蚀刻掩模及蚀刻溶液对InP微加工形成V 型槽的影响
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
引言
p-i-n光电探测器封装中最具挑战性的任务之一是将光纤耦合到探测器。由于探测器和光纤的尺寸都非常小，精确和准确的对准非常关键。如今，在大多数情况下，这是通过耗时且成本高昂的主动对准技术来实现的，该技术涉及在二极管工作时单独调整每根光纤，以获得最大响应并进行固定。因此，需要开发无源自对准技术，其时间消耗更少、成本更低，并且同时可靠且合理有效。众所周知，半导体材料的微机械加工是精确的，具有极好的尺寸控制，它非常适合于实现精确的微结构，然后可以用于无源光纤自对准。因其晶面蚀刻速率不同而产生的单晶硅各向异性湿法化学蚀刻是一种成熟且受欢迎的技术。1该技术已用于制造各种高精度无源微结构，然后用于固定光纤和引导光线。然而，由于大多数光学器件是由直接带隙化合物半导体材料如InGaAs和InP制成的，所以这些器件必须通过倒装芯片技术安装在微机械加工的硅晶片上以进行光纤对准。
为了使光电子器件更容易单片集成，在像InP本身这样的衬底材料中实现精密微结构更方便。在过去的几年里，人们一直在积极研究开发各种技术，用于在InP(100)晶片中制造高度精确的对准沟槽。然而，InP的蚀刻在底切和由此产生的侧壁轮廓方面带来了许多问题。闪锌矿晶体如InP和GaAs具有两种不同类型的{111}面，它们可能在蚀刻时出现。其中，{111}A表面终止于III族原子，而{111}B表面终止于V族原子。{111}B表面具有更高的反应性，因为在该表面上每个原子有五个成键电子，相比之下，在{ 111 } B表面上每个原子有三个成键电子{ 111 }一个曲面。在蚀刻时，当掩模边缘沿[01-1]方向取向时，预期会出现具有{111}A刻面的V形槽。在[0-1-1]方向上，应该形成几乎垂直的侧壁。已经尝试了多种蚀刻掩模和蚀刻溶液实验证实这一点。2-5在一些情况下，然而，而不是当在HCl:H3PO4溶液中使用SiO2或Ti作为蚀刻掩模时，会出现{111}面、{211}面和{311}面。2-4此外，据报道，在HCl:H3PO4 (5:1)溶液中使用光刻胶掩模时会出现严重的底切。5另一方面，使用SiO2和Ti掩模的HBr基蚀刻系统会产生具有{ 111 }面的V形槽。
如上所述，有许多关于在InP中实现V形槽的公开文献。然而，大多数实验数据都是针对蚀刻深度小于25 m的情况公布的。Klocken- brink等人2讨论了蚀刻深度为120 m的V形槽，但他们的工作仅限于HCl:H3PO4蚀刻剂。在目前的工作中
V-针对要求蚀刻深度大于350 μm的特定应用进行凹槽蚀刻。这要求蚀刻更长的时间。蚀刻掩模现在起着更重要的作用，因为蚀刻剂与掩模材料的相互作用可能导致严重的底切。为了优化工艺，因此必须选择适合于这种长时间蚀刻的蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。为此，我们使用Ti、Cr和等离子体沉积的氮化硅蚀刻掩模对InP(100)衬底进行了湿法化学取向相关蚀刻(ODE)。还研究了这些掩模材料对底切程度的影响。HCl:H3PO4以及HBr:CH3COOH蚀刻系统已经用于研究蚀刻后的侧壁角度以及表面光洁度。然后根据底切的程度、表面光滑度和V形槽的角度来确定蚀刻剂和蚀刻掩模的最佳组合。
适当调整窗口尺寸，可以实现U形槽而不是V形槽(如图1所示)。当在暴露平面相遇之前遇到蚀刻停止层时，会发生这种情况。之后，InGaAs层必须通过选择性蚀刻剂去除，否则它将部分吸收来自光纤的光。这将导致凹槽的平滑底面，然后可以用抗反射涂层涂覆该底面，以最小化光纤的反射损失。还有n+层(p-i-n结构的)
厚度已经增加到大约2 μm，使得当
插入凹槽，不会刺穿和损坏探测器。根
V形槽的成功实现是(I)衬底的结晶据这一思想，在InP(100)上制作V形槽
衬底已被执行。的四个重要方面
完美，(ii)掩模图案在特定方向上的精确对准，(iii)掩模材料的良好粘附
和(iv)用于蚀刻InP的特定蚀刻溶液。这些因素影响V形槽的实际形状、蚀刻时底切的程度以及暴露面的表面光滑度，所有这些因素对于光纤与探测器的实际对准都是至关重要的。在目前的工作中，不同的蚀刻掩模材料以及各种蚀刻溶液已经被用于优化V形槽的制造。
讨论
使用HCl:H3PO4 (5:1)蚀刻系统(编号1)蚀刻剖面。—钛作为蚀刻掩模。使用钛作为蚀刻掩模，在[01-1]方向上(沿着524 μm边缘)形成V形槽。在[0-1-1]方向，形成垂直壁。V形槽壁光滑，并以35.3°的角度倾斜于(100)面，如图2所示。
