓冲(FrameBuffer)设备驱动结构：图4
帧缓冲设备为标准的字符型设备，在Linux中主设备号29，定义在/include/linux/major.h中的FB_MAJOR，次设备号定义帧缓冲的个数，最大允许有32个FrameBuffer，定义在/include/linux/fb.h中的FB_MAX，对应于文件系统下/dev/fb%d设备文件。
帧缓冲设备驱动在Linux子系统中的结构如下：图5、图6
我们从上面这幅图看，帧缓冲设备在Linux中也可以看做是一个完整的子系统，大体由fbmem.c和xxxfb.c组成。向上给应用程序提供完善的设备文件操作接口(即对FrameBuffer设备进行read、write、ioctl等操作)，接口在Linux提供的fbmem.c文件中实现；向下提供了硬件操作的接口，只是这些接口Linux并没有提供实现，因为这要根据具体的LCD控制器硬件进行设置，所以这就是我们要做的事情了(即xxxfb.c部分的实现)。
帧缓冲设备作为平台设备： 在S3C2440中，LCD控制器被集成在芯片的内部作为一个相对独立的单元，所以Linux把它看做是一个平台设备，故在内核代码/arch/arm/plat-s3c24xx/devs.c中定义有LCD相关的平台设备及资源。
上面第一幅图是开发板原理图的LCD控制器部分，第二幅图是S3c2440数据手册中IO端口C和IO端口D控制器部分。原理图中使用了GPC8-15和GPD0-15来用做LCD控制器VD0-VD23的数据端口，又分别使用GPC0、GPC1端口用做LCD控制器的LEND和VCLK信号，S3C2440的各个IO口并不是单一的功能，都是复用端口，要使用他们首先要对他们进行配置。就是把GPC和GPD的部分端口配置成LCD控制功能模式。
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