2.这表明暴露的小平面不是像
{111}面与{100}面所成的角度应为54.7°。据报道，在InP {111}A中，HCl的作用不会产生表面。4从表面的倾斜角度来看，暴露的平面被推断为{211}平面。2，6在蚀刻15分钟后，V形槽平面相交于185 m的深度，对应的蚀刻速率约为12 m/min。掩模边缘的底切小到可以忽略不计。
铬作为蚀刻掩模。—铬不能承受这种蚀刻溶液超过2分钟，因此不适合用作1号ES的掩模。
因此，窗口不再被很好地定义。蚀刻14分钟后，窗口的200米边变宽到375米(几乎是其尺寸的两倍)。这可能是由于铬与InP的粘附性差造成的。先前的研究人员已经观察到光致抗蚀剂掩模的底切现象，这通常是由于表面天然氧化物和蚀刻剂之间的反应导致涂覆的光致抗蚀剂和InP衬底之间的粘附力损失。6天然氧化物与HCl的反应速率比与HBr的反应速率快。这可能解释了为什么Cr不能耐受含有HCl的第一蚀刻剂(ES)。使用第二种蚀刻剂(ES no. 2)时，粘附力的损失没有完全去除掩模那么剧烈。然而，底切仍然是值得考虑的。在ES no. 2中，底切与使用Cr掩模的蚀刻深度之比约为0.6。不同蚀刻时间的底切程度如图6所示。
为了进一步研究HBr浓度对底切的影响，蚀刻溶液的组成改变为HBr:CH3COOHo1:1。由于该溶液中HBr的浓度较低，蚀刻速率降低至约7.5 m/min。然而，如图6所示，底切仍然相当高，并且几乎随蚀刻时间线性增加。在该溶液中蚀刻35分钟后，在[0-1-1]方向上每个掩模边缘处的底切为128 m。在该点处的蚀刻深度为260 m。在这种情况下，底切与蚀刻深度的比率降低至0.49。这证明了我们的论点
底切的程度与天然氧化物和蚀刻溶液的反应有关，因为发现降低蚀刻溶液中HBr的浓度会减少底切的程度。
结论
发展了一种简单的自动对准光纤和光电探测器的技术。三种不同的蚀刻掩模材料，即Ti、Cr和SiN用于在InP衬底中蚀刻V形槽，通过该槽可以插入光纤并精确定位。使用两种不同的蚀刻溶液来蚀刻InP。第一种蚀刻溶液(ES 1号)含有HCl∶h3po 4(5∶1)，另一种(ES 2号)含有HBr∶ch 3c ooh(3∶2)。已经发现，虽然蚀刻溶液的选择决定了V形槽的角度以及表面光洁度，但是掩模材料和沉积方法决定了底切的量。发现Ti作为掩模材料以最小的底切给出最好的结果。在两种蚀刻溶液中，编号为2的蚀刻溶液是优选的，因为V形槽与表面的倾斜角较大(54.7°)，因此，对于给定的窗口尺寸，可以蚀刻出相对较深的槽。暴露墙壁的表面光滑度通过以下方式得到改善。#如何看待割小麦做青贮饲料# #你期待周杰伦的新歌吗# #阴阳师神堕八岐大蛇#
【#拜登政府机密报告曝光新型核武进展# ，#美核武新动作释放三大危险信号# 】随着拜登政府向国会提交2023财年国防预算和机密版本的《核态势评估报告》，美媒频频爆料美国新型核武器的进展，并宣称拜登政府在核武库升级和核武器使用政策上给出了“理性决定”。种种迹象表明，拜登政府已违反竞选承诺，在核武库升级与运用上更加“肆意妄为”，令全球再次笼罩在比以往更加危险的“核恐怖”阴影之中。
危险一 全面升级核武库
据美国《防务新闻》网站6日报道，以“陆基战略威慑”项目为名研发的下一代陆基洲际弹道导弹正式被命名为“哨兵”。该型弹道导弹携带W87核弹头，预计在2029年之后1比1取代美军现有“民兵-3”洲际弹道导弹。这意味着美核武库的升级改造进入“快车道”。
目前，“民兵-3”洲际弹道导弹是美“三位一体”核武库中的陆基核打击力量，于1970年首次部署，现役400枚，采用井基发射方式，共有400个发射井，另有50个备用存储井。
美国防部表示，“哨兵”洲际弹道导弹建设将耗资1000亿美元，比将“民兵-3”导弹延寿至2075年的花费少380亿美元。美空军方面宣称，“哨兵”洲际导弹将采用模块化架构，不仅方便未来升级改造，也利于维护保养。美空军现有的导弹发射井、指挥控制中心以及其他地面基础设施也将随着“哨兵”导弹的服役一并进行升级改造，这将大大提升对中俄的战略威慑能力。
根据拜登政府提交的2023财年国防预算，美国用以维护并升级核武库的支出将达到344亿美元，远高于2022财年的277亿美元。其中，63亿用于建设“哥伦比亚”级战略核潜艇，50亿打造B-21轰炸机，36亿建设新一代“哨兵”洲际弹道导弹，10亿用于研发新型远程防区外空射核巡航导弹，48亿用于升级核指挥控制系统等。可以看出，拜登政府已着手对美“三位一体”核打击力量的各个支柱进行全面升级。从近些年美历届政府的做法看，尽管美一直对外宣称实施军控措施，但美核武库在进行着“纵向扩散”。
一是投送工具越来越先进。洲际导弹、战略核潜艇和远程轰炸机是美对外构成战略威慑的“三驾马车”，目前美军现役的战略核武器投送力量基本服役于上世纪七八十年代，现在已走上全面替换的道路。除将服役“哨兵”洲际弹道导弹外，美海军正在研发“哥伦比亚”级战略核潜艇，以替换现役的14艘“俄亥俄”级战略核潜艇；美空军正在研发B-21战略轰炸机，用来替换现役B-2和B-52H战略轰炸机。与老旧系统相比，新一代投送系统的突防能力更强、打击更精准、毁伤效果更大。
二是核弹头不断改进。根据《原子科学家公告》去年初公布的数据，美核武库中共有核弹头5550枚。其中，1750枚处于退役状态，但仍完好无损地予以保存，由美能源部负责；美国防部负责维护使用3800枚核弹头。在美军方负责的这3800枚核弹头中，1400枚已被部署在洲际弹道导弹上（包括“民兵-3”洲际弹道导弹和“三叉戟”潜射洲际弹道导弹），300枚部署在战略轰炸机投送的巡航导弹和核航弹上，100枚战术核航弹部署在欧洲，2000枚处于预备状态。虽然美早已不再进行核试验，但并未停止开发新型核弹头的工作。实际上，美在大力发展投送工具的同时，也在对核弹头进行升级。比如，B61-12核航弹将全面取代现有部署在欧洲的战术核航弹，F-35战斗机将具备挂载该型核航弹的能力；美军正在为“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹开发新型的W88核弹头，为新型空射巡航导弹开发新型的W80-4核弹头，为“哨兵”洲际弹道导弹开发W87-1核弹头，适配洲际弹道导弹的新型W93弹头也已开始可行性研究。
三是着力发展低当量核打击武器。美军在发展B61-12核航弹等战术核武器的同时，也在发展运用战略投送手段发射的低当量核武器。最为典型的是美军开发了8000吨当量W76-2核弹头，并已在“田纳西”号战略核潜艇（上图）的“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹上实现部署。与洲际弹道导弹的其他弹头动辄几十万吨爆炸当量相比，W76-2虽然当量低，但毁伤效果却因打击精度高而提升，该型弹头不仅能够打击地面军事基地等软防护目标，还具备摧毁地下导弹发射井等硬防护目标的能力。
四是大力发展核探测与指挥控制系统。持续加大侦察监视能力建设，对他国核武库动向进行严密监控。据《纽约时报》报道，俄乌冲突爆发后，俄总统普京宣布俄战略核打击力量处于高度戒备状态，美各种天基侦察装备对俄核武器保持24小时监视。美军还大力发展新型核武器指挥控制系统，如准备替换“末日飞机”等。
危险二 拉低“使用门槛”
除了升级核武库，美国在核武器使用政策上也越来越“咄咄逼人”。美国防部近日已拟制完毕新版《核态势评估报告》并向国会提交了机密版本，从当前透露出来的“只言片语”看，拜登政府在核武器使用政策上并未像外界预期的那样“抬高核使用门槛”。
早在2020年3月，在美总统竞选期间，作为候选人的拜登在《外交事务》上撰文称，“我认为美国核武库的唯一目的应该是威慑并在必要时对核攻击进行报复。作为总统，我将与美国军方和美国盟友协商，努力将这一信念付诸实践。”美舆论普遍解读为拜登将大幅提升美使用核武器的限制条件，只在对手使用核武器的情况下，美才会使用核武器。然而，已经撰写完毕的《核态势评估报告》表述已变为“美国核武器的基本作用是威慑针对美国、盟友与伙伴国的核攻击。美国只有在为保护美国或盟友伙伴国的重大利益的极端情况下，考虑使用核武器。”这番表述实际已背离拜登最初的说法。因为“重大利益”“极端情况”都未能予以明确界定，存在着相当程度的“战略模糊”，这也意味着美可能出现用核武器对付常规武器的情形，实际上明显拉低了美国的“核门槛”。
在拜登政府提交的2023财年国防预算中，取消了“海射核巡航导弹”的项目研发，似乎期望通过此举显示拜登政府实施核军控的姿态。“海射核巡航导弹”项目由特朗普政府时期提议设立，旨在使用攻击核潜艇或水面作战舰艇的“战斧”巡航导弹搭载核弹头，如同发展低当量核打击武器一样，提升美军的核威慑能力。但此举在美政坛迅速引发强烈争论，甚至美参联会主席米利上将日前在国会听证会上都反对拜登政府取消“海射核巡航导弹”项目。拜登政府出于安抚国内反核力量的政治考虑采取了“欲盖弥彰”的做法。拜登政府首先挑起争议，然后通过国会之手来增加预算，从而达到撇清自己政治责任、保留相关项目的双重目的。
危险三 误判风险大增
尽管美核武库不断升级，但美军给出的理由却从来都是应对中俄构成的“核威胁”。针对中国，美军官员不断宣称中国升级核武库。美国印太司令部司令阿奎利诺在访问澳大利亚期间向英国《金融时报》表示，中国正在“大幅增加”核武库，五角大楼预计到本世纪20年代末，中国的核弹头将翻两番，达到1000多枚。针对俄罗斯，美不断宣称俄核武库弹头数量超过美，不断对以美国为首的北约实施“核讹诈”，特别是俄拥有2000枚战术核武器，对北约国家构成严重威胁。
一位中国军事专家7日对《环球时报》记者表示，尽管美不断将中俄两国当作“挡箭牌”，但实际上美国才是将全球拉入“核阴云”之下的罪魁祸首。美国持续升级核武库，特别是发展低当量核武器的做法，将大幅提升爆发核战争的风险。从美方角度看，发展低当量的战术核武器看似能提升自身核威慑能力，却大大增加美方使用核武器的“诱惑”，而且容易造成对手的战略误判。像“战斧”巡航导弹一旦发射，在战场上根本难以区分是搭载了常规弹头还是核弹头，这种情势将迫使对手“先发制人”使用核武器反制。核武器的使用，最初可能是低当量、战术级别的，最终将导致出现螺旋上升、威胁人类生存的全面核战争。（《环球时报》4月8日5版文章，作者张一帆 刘扬）
危险一 全面升级核武库
据美国《防务新闻》网站6日报道，以“陆基战略威慑”项目为名研发的下一代陆基洲际弹道导弹正式被命名为“哨兵”。该型弹道导弹携带W87核弹头，预计在2029年之后1比1取代美军现有“民兵-3”洲际弹道导弹。这意味着美核武库的升级改造进入“快车道”。
目前，“民兵-3”洲际弹道导弹是美“三位一体”核武库中的陆基核打击力量，于1970年首次部署，现役400枚，采用井基发射方式，共有400个发射井，另有50个备用存储井。
美国防部表示，“哨兵”洲际弹道导弹建设将耗资1000亿美元，比将“民兵-3”导弹延寿至2075年的花费少380亿美元。美空军方面宣称，“哨兵”洲际导弹将采用模块化架构，不仅方便未来升级改造，也利于维护保养。美空军现有的导弹发射井、指挥控制中心以及其他地面基础设施也将随着“哨兵”导弹的服役一并进行升级改造，这将大大提升对中俄的战略威慑能力。
根据拜登政府提交的2023财年国防预算，美国用以维护并升级核武库的支出将达到344亿美元，远高于2022财年的277亿美元。其中，63亿用于建设“哥伦比亚”级战略核潜艇，50亿打造B-21轰炸机，36亿建设新一代“哨兵”洲际弹道导弹，10亿用于研发新型远程防区外空射核巡航导弹，48亿用于升级核指挥控制系统等。可以看出，拜登政府已着手对美“三位一体”核打击力量的各个支柱进行全面升级。从近些年美历届政府的做法看，尽管美一直对外宣称实施军控措施，但美核武库在进行着“纵向扩散”。
一是投送工具越来越先进。洲际导弹、战略核潜艇和远程轰炸机是美对外构成战略威慑的“三驾马车”，目前美军现役的战略核武器投送力量基本服役于上世纪七八十年代，现在已走上全面替换的道路。除将服役“哨兵”洲际弹道导弹外，美海军正在研发“哥伦比亚”级战略核潜艇，以替换现役的14艘“俄亥俄”级战略核潜艇；美空军正在研发B-21战略轰炸机，用来替换现役B-2和B-52H战略轰炸机。与老旧系统相比，新一代投送系统的突防能力更强、打击更精准、毁伤效果更大。
二是核弹头不断改进。根据《原子科学家公告》去年初公布的数据，美核武库中共有核弹头5550枚。其中，1750枚处于退役状态，但仍完好无损地予以保存，由美能源部负责；美国防部负责维护使用3800枚核弹头。在美军方负责的这3800枚核弹头中，1400枚已被部署在洲际弹道导弹上（包括“民兵-3”洲际弹道导弹和“三叉戟”潜射洲际弹道导弹），300枚部署在战略轰炸机投送的巡航导弹和核航弹上，100枚战术核航弹部署在欧洲，2000枚处于预备状态。虽然美早已不再进行核试验，但并未停止开发新型核弹头的工作。实际上，美在大力发展投送工具的同时，也在对核弹头进行升级。比如，B61-12核航弹将全面取代现有部署在欧洲的战术核航弹，F-35战斗机将具备挂载该型核航弹的能力；美军正在为“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹开发新型的W88核弹头，为新型空射巡航导弹开发新型的W80-4核弹头，为“哨兵”洲际弹道导弹开发W87-1核弹头，适配洲际弹道导弹的新型W93弹头也已开始可行性研究。
三是着力发展低当量核打击武器。美军在发展B61-12核航弹等战术核武器的同时，也在发展运用战略投送手段发射的低当量核武器。最为典型的是美军开发了8000吨当量W76-2核弹头，并已在“田纳西”号战略核潜艇（上图）的“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹上实现部署。与洲际弹道导弹的其他弹头动辄几十万吨爆炸当量相比，W76-2虽然当量低，但毁伤效果却因打击精度高而提升，该型弹头不仅能够打击地面军事基地等软防护目标，还具备摧毁地下导弹发射井等硬防护目标的能力。
四是大力发展核探测与指挥控制系统。持续加大侦察监视能力建设，对他国核武库动向进行严密监控。据《纽约时报》报道，俄乌冲突爆发后，俄总统普京宣布俄战略核打击力量处于高度戒备状态，美各种天基侦察装备对俄核武器保持24小时监视。美军还大力发展新型核武器指挥控制系统，如准备替换“末日飞机”等。
危险二 拉低“使用门槛”
除了升级核武库，美国在核武器使用政策上也越来越“咄咄逼人”。美国防部近日已拟制完毕新版《核态势评估报告》并向国会提交了机密版本，从当前透露出来的“只言片语”看，拜登政府在核武器使用政策上并未像外界预期的那样“抬高核使用门槛”。
早在2020年3月，在美总统竞选期间，作为候选人的拜登在《外交事务》上撰文称，“我认为美国核武库的唯一目的应该是威慑并在必要时对核攻击进行报复。作为总统，我将与美国军方和美国盟友协商，努力将这一信念付诸实践。”美舆论普遍解读为拜登将大幅提升美使用核武器的限制条件，只在对手使用核武器的情况下，美才会使用核武器。然而，已经撰写完毕的《核态势评估报告》表述已变为“美国核武器的基本作用是威慑针对美国、盟友与伙伴国的核攻击。美国只有在为保护美国或盟友伙伴国的重大利益的极端情况下，考虑使用核武器。”这番表述实际已背离拜登最初的说法。因为“重大利益”“极端情况”都未能予以明确界定，存在着相当程度的“战略模糊”，这也意味着美可能出现用核武器对付常规武器的情形，实际上明显拉低了美国的“核门槛”。
在拜登政府提交的2023财年国防预算中，取消了“海射核巡航导弹”的项目研发，似乎期望通过此举显示拜登政府实施核军控的姿态。“海射核巡航导弹”项目由特朗普政府时期提议设立，旨在使用攻击核潜艇或水面作战舰艇的“战斧”巡航导弹搭载核弹头，如同发展低当量核打击武器一样，提升美军的核威慑能力。但此举在美政坛迅速引发强烈争论，甚至美参联会主席米利上将日前在国会听证会上都反对拜登政府取消“海射核巡航导弹”项目。拜登政府出于安抚国内反核力量的政治考虑采取了“欲盖弥彰”的做法。拜登政府首先挑起争议，然后通过国会之手来增加预算，从而达到撇清自己政治责任、保留相关项目的双重目的。
危险三 误判风险大增
尽管美核武库不断升级，但美军给出的理由却从来都是应对中俄构成的“核威胁”。针对中国，美军官员不断宣称中国升级核武库。美国印太司令部司令阿奎利诺在访问澳大利亚期间向英国《金融时报》表示，中国正在“大幅增加”核武库，五角大楼预计到本世纪20年代末，中国的核弹头将翻两番，达到1000多枚。针对俄罗斯，美不断宣称俄核武库弹头数量超过美，不断对以美国为首的北约实施“核讹诈”，特别是俄拥有2000枚战术核武器，对北约国家构成严重威胁。
一位中国军事专家7日对《环球时报》记者表示，尽管美不断将中俄两国当作“挡箭牌”，但实际上美国才是将全球拉入“核阴云”之下的罪魁祸首。美国持续升级核武库，特别是发展低当量核武器的做法，将大幅提升爆发核战争的风险。从美方角度看，发展低当量的战术核武器看似能提升自身核威慑能力，却大大增加美方使用核武器的“诱惑”，而且容易造成对手的战略误判。像“战斧”巡航导弹一旦发射，在战场上根本难以区分是搭载了常规弹头还是核弹头，这种情势将迫使对手“先发制人”使用核武器反制。核武器的使用，最初可能是低当量、战术级别的，最终将导致出现螺旋上升、威胁人类生存的全面核战争。（《环球时报》4月8日5版文章，作者张一帆 刘扬）
【#拜登政府机密报告曝光新型核武进展# ，#美核武新动作释放三大危险信号# 】随着拜登政府向国会提交2023财年国防预算和机密版本的《核态势评估报告》，美媒频频爆料美国新型核武器的进展，并宣称拜登政府在核武库升级和核武器使用政策上给出了“理性决定”。种种迹象表明，拜登政府已违反竞选承诺，在核武库升级与运用上更加“肆意妄为”，令全球再次笼罩在比以往更加危险的“核恐怖”阴影之中。
危险一 全面升级核武库
据美国《防务新闻》网站6日报道，以“陆基战略威慑”项目为名研发的下一代陆基洲际弹道导弹正式被命名为“哨兵”。该型弹道导弹携带W87核弹头，预计在2029年之后1比1取代美军现有“民兵-3”洲际弹道导弹。这意味着美核武库的升级改造进入“快车道”。
目前，“民兵-3”洲际弹道导弹是美“三位一体”核武库中的陆基核打击力量，于1970年首次部署，现役400枚，采用井基发射方式，共有400个发射井，另有50个备用存储井。
美国防部表示，“哨兵”洲际弹道导弹建设将耗资1000亿美元，比将“民兵-3”导弹延寿至2075年的花费少380亿美元。美空军方面宣称，“哨兵”洲际导弹将采用模块化架构，不仅方便未来升级改造，也利于维护保养。美空军现有的导弹发射井、指挥控制中心以及其他地面基础设施也将随着“哨兵”导弹的服役一并进行升级改造，这将大大提升对中俄的战略威慑能力。
根据拜登政府提交的2023财年国防预算，美国用以维护并升级核武库的支出将达到344亿美元，远高于2022财年的277亿美元。其中，63亿用于建设“哥伦比亚”级战略核潜艇，50亿打造B-21轰炸机，36亿建设新一代“哨兵”洲际弹道导弹，10亿用于研发新型远程防区外空射核巡航导弹，48亿用于升级核指挥控制系统等。可以看出，拜登政府已着手对美“三位一体”核打击力量的各个支柱进行全面升级。从近些年美历届政府的做法看，尽管美一直对外宣称实施军控措施，但美核武库在进行着“纵向扩散”。
一是投送工具越来越先进。洲际导弹、战略核潜艇和远程轰炸机是美对外构成战略威慑的“三驾马车”，目前美军现役的战略核武器投送力量基本服役于上世纪七八十年代，现在已走上全面替换的道路。除将服役“哨兵”洲际弹道导弹外，美海军正在研发“哥伦比亚”级战略核潜艇，以替换现役的14艘“俄亥俄”级战略核潜艇；美空军正在研发B-21战略轰炸机，用来替换现役B-2和B-52H战略轰炸机。与老旧系统相比，新一代投送系统的突防能力更强、打击更精准、毁伤效果更大。
二是核弹头不断改进。根据《原子科学家公告》去年初公布的数据，美核武库中共有核弹头5550枚。其中，1750枚处于退役状态，但仍完好无损地予以保存，由美能源部负责；美国防部负责维护使用3800枚核弹头。在美军方负责的这3800枚核弹头中，1400枚已被部署在洲际弹道导弹上（包括“民兵-3”洲际弹道导弹和“三叉戟”潜射洲际弹道导弹），300枚部署在战略轰炸机投送的巡航导弹和核航弹上，100枚战术核航弹部署在欧洲，2000枚处于预备状态。虽然美早已不再进行核试验，但并未停止开发新型核弹头的工作。实际上，美在大力发展投送工具的同时，也在对核弹头进行升级。比如，B61-12核航弹将全面取代现有部署在欧洲的战术核航弹，F-35战斗机将具备挂载该型核航弹的能力；美军正在为“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹开发新型的W88核弹头，为新型空射巡航导弹开发新型的W80-4核弹头，为“哨兵”洲际弹道导弹开发W87-1核弹头，适配洲际弹道导弹的新型W93弹头也已开始可行性研究。
三是着力发展低当量核打击武器。美军在发展B61-12核航弹等战术核武器的同时，也在发展运用战略投送手段发射的低当量核武器。最为典型的是美军开发了8000吨当量W76-2核弹头，并已在“田纳西”号战略核潜艇（上图）的“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹上实现部署。与洲际弹道导弹的其他弹头动辄几十万吨爆炸当量相比，W76-2虽然当量低，但毁伤效果却因打击精度高而提升，该型弹头不仅能够打击地面军事基地等软防护目标，还具备摧毁地下导弹发射井等硬防护目标的能力。
四是大力发展核探测与指挥控制系统。持续加大侦察监视能力建设，对他国核武库动向进行严密监控。据《纽约时报》报道，俄乌冲突爆发后，俄总统普京宣布俄战略核打击力量处于高度戒备状态，美各种天基侦察装备对俄核武器保持24小时监视。美军还大力发展新型核武器指挥控制系统，如准备替换“末日飞机”等。
危险二 拉低“使用门槛”
除了升级核武库，美国在核武器使用政策上也越来越“咄咄逼人”。美国防部近日已拟制完毕新版《核态势评估报告》并向国会提交了机密版本，从当前透露出来的“只言片语”看，拜登政府在核武器使用政策上并未像外界预期的那样“抬高核使用门槛”。
早在2020年3月，在美总统竞选期间，作为候选人的拜登在《外交事务》上撰文称，“我认为美国核武库的唯一目的应该是威慑并在必要时对核攻击进行报复。作为总统，我将与美国军方和美国盟友协商，努力将这一信念付诸实践。”美舆论普遍解读为拜登将大幅提升美使用核武器的限制条件，只在对手使用核武器的情况下，美才会使用核武器。然而，已经撰写完毕的《核态势评估报告》表述已变为“美国核武器的基本作用是威慑针对美国、盟友与伙伴国的核攻击。美国只有在为保护美国或盟友伙伴国的重大利益的极端情况下，考虑使用核武器。”这番表述实际已背离拜登最初的说法。因为“重大利益”“极端情况”都未能予以明确界定，存在着相当程度的“战略模糊”，这也意味着美可能出现用核武器对付常规武器的情形，实际上明显拉低了美国的“核门槛”。
在拜登政府提交的2023财年国防预算中，取消了“海射核巡航导弹”的项目研发，似乎期望通过此举显示拜登政府实施核军控的姿态。“海射核巡航导弹”项目由特朗普政府时期提议设立，旨在使用攻击核潜艇或水面作战舰艇的“战斧”巡航导弹搭载核弹头，如同发展低当量核打击武器一样，提升美军的核威慑能力。但此举在美政坛迅速引发强烈争论，甚至美参联会主席米利上将日前在国会听证会上都反对拜登政府取消“海射核巡航导弹”项目。拜登政府出于安抚国内反核力量的政治考虑采取了“欲盖弥彰”的做法。拜登政府首先挑起争议，然后通过国会之手来增加预算，从而达到撇清自己政治责任、保留相关项目的双重目的。
危险三 误判风险大增
尽管美核武库不断升级，但美军给出的理由却从来都是应对中俄构成的“核威胁”。针对中国，美军官员不断宣称中国升级核武库。美国印太司令部司令阿奎利诺在访问澳大利亚期间向英国《金融时报》表示，中国正在“大幅增加”核武库，五角大楼预计到本世纪20年代末，中国的核弹头将翻两番，达到1000多枚。针对俄罗斯，美不断宣称俄核武库弹头数量超过美，不断对以美国为首的北约实施“核讹诈”，特别是俄拥有2000枚战术核武器，对北约国家构成严重威胁。
一位中国军事专家7日对《环球时报》记者表示，尽管美不断将中俄两国当作“挡箭牌”，但实际上美国才是将全球拉入“核阴云”之下的罪魁祸首。美国持续升级核武库，特别是发展低当量核武器的做法，将大幅提升爆发核战争的风险。从美方角度看，发展低当量的战术核武器看似能提升自身核威慑能力，却大大增加美方使用核武器的“诱惑”，而且容易造成对手的战略误判。像“战斧”巡航导弹一旦发射，在战场上根本难以区分是搭载了常规弹头还是核弹头，这种情势将迫使对手“先发制人”使用核武器反制。核武器的使用，最初可能是低当量、战术级别的，最终将导致出现螺旋上升、威胁人类生存的全面核战争。（《环球时报》4月8日5版文章，作者张一帆 刘扬）
危险一 全面升级核武库
据美国《防务新闻》网站6日报道，以“陆基战略威慑”项目为名研发的下一代陆基洲际弹道导弹正式被命名为“哨兵”。该型弹道导弹携带W87核弹头，预计在2029年之后1比1取代美军现有“民兵-3”洲际弹道导弹。这意味着美核武库的升级改造进入“快车道”。
目前，“民兵-3”洲际弹道导弹是美“三位一体”核武库中的陆基核打击力量，于1970年首次部署，现役400枚，采用井基发射方式，共有400个发射井，另有50个备用存储井。
美国防部表示，“哨兵”洲际弹道导弹建设将耗资1000亿美元，比将“民兵-3”导弹延寿至2075年的花费少380亿美元。美空军方面宣称，“哨兵”洲际导弹将采用模块化架构，不仅方便未来升级改造，也利于维护保养。美空军现有的导弹发射井、指挥控制中心以及其他地面基础设施也将随着“哨兵”导弹的服役一并进行升级改造，这将大大提升对中俄的战略威慑能力。
根据拜登政府提交的2023财年国防预算，美国用以维护并升级核武库的支出将达到344亿美元，远高于2022财年的277亿美元。其中，63亿用于建设“哥伦比亚”级战略核潜艇，50亿打造B-21轰炸机，36亿建设新一代“哨兵”洲际弹道导弹，10亿用于研发新型远程防区外空射核巡航导弹，48亿用于升级核指挥控制系统等。可以看出，拜登政府已着手对美“三位一体”核打击力量的各个支柱进行全面升级。从近些年美历届政府的做法看，尽管美一直对外宣称实施军控措施，但美核武库在进行着“纵向扩散”。
一是投送工具越来越先进。洲际导弹、战略核潜艇和远程轰炸机是美对外构成战略威慑的“三驾马车”，目前美军现役的战略核武器投送力量基本服役于上世纪七八十年代，现在已走上全面替换的道路。除将服役“哨兵”洲际弹道导弹外，美海军正在研发“哥伦比亚”级战略核潜艇，以替换现役的14艘“俄亥俄”级战略核潜艇；美空军正在研发B-21战略轰炸机，用来替换现役B-2和B-52H战略轰炸机。与老旧系统相比，新一代投送系统的突防能力更强、打击更精准、毁伤效果更大。
二是核弹头不断改进。根据《原子科学家公告》去年初公布的数据，美核武库中共有核弹头5550枚。其中，1750枚处于退役状态，但仍完好无损地予以保存，由美能源部负责；美国防部负责维护使用3800枚核弹头。在美军方负责的这3800枚核弹头中，1400枚已被部署在洲际弹道导弹上（包括“民兵-3”洲际弹道导弹和“三叉戟”潜射洲际弹道导弹），300枚部署在战略轰炸机投送的巡航导弹和核航弹上，100枚战术核航弹部署在欧洲，2000枚处于预备状态。虽然美早已不再进行核试验，但并未停止开发新型核弹头的工作。实际上，美在大力发展投送工具的同时，也在对核弹头进行升级。比如，B61-12核航弹将全面取代现有部署在欧洲的战术核航弹，F-35战斗机将具备挂载该型核航弹的能力；美军正在为“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹开发新型的W88核弹头，为新型空射巡航导弹开发新型的W80-4核弹头，为“哨兵”洲际弹道导弹开发W87-1核弹头，适配洲际弹道导弹的新型W93弹头也已开始可行性研究。
三是着力发展低当量核打击武器。美军在发展B61-12核航弹等战术核武器的同时，也在发展运用战略投送手段发射的低当量核武器。最为典型的是美军开发了8000吨当量W76-2核弹头，并已在“田纳西”号战略核潜艇（上图）的“三叉戟2”潜射洲际弹道导弹上实现部署。与洲际弹道导弹的其他弹头动辄几十万吨爆炸当量相比，W76-2虽然当量低，但毁伤效果却因打击精度高而提升，该型弹头不仅能够打击地面军事基地等软防护目标，还具备摧毁地下导弹发射井等硬防护目标的能力。
四是大力发展核探测与指挥控制系统。持续加大侦察监视能力建设，对他国核武库动向进行严密监控。据《纽约时报》报道，俄乌冲突爆发后，俄总统普京宣布俄战略核打击力量处于高度戒备状态，美各种天基侦察装备对俄核武器保持24小时监视。美军还大力发展新型核武器指挥控制系统，如准备替换“末日飞机”等。
危险二 拉低“使用门槛”
除了升级核武库，美国在核武器使用政策上也越来越“咄咄逼人”。美国防部近日已拟制完毕新版《核态势评估报告》并向国会提交了机密版本，从当前透露出来的“只言片语”看，拜登政府在核武器使用政策上并未像外界预期的那样“抬高核使用门槛”。
早在2020年3月，在美总统竞选期间，作为候选人的拜登在《外交事务》上撰文称，“我认为美国核武库的唯一目的应该是威慑并在必要时对核攻击进行报复。作为总统，我将与美国军方和美国盟友协商，努力将这一信念付诸实践。”美舆论普遍解读为拜登将大幅提升美使用核武器的限制条件，只在对手使用核武器的情况下，美才会使用核武器。然而，已经撰写完毕的《核态势评估报告》表述已变为“美国核武器的基本作用是威慑针对美国、盟友与伙伴国的核攻击。美国只有在为保护美国或盟友伙伴国的重大利益的极端情况下，考虑使用核武器。”这番表述实际已背离拜登最初的说法。因为“重大利益”“极端情况”都未能予以明确界定，存在着相当程度的“战略模糊”，这也意味着美可能出现用核武器对付常规武器的情形，实际上明显拉低了美国的“核门槛”。
在拜登政府提交的2023财年国防预算中，取消了“海射核巡航导弹”的项目研发，似乎期望通过此举显示拜登政府实施核军控的姿态。“海射核巡航导弹”项目由特朗普政府时期提议设立，旨在使用攻击核潜艇或水面作战舰艇的“战斧”巡航导弹搭载核弹头，如同发展低当量核打击武器一样，提升美军的核威慑能力。但此举在美政坛迅速引发强烈争论，甚至美参联会主席米利上将日前在国会听证会上都反对拜登政府取消“海射核巡航导弹”项目。拜登政府出于安抚国内反核力量的政治考虑采取了“欲盖弥彰”的做法。拜登政府首先挑起争议，然后通过国会之手来增加预算，从而达到撇清自己政治责任、保留相关项目的双重目的。
危险三 误判风险大增
尽管美核武库不断升级，但美军给出的理由却从来都是应对中俄构成的“核威胁”。针对中国，美军官员不断宣称中国升级核武库。美国印太司令部司令阿奎利诺在访问澳大利亚期间向英国《金融时报》表示，中国正在“大幅增加”核武库，五角大楼预计到本世纪20年代末，中国的核弹头将翻两番，达到1000多枚。针对俄罗斯，美不断宣称俄核武库弹头数量超过美，不断对以美国为首的北约实施“核讹诈”，特别是俄拥有2000枚战术核武器，对北约国家构成严重威胁。
一位中国军事专家7日对《环球时报》记者表示，尽管美不断将中俄两国当作“挡箭牌”，但实际上美国才是将全球拉入“核阴云”之下的罪魁祸首。美国持续升级核武库，特别是发展低当量核武器的做法，将大幅提升爆发核战争的风险。从美方角度看，发展低当量的战术核武器看似能提升自身核威慑能力，却大大增加美方使用核武器的“诱惑”，而且容易造成对手的战略误判。像“战斧”巡航导弹一旦发射，在战场上根本难以区分是搭载了常规弹头还是核弹头，这种情势将迫使对手“先发制人”使用核武器反制。核武器的使用，最初可能是低当量、战术级别的，最终将导致出现螺旋上升、威胁人类生存的全面核战争。（《环球时报》4月8日5版文章，作者张一帆 刘扬）
✋热门推荐